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本发明公开一种半导体机械手手指调平装置及方法，其中半导体机械手手指调平装置包括机械手手臂和手指组件，二者之间设置有一个旋转球；还包括有调平螺钉和锁紧顶丝，调平螺钉螺钉头部与相邻的机械手手臂或手指组件之间设置有碟簧；调平螺钉包括有连线构成第一...
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