基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)是利用上夹具板(44)对作为加压对象物的基板(2)进行加压的基板处理装置，具有配置于上夹具板(44)之下的下夹具板(46)、和设置于下夹具板(46)之上且供基板(2)配置的设置基座(47)，设置基座(47)以能够允许设置基座(47)的变形的方式预固定于下夹具板(46)。方式预固定于下夹具板(46)。方式预固定于下夹具板(46)。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置


[0001]本专利技术涉及例如对配置有多个元件的基板进行处理的基板处理装置。

技术介绍

[0002]在基板上形成由多个元件构成的元件阵列的技术中，为了实现多个元件和基板的机械性的接合强度及接合稳定性的提高，使用基板处理装置对配置有多个元件的基板进行以平板按压多个元件的处理(例如专利文献1)。
[0003]作为执行这种处理的基板处理装置，例如使用具有配置有加压对象物(配置有多个元件的基板)的下夹具板和对配置于下夹具板的加压对象物进行加压的上夹具板的基板处理装置。通过在下夹具板上利用上夹具板对配置有多个元件的基板进行加压，而对该基板赋予载荷，随之，可以对该基板按压多个元件。
[0004]近年来，配置于基板的元件的尺寸(高度)微细化至数μm程度，如果下夹具板或上夹具板的表面的平行度或平坦度等以数十μm程度偏差，则难以利用上夹具板对基板上的多个元件赋予均匀的载荷，可能在多个元件和基板之间产生接合不良。
[0005]另外，在利用上夹具板对基板加压时，随着上夹具板或下夹具板的加热，在下夹具板等产生热变形，难以对基板赋予均匀的载荷。因此，在无负荷状态下，即使能够在某个程度上确保上夹具板及下夹具板的表面的平行度或平坦度等，由于基板加压时的下夹具板的热变形，也可能在多个元件和基板之间产生接合不良。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2010－232234号公报

