一种有机EL显示器制造装置和一种有机EL显示器制造方法制造方法及图纸

在玻璃基底２上形成包括正电极层３，空穴传输层４，有机发光层５，和负电极层６的一个有机ＥＬ显示器的分层结构。随后，单片密封玻璃板３００被放置并固定在玻璃基底２上，从而密封将要成为各个有机ＥＬ显示器的分层结构，该分层结构包括有机发光层５及类似物。因此，通过将单片密封玻璃板３００附加在单片玻璃基底２上可以很容易的实现将密封玻璃板３００附加在玻璃基底２上的校准。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机EL显示器制造装置和一种有机EL显示器制造方法，用于制造一种有机EL显示器，该显示器具有在一个玻璃基底上形成的有机发光层被一个密封元件密封的结构。
技术介绍
有机EL(电致发光)显示器相比于作为目前平板显示器的主流产品的液晶显示器具有很多优点，并且作为预计未来将取代液晶显示器的新一代平板显示器正在受到越来越多的关注。图6是表示一个典型的有机EL显示器的通常结构的透视图。有机EL显示器1具有一个透明玻璃基底2。在玻璃基底2上，以预定间隔的条纹型式，由透明导电材料，例如ITO或类似物形成有多个正电极层3。在玻璃基底2之上，当施加DC电压时提供空穴的空穴传输层4，包含极少量作为掺杂剂的有机色素的有机发光层5，和当施加DC电压时提供电子的电子传输层6，被顺序的形成在每个正电极层3上。在最顶层，即电子传输层6上，由导电材料以预定间隔的条纹型式形成多个负电极层7，使得负电极层7的条纹沿垂直于正电极层3延伸的方向而延伸。在玻璃基底2上的每个正电极层3都被连接到一个DC电源8的正端。在最顶层中的每个负电极层7都被连接到DC电源8的负端。在具有上述结构的有机EL显示器中，当DC电源8在正电极层3和负电极层7之间施加DC电压时，空穴从施加有DC电压的正电极层3上的空穴传输层4被注入到有机发光层5中，而电子从施加有DC电压的负电极层7下的电子传输层6被注入到有机发光层5中。在分别被空穴传输层4和电子传输层6注入空穴和电子的有机发光层5中，空穴和电子被重新结合。再结合所产生的能量被有机发光层5中包含的有机色素所吸收，从而发射出光。从有机发光层5发射出的光被顺序的传送到空穴传输层4，正电极层3，和玻璃基底2，并从玻璃基底2的背面输出(图6中的底面)。在有机EL显示器1中，玻璃基底2上的多个正电极层3和最顶层中的多个负电极层7以直角相交叉。DC电压通过TFT或类似物被控制施加在每个交叉点上，从而由光所产生的图像可被形成在玻璃基底2的外部，而每个交叉点都形成了一个显示单元。在有机EL显示器1中，形成在空穴传输层4上的有机发光层5极易受潮。因此，当有机发光层5被曝露在环境空气中时，会形成被称为暗斑的黑点，这会导致光学图像故障，从而不能显示图像。因此，在真空腔内或是充满惰性气体的腔体内执行对各个层的薄膜形成步骤之后，在得到的分层结构之上提供一个密封盖9，如图7所示，同时保持该分层结构远离环境空气，从而该有机发光层5与环境空气相绝缘。通过这种设置，避免了潮湿而引起的暗斑。图8示出了用于制造有机EL显示器的有机EL制造装置的通常结构。有机EL制造装置10具有薄膜形成腔11，在其中执行薄膜形成步骤以在玻璃基底2上形成包括有机发光层5及类似物的若干层；和密封腔12，其中在薄膜形成步骤在玻璃基底2上形成分层结构之后，在玻璃基底2上还设置有密封盖9。薄膜形成腔11和密封腔12通过连接通道13相互连接。薄膜形成腔11具有输送室110，在输送室中心设有一个输送机扑110a。在输送室110周围的径向位置处，薄膜形成腔11以预定的间隔包含有，与玻璃基底2一起存放的基底存放室111；预处理室112，其中在薄膜形成之前在玻璃基底2上执行例如净化等预处理；和多个沉积室113到116，其中分别形成有正电极层3，空穴传输层4，有机发光层5，电子传输层6和负电极层7。在薄膜形成腔11中心的输送室110和基底存放室111，预处理室112，沉积室113到116的每一个之间，分别设置有阀门111a到116a，用于通过阀门111a到116a的打开和关闭来控制气流状态。在基底存放室111的外端，设有阀门111b，用于保持基底存放室111内的压力，从而使当玻璃基底2被置于基底存放室111中时，该压力等于大气压力。在输送室110和连接通道13之间设有阀门13a，用于在已形成有薄膜的玻璃基底2被输送到密封腔12中时，允许各个空间之间的气体交换。