一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其包括多个夹片

【技术实现步骤摘要】
一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置


[0001]本专利技术属于半导体
，具体涉及一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置
。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，快速热处理
(RTP)
设备应用比较广泛，其中，通过将加热灯嵌入
lamphouse
（灯盘）的灯口用于反应腔室的加热，但由于加热灯的数量较多，单腔装配数量可达到数百个，拆装操作空间严重不足
。
目前，通常采用以下两种方式进行装配：一种为用塑料软管1套住加热灯2进行装配，如图1所示，这种方式装配速度慢，且定位精度差，装配完成后，不仅容易把灯带出来，还容易损坏灯管；另外一种为用剪刀式工装夹住加热灯，如图2所示，剪刀式工装开合角度较大，而加热灯与
lamphouse
的配合非常紧凑，可操作空间小，这就导致使用十分不方便，此外，加热灯与灯口侧壁距离非常接近普标间距在2‑
2.5mm
，在工装插入过程中有刮伤灯口侧壁的风险，影响
lamphouse
的反射率
。

技术实现思路

[0003]基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其具体为应用于
RTP
设备加热灯装配与拆卸的简易工装；旨在解决
RTP
设备的
lamphouse
中的加热灯装配不便，装配速度慢，安装精度差，易损坏，且装配过程中易磨损灯口侧壁，影响
lamphouser/>的反射率的问题
。
[0004]为实现上述目的，提供了一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置，包括多个夹片
、
拉环和滑动结构，多个夹片沿拉环周向设置，各夹片包括驱动部和连接于驱动部的长度方向的一端的夹持部；各驱动部设置于拉环的内部并相互间隔排布，各夹持部相互间隔排布并围合形成用于容置加热灯的容纳腔；各驱动部通过滑动结构与拉环滑动连接，拉环能够沿驱动部的长度方向滑动以使拉环与驱动部抵接或分离；当拉环与驱动部的外壁抵接时，各驱动部相互靠近以使各夹持部夹紧加热灯；当拉环与各驱动部的外壁分离时，各驱动部相互远离以使各夹持部松开加热灯
。
[0005]可选地，各夹持部的相互靠近的一侧面均呈弧形
。
[0006]可选地，各夹持部的相互靠近的一侧覆盖有弹性材料层
。
[0007]可选地，弹性材料层的材质为橡胶
。
[0008]可选地，多个夹片沿拉环均匀排布，两个相邻的驱动部之间间隔的距离与两个相邻的夹持部之间的距离相同
。
[0009]可选地，两个相邻的驱动部之间间隔的距离为
0.6mm
‑
2mm。
[0010]可选地，各驱动部围合形成锥筒，锥筒的外径由远离夹持部的一端至靠近夹持部的一端逐渐减小；当各夹持部夹紧加热灯时，拉环的内壁与锥筒的外壁抵接；当各夹持部松开加热灯时，拉环的内壁与锥筒的外壁相间隔设置
。
[0011]可选地，拉环的内壁平行于锥筒的外壁
。
[0012]可选地，夹片的数量为两个，滑动结构包括导杆和轨道，两个驱动部上分别设置有轨道，两个轨道分别沿两个驱动部的长度方向延伸，各轨道为通槽，导杆的两端分别穿设于两个轨道并与拉环连接
。
[0013]可选地，两个夹持部之间滑动连接有防旋转件，防旋转件间隔设置于加热灯上方
。
[0014]本专利技术提供的一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置的有益效果在于：（1）由于拉环与各驱动部通过滑动结构连接，通过滑动拉环使各驱动部相互靠近或远离，能够实现各夹持部对加热灯的快速夹紧或松开，上述结构简单，使用方便，提高了加热灯的拆装效率及售后维修的效率；（2）由于通过各夹持部围合形成容纳腔，可将加热灯放置于该容纳腔内，从而便于加热灯的装配，提高了快速拆装成功的几率；（3）由于拉环能够滑动，通过将拉环滑动至预设位置即可控制夹持部的径向位移，从而控制夹片的开合度，这样不仅提高了安装精度，同时有效限制夹持部的移动范围，防止在拆装过程中造成灯具损坏，刮伤灯口侧边，影响
lamphouse
的反射率
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0016]图1为一种塑料软管与加热灯进行装配的结构示意图；图2为一种剪刀式工装的结构示意图；图3为依据本专利技术的应用于半导体设备的加热灯装配的装置的结构示意图；图4为依据本专利技术的应用于半导体设备的加热灯装配的装置的结构的主视示意图；图5为图4中
A
‑
A
处剖面示意图；图6为依据本专利技术的拉环的结构示意图
。
[0017]上述附图所涉及的标号明细如下：
1、
塑料软管；
2、
加热灯；
100、
夹片；
101、
驱动部；
102、
夹持部；
103、
容纳腔；
104、
弹性材料层；
200、
拉环；
201、
第一通孔；
202、
第二通孔；
300、
滑动结构；
301、
导杆；
302、
轨道；
303、
螺母；
400、
防旋转件
。
具体实施方式
[0018]为了使本专利技术所要解决的技术问题
、
技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术
。
[0019]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上
。
当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可
以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上
。
在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术
。
[0020]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制
。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其特征在于，其包括多个夹片
、
拉环和滑动结构，多个所述夹片沿所述拉环周向设置，各所述夹片包括驱动部和连接于所述驱动部的长度方向的一端的夹持部；各所述驱动部设置于所述拉环的内部并相互间隔排布，各所述夹持部相互间隔排布并围合形成用于容置加热灯的容纳腔；各所述驱动部通过所述滑动结构与所述拉环滑动连接，所述拉环能够沿所述驱动部的长度方向滑动以使所述拉环与所述驱动部的外壁抵接或分离；当所述拉环与所述驱动部的外壁抵接时，各所述驱动部相互靠近以使各所述夹持部夹紧所述加热灯；当所述拉环与各所述驱动部的外壁分离时，各所述驱动部相互远离以使各所述夹持部松开所述加热灯
。2.
根据权利要求1所述的应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其特征在于，各所述夹持部的相互靠近的一侧面均呈弧形
。3.
根据权利要求1所述的应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其特征在于，各所述夹持部的相互靠近的一侧覆盖有弹性材料层
。4.
根据权利要求3所述的应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其特征在于，所述弹性材料层的材质为橡胶
。5.
根据权利要求1所述的应用于半导体设备的加热灯装配的装置，其特征在于，多个所述夹片沿所述拉环均匀排布，两个相邻的所述驱动部之间间隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，马宏坤，苏宇，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：