划线装置及划线方法制造方法及图纸

将多个划线头的各个划线轮正确定位在面板基板上的预定划线起始位置上，并且高精度地进行插补处理。沿着与由基板保持机构保持的粘合面板基板（９０）的输送方向即Ｙ方向正交的Ｘ方向，设置有上部导轨（３１）和下部导轨（３２），在上部导轨（３１）和下部导轨（３２）上分别以能够滑动的方式设置有一对上部划线头（３３）和一对下部划线头（４０）。在各个上部划线头（３３）和下部划线头（４０）上分别设置有上部滑动头部（３４）和下部滑动头部（３８），该上部滑动头部（３４）和下部滑动头部（３８）分别使设置有划线轮的上部刀盘（３５）和下部刀盘（３９）在Ｙ方向上滑动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及划线装置、以及使用了该划线装置的划线方法，该划线装置用于在以 液晶显示器为代表的FPD(平板显示器)中使用的面板基板等脆性材料的面板基板上进行 划线。
技术介绍
对于液晶显示器等FPD中使用的面板基板，通常通过对大尺寸的母板进行划线并 截断，从而同时形成多张独立的单个显示器基板。用于对面板基板进行划线的划线装置例 如在专利文献1(日本特开2002-20133号公报)中有所公开。图7表示该公报中公开的划线装置。图7所示的划线装置具有工作台81，以水 平状态载置要形成划线的面板基板70之后对该面板基板70进行保持；多个划线头82，各 个划线头82上分别安装有对保持于该工作台81上的面板基板70进行划线的划线轮；以及 架桥83，设置有导轨83a，各个划线头82以能够分别独立地进行滑动的方式安装在该导轨 83a 上。对于将面板基板70保持为水平状态的工作台81，在将面板基板70保持成水平状 态的情况下，可以绕垂直轴即绕图7所示的θ方向进行正反旋转。架桥83以跨越工作台 81的方式架设，导轨83a以水平状态配置在工作台81上方。通过线性马达机构，使安装在 导轨83a上的各个划线头82能够分别在沿着导轨83a的长度方向的X方向上进行滑动。并 且，工作台81能够在正交于导轨83a的方向即Y方向上进行滑动。各个划线头82的下部分别设置有能够进行升降的划线轮(刀轮刀片)82a。通过 使各个划线轮82a压接在保持于工作台81上的面板基板70上，并相对于面板基板70进行 相对移动，从而在面板基板70的预定部位上进行划线。由此，在面板基板70上形成划线。另外，图7所示的划线装置上设置有一对摄像机84，对设置于面板基板70上的 校准标记进行摄像；以及图像显示装置85，显示由各个摄像机84摄像到的图像；等等。在这样构成的划线装置中，若在工作台81上保持面板基板70，则根据由一对摄像 机84摄像到的校准标记，工作台81沿θ方向旋转，对保持于工作台81上的面板基板70 与架桥83的导轨83a之间的相对位置进行定位。然后，各个划线头82分别在X方向上滑 动，使得各个划线头82的划线轮82a与面板基板70上的预定的Y方向划线起始位置相对 置。而且，若各个划线头82的划线轮82a与面板基板70上的Y方向划线起始位置相对置， 则各个划线轮82a分别下降，压接在面板基板70的Y方向划线起始位置上。若处于这种状态，则架桥83整体在Y方向上移动，从而各个划线头82的划线轮 82a同时形成多条沿Y方向的划线。如上所述，通过设置多个划线头82，例如能够沿Y方向同时形成多条平行的划线。 因此，能够高效率地实施用于从母面板基板截断出多个面板基板的划线。另一方面，在FPD的制造工场，存在采用更大尺寸的面板基板作为母板的趋势，为 了应对此需求，要求划线装置的载置工作台尺寸也增大。但是，若增大载置工作台尺寸，则通过使工作台旋转来维持母板两端的划线位置精度就会变得更加困难。即，由于采用的是 通过马达使工作台绕旋转轴旋转的机构，所以在提高旋转角的分解能方面，存在某种程度 的机构上的限制。并且，若载置工作台的尺寸增大，则载置工作台自身变重，其结果导致旋 转机构也要大型化。由于这些问题，用于大尺寸母板的划线装置的载置工作台没有采用组 装有旋转机构的机械设计。在划线装置的载置工作台不旋转的情况下，若母板在稍微倾斜地载置于载置工作 台上的状态下而被划线，即使图7的划线装置仅搭载一个划线头，仍出现如下问题。即，使 划线头在X方向上移动之后，从预定的X位置在Y方向上形成划线时，与被形成划线的母板 倾斜量对应地，划线也倾斜地形成。为了解决该问题，有采用专利文献2(日本特公平6-2597号公报)等中公开的直 线插补方法。