基板切割设备和基板切割方法技术

用于切割基板的基板切割设备，包括：用于在基板上形成切割线的切割线形成装置；以及用于沿所述切割线断开基板的断开装置。所述断开装置包括用于喷射温度足以使得基板在基板上所形成的切割线上膨胀的热流体的装置，从而使得从切割线延伸的竖直裂纹沿基板的厚度方向进一步延伸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过在基板上形成切割线(scribe line)并且沿所述切 割线断开基板的用于切割基板的。
技术介绍
液晶显示装置包括具有插在一对相互粘接的玻璃基板之间的液晶的 显示板。包含在所述显示板中的玻璃基板是通过将母玻璃基板切割成具 有预定尺寸的玻璃基板、之后将玻璃基板粘接在一起而制造出来的。还通过将大尺寸母玻璃基板相互粘接从而形成粘接的母玻璃基板、之 后将粘接的母玻璃基板的每个母玻璃基板切割成具有预定尺寸的玻璃基 板而制造出所述的显示板。图20示出了在划线步骤中使用的传统母玻璃基板上所形成的待划线 的多条线。母玻璃基板l具有矩形形状。例如，在划线步骤中，按特定顺序在竖 直方向(即，沿短边的方向)沿待划线的线L1-L4形成切割线，之后，按特定顺序在水平(横向)方向(即，沿长边的方向)沿待划线的线L5-L8 形成切割线。之后，在断开步骤中，通过沿切割线向母玻璃基板l施加弯 曲应力而将母玻璃基板断开。通过在执行划线步骤之后执行断开步骤，将母玻璃基板l切割成四个 基板la。用于母玻璃基板l的划线步骤是，例如，通过划线装置将母玻璃基板l 划线的步骤，所述划线装置包括沿水平方向旋转的具有母玻璃基板l安装 于其上的转台以及沿预定水平方向往复移动的划线器件。通过沿形成在母玻璃基板l上的切割线施加弯曲力矩而执行用于母玻 璃基板l的断开步骤。下面将描述划线步骤和断开步骤的细节。母玻璃基板l被固定在可沿水平方向旋转的转台上。例如，刀轮尖部 按特定顺序沿竖直方向沿待划线的线L1-L4形成四个切割线。之后，使得 母玻璃基板1被安装于其上的转台沿水平方向旋转90度的角度。按特定顺 序沿横向方向沿待划线的线L5-L8形成四个切割线。或者，也可沿横向方 向沿待划线的线L5-L8分别形成四个切割线，之后，使得母玻璃基板l被 安装于其上的转台旋转90度的角度，之后沿竖直方向沿待划线的线L1-L4 分别形成切割线。以这种方式，执行划线步骤。通常，在刀轮尖部按压在母玻璃基板l表面上的情况下通过旋转刀轮 尖部而形成切割线。竖直裂纹沿母玻璃基板l的厚度方向从切割线处延 伸。在母玻璃基板l上形成切割线之后，母玻璃基板l被弯曲以使得母玻璃 基板变形从而沿母玻璃基板l上所形成的切割线施加弯曲力矩。在划线步 骤中通过从切割线处延伸竖直裂纹而使得母玻璃基板l沿切割线被断开， 以使得竖直裂纹达到与其上形成有母玻璃基板l的切割线的侧部相对的 侧部的表面。以这种方式，执行断开步骤。在执行划线步骤之后通过执行断开步骤，将母玻璃基板l切割成四个基板la。日本专利No. 2785906 (专利文献l)披露了，作为从玻璃板中取出用 于磁盘和光盘的圆形形状玻璃基板的方法，在相对于玻璃板的厚度成角 度的切割线(切割线)被形成为闭合曲线之后(划线步骤)玻璃板被加 热(断开步骤)。如图20中所示的，在其中彼此相交的切割线被形成在母玻璃基板上的 划线方法中，通常母玻璃基板l被固定在预定台上。使得诸如划线切割刀 的切割线形成装置相对于固定在台上的母玻璃基板l线性移动。话此，在 沿母玻璃基板l的竖直方向或横向方向形成切割线之后，其上安装有母玻 璃基板的台旋转90度的角度。之后沿与先前形成切割线所沿的方向垂直 的方向形成切割线。申请人研发了在沿易碎材料基板(诸如日本专利No. 3074143中所披露 的母玻璃基板)的厚度方向形成竖直裂纹方面具有高能力的刀轮尖部。 然而，当使用这样一种刀轮尖部执行交叉划线时，存在这样一种可能性， 即，在通过沿第一方向划线和沿第二方向划线所形成的母玻璃基板l中的 交叉点处可出现碎裂。当沿第一方向执行划线时，己经形成了竖直裂纹，所述竖直裂纹达到 了大致相当于母玻璃基板l中的板的厚度的深度。因此，在沿第二方向执 行划线的同时当刀轮尖部达到沿第一方向的切割线附近时，母玻璃基板l 下沉。