技术实现思路

[0009]本专利技术是鉴于这种实际状况而研发的，其目的在于，提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。
[0010]为了实现上述目的，本专利技术的第一观点所涉及的基板处理装置，
[0011]是利用上夹具板对加压对象物进行加压的基板处理装置，
[0012]具有：
[0013]下夹具板，其配置于所述上夹具板之下；
[0014]设置基座，其设置于所述下夹具板之上，供加压对象物配置，
[0015]所述设置基座以能够允许所述设置基座的变形的方式预固定于所述下夹具板。
[0016]本专利技术的第一观点的基板处理装置具有设置于下夹具板之上且供加压对象物配置的设置基座。因此，在加压对象物和下夹具板之间介有设置基座。在这种状态下，在利用上夹具板对加压对象物进行加压的情况下，即使随着下夹具板的加热，在下夹具板产生变形(热膨胀)，该影响也难以直接波及加压对象物，能够利用上夹具板对配置于设置基座的加压对象物施加均匀的载荷。
[0017]特别是在本专利技术的第一观点的基板处理装置中，设置基座可以允许设置基座的变形地预固定于下夹具板。因此，即使产生随着下夹具板的加热，下夹具板的热传热到设置基座、且在设置基座产生变形(热膨胀)那样的情况，也不会妨碍其变形，通过使设置基座在下夹具板之上且在面方向上自如地变形，可以释放伴随设置基座的变形而产生的应力。因此，可以充分确保设置基座的上表面的表面精度(例如平坦性及平滑性等)，防止设置基座的变形产生的影响波及到配置于设置基座的加压对象物，在这一点上也能够使施加于加压对象物的载荷均匀。
[0018]此外，在设置基座正式固定于下夹具板的情况下，在设置基座产生变形(热膨胀)时，以其固定位置为起点，设置基座鼓出，设置基座的表面精度(例如平坦性及平滑性等)可能恶化，但在本专利技术的基板处理装置中，如上所述，因为设置基座预固定于下夹具板，所以能够有效地防止这种不良情况。
[0019]为了实现上述目的，本专利技术的第二观点所涉及的基板处理装置，
[0020]是利用上夹具板对加压对象物进行加压的基板处理装置，
[0021]具有：
[0022]下夹具板，其配置于所述上夹具板之下；
[0023]设置基座，其设置于所述下夹具板之上，供加压对象物配置，
[0024]所述设置基座由陶瓷或玻璃构成。
[0025]本专利技术的第二观点的基板处理装置与本专利技术的第一观点的基板处理装置相同，具有设置于下夹具板之上且供加压对象物配置的设置基座，因此，如上所述，在利用上夹具板进行加压对象物的加压时，即使随着下夹具板的加热而在下夹具板产生变形，该影响也不会直接波及到设置基座，能够利用上夹具板对配置于设置基座的加压对象物赋予均匀的载荷。
[0026]特别是本专利技术的第二观点的基板处理装置中，设置基座由陶瓷或玻璃构成。作为构成设置基座的材质，通过使用热膨胀率比构成下夹具板的金属等小的陶瓷或玻璃，即使随着下夹具板的加热而下夹具板的热传热到设置基座，也可以防止在设置基座产生变形(热膨胀)。因此，可以防止设置基座的变形产生的影响波及到配置于设置基座的加压对象物，能够使施加于加压对象物的载荷均匀。
[0027]另外，从加工精度的观点来看，陶瓷或玻璃与金属等相比容易确保其表面精度(例如平坦性及平滑性等)。因此，通过利用陶瓷或玻璃构成设置基座，能够充分确保设置基座的表面精度。
[0028]优选，在所述下夹具板之上设置有与所述设置基座的缘部的一部分抵接的预固定框。通过使设置基座的缘部的一部分与预固定框抵接，能够将设置基座预固定于下夹具板。另外，通过使设置基座的缘部的剩余部分不与预固定框抵接而设为自由的状态，即使产生随着下夹具板的加热而在设置基座产生变形那样的情况，也不会妨碍其变形，使设置基座在下夹具板之上且在面方向上自如地变形，能够有效地释放随着设置基座的变形而产生的应力。另外，通过使用预固定框将设置基座预固定于下夹具板，设置基座的定位变得容易。
[0029]优选，所述预固定框由多个构成，多个所述预固定框分别与所述设置基座的任意的边对应地设置。通过设为这种结构，在将设置基座预固定于下夹具板时，能够以高精度进行设置基座的定位。另外，通过利用预固定框预固定设置基座的任意的边，能够有效地防止
设置基座的错位。
[0030]优选，在所述设置基座的缘部设置有基座倾斜部，在所述设置基座的缘部抵接的所述预固定框的内侧形成有与所述基座倾斜部卡合的内侧倾斜部。通过使设置基座的基座倾斜部和预固定框的内侧倾斜部卡合，能够有效地防止设置基座的错位及设置基座从下夹具板脱落。
[0031]优选，在所述下夹具板之上设置有可移动地保持可动部件的预固定夹具，所述可动部件通过从所述预固定夹具受到的弹性力，从所述预固定夹具朝向所述设置基座被压出，并且通过从所述设置基座受到的应力，从所述设置基座朝向所述预固定夹具被压回。通过从预固定夹具受到的弹性力，可动部件从预固定夹具朝向设置基座被压出，并挤压设置基座的缘部，由此，能够对设置基座赋予适当的力，同时将设置基座预固定于下夹具板。另外，在产生随着下夹具板的加热而在设置基座发生变形那样的情况的情况下，通过从设置基座受到的应力，可动部件从设置基座朝向预固定夹具被(即，在设置基座的变形方向上)压回，由此，不会防止设置基座的变形，能够使设置基座在下夹具板之上且在面方向上自如地变形，有效地释放伴随设置基座的变形而产生的应力。
[0032]也可以是，所述设置基座具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其中，是利用上夹具板对加压对象物进行加压的基板处理装置，具有：下夹具板，其配置于所述上夹具板之下；以及设置基座，其设置于所述下夹具板之上，且供加压对象物配置，所述设置基座以能够允许所述设置基座的变形的方式预固定于所述下夹具板。2.一种基板处理装置，其中，是利用上夹具板对加压对象物进行加压的基板处理装置，具有：下夹具板，其配置于所述上夹具板之下；以及设置基座，其设置于所述下夹具板之上，且供加压对象物配置，所述设置基座由陶瓷或玻璃构成。3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其中，在所述下夹具板之上设置有与所述设置基座的缘部的一部分抵接的预固定框。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，所述预固定框由多个构成，多个所述预固定框分别与所述设置基座的任意的边对应地设置。5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，在所述设置基座的缘部设置有基座倾斜部，在所述设置基座的缘部抵接的所述预固定框的内侧形成有与所述基座倾斜部卡合的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤洋平，小泉洋，宫腰敏畅，进藤修，须永诚寿郎，牧田光悦，山下诚，加藤康生，进藤谅，松本匡史，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：