在搭载了一个划线头的图7的划线装置的情况下，保持于工作台81上的面 板基板 70与架桥83的导轨83a之间的相对位置关系，通过根据由一对摄像机84摄像到的校准标 记预先进行图像处理来运算，所以根据该运算结果进行直线插补，使得安装在划线头82正 下方的划线轮82a沿着面板基板70上的沿Y方向的各个划线预定线移动。该直线插补通 过如下方式进行，即，每当架桥83整体在Y方向上移动预定的微小距离，使各个划线轮82a 在X方向上移动预定的微小距离，从而进行该直线插补。并且，还开发出了在FPD用的母面板基板的上下表面同时进行划线并分离的上下 截断装置，但是，在这种装置中，由于在基板被输送来的状态下直接对母板进行划线，因此 采用了上述的直线插补手法。专利文献1 日本特开2002-20133号公报专利文献2 日本特公平6-2597号公报在图7所示的划线装置中，搭载有多个划线头82。因此，在开始划线时，需要将安 装在各个划线头上的划线轮82a的划线起始位置在正确地定位为同一直线状的状态下进 行配置。但是，由于所有的划线头82都安装在架桥83上，所以一旦面板基板70与架桥83 的直线方向不一致，而与该方向保持一定角度地倾斜载置，则根本不可能使划线起始位置 对齐。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这种问题而提出的，其目的在于，提供一种能够将多个划线头 的各个划线单元正确定位在面板基板等脆性材料基板的预定划线起始位置上的划线装置 以及划线方法。本专利技术的另一目的在于，提供一种能够迅速且高精度地分别对多个划线头 的各个划线单元进行直线插补的划线装置以及划线方法。本专利技术的划线装置，其特征在于，具有基板保持单元，将脆性材料基板保持为水 平状态；多个划线头，各个划线头分别具有对由该基板保持单元保持的所述脆性材料基板 进行划线的划线单元；以及导轨，保持该多个划线头，使各个划线头能够沿着导轨的长度方 向即X方向滑动；由所述基板保持单元保持的所述脆性材料基板和所述导轨能够沿着与所 述X方向正交的Y方向进行相对移动，所述各个划线头具有滑动单元，该滑动单元使设置于 各个划线头上的所述划线单元沿着所述Y方向滑动。优选所述基板保持单元能够在所述Y方向上输送所保持的所述脆性材料基板。优选所述导轨设置于由所述基板保持单元保持的所述脆性材料基板的上方。优选所述脆性材料基板是1张面板基板。优选所述导轨分别设置于由所述基板保持单元保持的所述脆性材料基板 的上方 和下方，该导轨上分别设置有所述多个划线头。优选所述脆性材料基板是由一对面板基板粘合而成的粘合面板基板。优选在所述脆性材料基板上方的所述导轨上设置的所述划线头的任意一个上设 置有辊，该辊压接在所述粘合面板基板的上表面上。优选所述划线单元是划线轮。优选所述各个划线头还具有使所述划线轮压接于所述脆性材料基板的单元。此外，本专利技术涉及划线方法，该方法利用所述的划线装置对所述脆性材料基板进 行划线，所述划线方法包括将所述导轨相对于由所述基板保持单元保持的所述脆性材料 基板进行定位的工序；以及，接着使所述各个划线头沿着所述导轨在所述X方向上移动，并 且使所述各个划线头的所述划线单元在所述Y方向上移动，使该划线单元分别与所述脆性 材料基板上的划线起始位置相对置的工序。优选所述划线方法还包括使分别与各个所述划线起始位置相对置的所述各个划 线头分别压接在各个所述划线起始位置上，使由所述基板保持单元保持的所述脆性材料基 板和所述导轨沿着所述Y方向进行相对移动的工序。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种划线装置，其特征在于，具有：　　基板保持单元，将脆性材料基板保持为水平状态；　　多个划线头，各个划线头分别具有对由该基板保持单元保持的所述脆性材料基板进行划线的划线单元；以及　　导轨，以使各个划线头能够沿着导轨的长度方向即Ｘ方向滑动的方式保持该多个划线头，；　　由所述基板保持单元保持的所述脆性材料基板和所述导轨能够沿着与所述Ｘ方向正交的Ｙ方向进行相对移动，　　所述各个划线头具有滑动单元，该滑动单元使设置于各个划线头上的所述划线单元沿着所述Ｙ方向滑动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，中田胜喜，
申请(专利权)人：三星宝石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]