因此，当刀轮尖部在第一方向沿切割线移动到玻璃基板上时在第 一方向和第二方向的切割线的交叉点处出现所述碎裂。在用于切割母玻璃基板的方法中，将其放置在用于执行断开步骤的断 开设备的台上，同时通过沿所形成的切割线施加弯曲力矩而使得竖直裂 纹从而颠倒母玻璃基板的前后表面，由于基板的竞争运动可容易出现碎 裂。而且，如专利文献l中所披露的，在形成相对于玻璃板成角度的切割 线(切割线)之后从玻璃板中取出具有圆形形状的玻璃基板的方法中， 需要专用切割线形成装置(诸如专用划线切割刀)以形成相对于玻璃基 板的厚度方向成角度的切割线(切割线)。由于作为从玻璃板中切割下 来的产品的具有圆形形状的玻璃板的切割面是成角度的，因此需要研磨 步骤以使得切割面变成为与具有圆形形状的玻璃基板的表面垂直的端表 面。考虑到上述问题作出了本专利技术。本专利技术的目的是提供一种基板切割设 备和基板切割方法，所述设备和方法能够容易地沿切割线断开基板从而 不会由于基板的竞争运动而在基板中出现碎裂，并且切割基板以使得基 板的端表面垂直于基板的表面
技术实现思路
本专利技术的基板切割设备包括用于在基板上形成切割线的切割线形成装置；以及用于沿所述切割线断开基板的断开装置，其中，所述断开装 置包括用于喷射温度足以使得基板在基板上所形成的切割线上膨胀的热 流体的装置，从而使得从切割线延伸的竖直裂纹沿基板的厚度方向进一 步延伸。切割线至少包括第一线部分和第二线部分，第一线部分和第二线部分 相互交叉并且每个部分都是直线、曲线或其组合；以及在切割线形成装 置与基板隔开的同时，切割线形成装置形成第一线部分和第二线部分。切割线包括第一线部分和第二线部分，第一线部分和第二线部分相互 交叉并且每个部分都是直线、曲线或其组合；以及在切割线形成装置未 与基板隔开的同时，切割线形成装置形成第一线部分和第二线部分。切割线还包括流畅地连接于第一线部分的端部和第二线部分的端部 的曲线部分；第一线部分的端部与第二线部分的端部相连接，沿限定基 板上的预定区域的边界线形成曲线部分，至少边界线的一部分是曲线并 且至少边界线的一部分流畅地连接于边界线的另一部分；以及切割线形 成装置形成第一线部分、曲线部分和第二线部分。切割线还包括第三线部分、第一曲线部分和第二曲线部分，第一线部 分、第二线部分和第三线部分相互交叉，并且每个部分都是直线、曲线 或其组合；第一线部分、第二线部分和第三线部分至少限定了基板上具 有多边形形状的第三区域的一部分；第一线部分的端部与第二线部分的 端部相连接，第二线部分的另一个端部与第三线部分的端部相连接；第 一曲线部分是流畅地连接于第一线部分的端部和第二线部分的端部的曲线部分；沿限定基板上的第一区域的第一边界线形成第一曲线部分，第 一边界线的至少一部分是曲线，并且第一边界线的至少一部分流畅地连 接于第一边界线的另一端部；第二曲线部分是流畅地连接于第二线部分 的另一端部和第三线部分的端部的曲线部分；沿限定基板上的第二区域 的第二边界线形成第二曲线部分，第二边界线的至少一部分是曲线，并 且第二边界线的至少一部分流畅地连接于第二边界线的另一部分；第一 区域、第二区域和第三区域是不相互重叠的不同区域；以及切割线形成 装置形成第一线部分、第一曲线部分、第二线部分、第二曲线部分和第 三线部分。切割线还包括第三线部分、第四线部分、第一曲线部分、第二曲线部 分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板切割设备，包括：　用于在基板上形成切割线的切割线形成装置；以及　用于沿所述切割线断开基板的断开装置；　其中，所述切割线形成装置是具有盘形形状的划线切割刀；　在划线切割刀的外周边表面上形成有滚动并接触基板表面的 刀刃；　在刀刃上形成有具有预定节距的多个突起；以及　所述断开装置包括用于将蒸汽喷射到基板上所形成的切割线上的装置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，
申请(专利权)人：三星宝石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]