【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电磁波传感器。背景技術例如有热敏电阻元件等使用电磁波检测部的电磁波传感器。热敏电阻元件具有的热敏电阻膜的电阻随热敏电阻膜的温度变化而变化。在电磁波传感器中，射入热敏电阻膜的红外线(电磁波)被热敏电阻膜或热敏电阻膜的周边的材料吸收，由此该热敏电阻膜的温度发生变化。由此，热敏电阻元件检测红外线。此处，根据斯蒂芬玻尔兹曼定律，在测量对象的温度与通过热辐射从该测量对象放出的红外线(辐射热)之间存在相关关系。因此，通过使用热敏电阻元件检测从测量对象放出的红外线，能够非接触地测量测量对象的温度。此外，这样的热敏电阻元件应用于通过在行方向和列方向上呈二维阵列状排列多个来二维地检测(拍摄)测量对象的温度分布的红外线摄像元件(红外线图像传感器)等电磁波传感器(例如，参照国际公开第2019/171488号。)。
技术介绍
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、但是，上述的电磁波传感器中的热敏电阻元件按由在行方向上延伸的多个第一配线和在列方向上延伸的多个第二配线划分的每个区域设置。此外，与热敏电阻元件电连接的第一配线及第二配线配置在绝缘体层内的厚度方向上不同的位置，立体交叉地配置。
3、因此，在现有的电磁波传感器中，存在因在第一配线与第二配线接近的部分产生的寄生电容而动作速度、检测精度降低的情况。
4、本专利技术是鉴于这样现有的情况而提案的，其目的在于提供动作速度及检测精度高的电磁波传感器。
5、用于解决问题的方式
6、为了达成上述目
7、(1)一种电磁波传感器，其特征在于，包括：第一基板；在从与上述第一基板的基板面垂直的方向看的俯视图中在与上述基板面平行的第一方向上延伸的第一配线；在上述俯视图中，在与上述基板面平行且与上述第一方向不同的第二方向上延伸的第二配线；和与上述第一配线电连接并且与上述第二配线电连接的电磁波检测部，上述第一配线在与上述第一方向及上述第二方向正交的第三方向上，相比于上述电磁波检测部位于上述第一基板侧，上述第二配线在上述第三方向上，位于上述电磁波检测部的与上述第一基板相反侧。
8、(2)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第一支柱，上述第一支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第一基板与上述电磁波检测部之间，上述电磁波检测部至少通过上述第一支柱与上述第一基板相连接，上述第一支柱的至少一端与绝缘体连接。
9、(3)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第一支柱，上述第一支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第一基板与上述电磁波检测部之间，上述电磁波检测部至少通过上述第一支柱与上述第一基板相连接，上述第一支柱在一端与另一端之间的至少一部分包含绝缘体，上述一端与上述另一端之间电绝缘。
10、(4)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第二支柱，上述第二支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述电磁波检测部之间，上述第二配线至少通过上述第二支柱与上述电磁波检测部相连接，上述第二支柱的至少一端与绝缘体连接。
11、(5)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第二支柱，上述第二支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述电磁波检测部之间，上述第二配线至少通过上述第二支柱与上述电磁波检测部相连接，上述第二支柱在一端与另一端之间的至少一部分包含绝缘体，上述一端与上述另一端之间电绝缘。
12、(6)如上述(2)或(3)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第三支柱，上述第三支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第一基板与上述电磁波检测部之间，上述电磁波检测部至少通过上述第三支柱与上述第一基板相连接，上述第三支柱具有导电性，与上述第一配线及上述电磁波检测部电连接。
13、(7)如上述(4)或(5)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第四支柱，上述第四支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述电磁波检测部之间，上述第四支柱具有导电性，与上述第二配线及上述电磁波检测部电连接。
14、(8)如上述(2)或(3)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第四支柱，上述第四支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述电磁波检测部之间，上述第四支柱具有导电性，与上述第二配线及上述电磁波检测部电连接，从上述第三方向俯视时，上述第一支柱与上述第四支柱处在至少一部分相互重叠的位置。
15、(9)如上述(4)或(5)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第三支柱，上述第三支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第一基板与上述电磁波检测部之间，上述第三支柱具有导电性，与上述第一配线及上述电磁波检测部电连接，从上述第三方向俯视时，上述第二支柱与上述第三支柱处在至少一部分相互重叠的位置。
16、(10)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：从上述第三方向俯视时，上述第二配线宽度大于上述第一配线。
17、(11)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：上述第二配线具有从上述第三方向俯视时与上述电磁波检测部重叠的部分。
18、(12)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：上述第二配线厚度大于上述第一配线。
19、(13)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于，包括：第三配线；和在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第五支柱，上述第三配线在上述第三方向上相比于上述第二配线位于上述第一基板侧，上述第五支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述第一基板之间，上述第二配线至少通过上述第五支柱与上述第一基板相连接，上述第五支柱具有导电性，与上述第二配线及上述第三配线电连接。
20、(14)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于，包括：第四配线；与上述第一基板相对的第二基板；和在至少包含上述第三方向的成分的方向上延伸的第六支柱，上述第四配线和上述第二基板在上述第三方向上位于上述第二配线的与上述第一基板相反侧，上述第六支柱的至少一部分位于上述第三方向的上述第二配线与上述第二基板之间，上述第二配线至少通过上述第六支柱与上述第二基板相连接，上述第六支柱具有导电性，与上述第二配线及上述第四配线电连接。
21、(15)如上述(1)所述的电磁波传感器，其特征在于：包括多个上述电磁波检测部，包括多个上述第一配线和上述第二配线中的任一方的配线，在上述俯视图中，多个上述电磁波检测部在多个上述一方的配线排列的方向上排列设置，上述多个电磁波检测部分别以与上述多个一方的配线中的对应的1个电连接的方式，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电磁波传感器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
3.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
4.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
5.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
6.如权利要求2或3所述的电磁波传感器，其特征在于：
7.如权利要求4或5所述的电磁波传感器，其特征在于：
8.如权利要求2或3所述的电磁波传感器，其特征在于：
9.如权利要求4或5所述的电磁波传感器，其特征在于：
10.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
11.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
12.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
13.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于，包括：
14.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于，包括：
15.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
16.如权利要求1所述的电磁波传
17.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种电磁波传感器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
3.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
4.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
5.如权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：
6.如权利要求2或3所述的电磁波传感器，其特征在于：
7.如权利要求4或5所述的电磁波传感器，其特征在于：
8.如权利要求2或3所述的电磁波传感器，其特征在于：
9.如权利要求4或5所述的电磁波传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员：原晋治，太田尚城，千里内忠雄，青木进，前川和也，小久保真生子，木本裕介，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：
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