密封腔12具有输送室120，在输送室120的中心设有输送机扑120a。在输送室120周围的径向位置处，密封腔12以预定的间隔包含有，检验室121，其中形成在玻璃基底2上的包括有机发光层5及类似物的各个层的状态被检验；密封盖固定室122，其中设置有密封盖9，用于覆盖形成在玻璃基底2上的多个层；与密封盖9一起存放的盖存放室123；输出室124，具有密封盖9的玻璃基底2从该输出室被取出有机EL显示器制造装置10；和空室125，126。在密封腔12中心的输送室120和检验室121，密封盖同定室122，盖存放室123，空室125和126，以及输出室124的每一个之间，都设置有阀门121a到126a分别用于通过阀门121a到126a的打开和关闭来控制气流状态。盖存放室123设置有一个阀门123b，用于保持盖存放室123内的压力，从而当密封盖9被送至盖存放室123中时，该压力等于大气压力。输出室124设置有一个阀门124b，用于保持输出室124内的压力，从而使当设有密封盖9的玻璃基底2被从有机EL显示器制造装置10中取出时，该压力等于大气压力。并且，薄膜形成腔11的各个室110到116，连接通道13，和密封腔12的各个室120到126都设有一个供气管和一个排气管(未示出)。通过这些管路，可以调节每个室，从而使每个室都按所需的气压被充进所需的气体。在利用有机EL制造装置10来制造有机EL显示器的情况下，玻璃基底2通过输送室110的输送机扑110a从基底存放室111被传送到预处理室112，并进行预定的预处理。然后，玻璃基底2被传送到沉积室113到116，其中顺序地分别形成有正电极层3，空穴传输层4，有机发光层5，电子传输层6，和负电极层7。在这些层的形成过程中，在输送室110和各个室111到116之间设置的阀门111a到116a被打开和关闭，同时通过供气管和排气管(未示出)而执行预定气体的引进和排出，从而每个室的气压被适当的调整。这种处理是在玻璃基底2并不与环境空气相接触的方式下进行的。在薄膜形成腔11中形成各个层之后，玻璃基底2通过连接通道13在气密条件下被传输到密封腔12。在密封腔12中，玻璃基底2被输送室120的输送机扑120a输送到检验室121，并进行预定的检验。然后，玻璃基底2被传送到密封盖固定室122，而盖存放室123的密封盖9被设置在玻璃基底2上的预定位置处。设有密封盖9的玻璃基底2被从输出室124中取出，用于制造有机EL显示器，其中玻璃基底2的各个层，包括有机发光层5及类似物，都处于密封的条件下。若有极少量的湿气被包含在有机EL显示器的有机发光层5中，则湿气会引起暗斑的产生。因此，薄膜形成步骤是在不包含潮气的腔体内执行的，而密封盖9的设置正是为了覆盖各个层从而这些层不会被暴露在环境空气中，即潮气不会被引入到有机发光层5。在密封盖9将要接触玻璃基底2的接触表面上涂敷UV可固化粘接剂，通过对UV可固化粘接剂用透过玻璃基底2的UV光线照射而将密封盖9固定在玻璃基底2上。如上所述，有机EL显示器必须在无潮气的条件下制造。为了提高有机EL显示器的大规模生产率，要使用很大面积的玻璃基底，而薄膜形成步骤是同时对许多有机EL显示器执行的。对每个有机EL显示器都设置密封盖，从而，在很大的玻璃基底上要对其上形成的每一个有机E本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机ＥＬ显示器制造装置，包括：薄膜形成装置，用于在真空或惰性气体内，对将要成为一个分离有机ＥＬ显示器的脆性基底的每个部分，在脆性基底上形成一个正电极层，一个空穴传输层，一个有机发光层，一个电子传输层，和一个负电极层；和密 封装置，用于在真空或惰性气体内，提供一个密封元件，用于在气密条件下密封用于每个部分的在脆性基底上形成的各个层，其中在设置密封元件之前，划线被形成在脆性基底上的预定部分区域中，该预定部分区域对应于将要成为一个分离有机ＥＬ显示器的脆性基 底的部分，并且密封元件具有多个凹陷部分，用于覆盖将要成为各个有机ＥＬ显示器的脆性基底的部分上形成的各个层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：若山治雄，
申请(专利权)人：三星宝石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]