晶圆夹具和对待夹装晶圆进行固定的方法技术

本发明专利技术公开了一种晶圆夹具和对待夹装晶圆进行固定的方法，该晶圆夹具包括：夹具主体，所述夹具主体的一侧表面凹设形成有至少一晶圆定位槽；与所述夹具主体一体成型的限位板，所述限位板与所述晶圆定位槽的底面相对设置，以形成对待夹装晶圆的边缘进行限位的夹持空间

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹具和对待夹装晶圆进行固定的方法


[0001]本专利技术是关于半导体工艺设备
，特别是关于一种晶圆夹具和对待夹装晶圆进行固定的方法
。

技术介绍

[0002]半导体设备行业是半导体产业链的支撑行业，为集成电路的制造与封测过程提供相关机器设备
。
在过去数十年间，集成电路行业迅速发展，产品加工面积逐倍缩小，工艺复杂程度逐年提升，对制造设备的加工精度与稳定性要求不断提高
。
而半导体的产品制造对设备依赖程度极高，半导体产品制程涉及光学
、
物理
、
化学等多基础学科的技术，技术壁垒高
、
制造难度大
、
研发投入高，因此半导体设备普遍单台价值较高
。
[0003]现有的晶圆夹具中，一般需要设置额外的夹持构件用以将晶圆固定在夹具本体上，至少存在结构复杂
、
成本高
、
操作不方便的问题
。
[0004]公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种晶圆夹具和对待夹装晶圆进行固定的方法，其能够克服现有技术中的晶圆夹具存在结构复杂
、
成本高
、
操作不便等技术问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术的实施例提供了一种晶圆夹具，包括：
[0007]夹具主体，所述夹具主体的一侧表面凹设形成有至少一晶圆定位槽；
[0008]与所述夹具主体一体成型的限位板，所述限位板与所述晶圆定位槽的底面相对设置，以形成对待夹装晶圆的边缘进行限位的夹持空间
。
[0009]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述限位板的内缘与晶圆定位槽的顶边缘所围成的形状与待夹装晶圆的形状相匹配，且所述限位板的内缘与待夹装晶圆的定位边对应
。
[0010]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述晶圆定位槽的中部形成有穿透所述夹具主体的窗口
。
[0011]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述窗口为圆形，所述晶圆定位槽于所述窗口的四周形成环形的
、
用以对待夹装晶圆的边缘进行支撑的台阶部
。
[0012]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述晶圆定位槽和夹具主体的外缘之间设置有穿透所述夹具主体的减重孔
。
[0013]在本专利技术的一个或多个实施方式中，多个所述减重孔环形阵列分布于所述晶圆定位槽的四周
。
[0014]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述夹具主体的外缘形成有直边形状的夹具定位边
。
[0015]在本专利技术的一个或多个实施方式中，该晶圆夹具采用铝合金材料一体成型
。
[0016]为实现上述目的，本专利技术的实施例还提供了一种晶圆夹具对待夹装晶圆进行固定的方法，包括：
[0017]待夹装晶圆的定位边与限位板的内缘对齐，将待夹装晶圆放置在晶圆定位槽内进行支撑；
[0018]转动所述的待夹装晶圆，使得待夹装晶圆的非定位边的边缘移动至夹持空间内
。
[0019]与现有技术相比，本专利技术实施方式的晶圆夹具一体成型，通过转动即可实现对晶圆的固定，结构简单
、
成本低
、
易于操作
。
附图说明
[0020]图1是根据本专利技术一实施方式的晶圆夹具的立体结构示意图；
[0021]图2是根据本专利技术一实施方式的晶圆夹具的俯视图；
[0022]图3是图1中
A
‑
A
的截面示意图；
[0023]图4是根据本专利技术一实施方式的待夹装晶圆的俯视图
。
具体实施方式
[0024]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制
。
[0025]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分
。
[0026]如图1至图3所示，根据本专利技术优选实施方式的一种晶圆夹具
10
，包括夹具主体
11
以及与所述夹具主体一体成型的限位板
12。
所述夹具主体
11
的一侧表面凹设形成有至少一晶圆定位槽
111
，所述限位板
12
与所述晶圆定位槽
111
的底面相对设置，以形成对待夹装晶圆的边缘进行限位的夹持空间
13。
[0027]该技术方案中，整个晶圆夹具
10
一体成型，限位板
12
自晶圆定位槽
111
的顶缘向内凸伸，形成一帽檐机构，其与晶圆定位槽
111
相对设置以形成一夹持空间
13
，夹持空间
13
可以对放置于晶圆定位槽
111
内的晶圆进行限位，晶圆安装完成后，晶圆夹具
10
可以按照需要任意角度放置，由于夹持空间
13
对晶圆边缘的限制作用，晶圆不会从晶圆夹具
10
中脱离
。
[0028]在一实施例中，夹持空间
13
的高度略大于晶圆的厚度
。
高度如果太小则无法供晶圆进入，高度如果太大，则晶圆容易发生晃动
。
[0029]晶圆定位槽
111
的内径略大于待夹装晶圆
20
的直径，使得待夹装晶圆
20
支撑于晶圆定位槽
111
内后，不会发生大的偏移
。
[0030]参图4所示，待夹装晶圆
20
包括大致为圆形的本体
21
，本体的边缘具有直边的第一定位边
22
和直边的第二定位边
23
，第一定位边
22
的长度大于第二定位边
23
的长度
。
[0031]为了方便待夹装晶圆放置于晶圆定位槽
111
内，限位板
12
的内缘与晶圆定位槽
111
的顶边缘所围成的形状与待夹装晶圆
20
的形状相匹配
。
[0032]限位板
12
的内缘与待夹装晶圆
20
的定位边对应
。
其中，限位板
12
包括与第一定位边
22
对应的第一限位板
121
，以及与第二定位边
22
对应的第二限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆夹具，其特征在于，包括：夹具主体，所述夹具主体的一侧表面凹设形成有至少一晶圆定位槽；与所述夹具主体一体成型的限位板，所述限位板与所述晶圆定位槽的底面相对设置，以形成对待夹装晶圆的边缘进行限位的夹持空间
。2.
如权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述限位板的内缘与晶圆定位槽的顶边缘所围成的形状与待夹装晶圆的形状相匹配，且所述限位板的内缘与待夹装晶圆的定位边对应
。3.
如权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述晶圆定位槽的中部形成有穿透所述夹具主体的窗口
。4.
如权利要求3所述的晶圆夹具，其特征在于，所述窗口为圆形，所述晶圆定位槽于所述窗口的四周形成环形的
、
用以对待夹装晶圆的边缘进行支撑的台阶部
。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：阚翔，张立国，鞠涛，张璇，张华康，张宝顺，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：