一种内置空气腔的含氟密封圈制造技术

本实用新型专利技术提供一种内置空气腔的含氟密封圈，属于半导体零件密封技术领域，以解决现有内置空气腔的含氟密封圈通常应用于动态密封，维持结构整体的真空密封效果较差，而且内置的密封圈大都由人工手动捏持进行装配，装配过程繁琐费事，致使其整体装配效率较低的问题，包括：橡胶密封圈，所述橡胶密封圈一侧设有安装套筒；所述橡胶密封圈另一侧设有校准筒，且校准筒位于安装套筒内；所述橡胶密封圈内设有滑环。本实用新型专利技术中环形密封环位于橡胶密封圈的装载腔内，配合橡胶密封圈的传输腔内的滑环，能够有效对环形密封环进行限位，避免其动态密封时发生松动，保证半导体零件维持较高的真空度，从而确保橡胶密封圈整体的密封性能。从而确保橡胶密封圈整体的密封性能。从而确保橡胶密封圈整体的密封性能。

【技术实现步骤摘要】
一种内置空气腔的含氟密封圈


[0001]本技术属于半导体零件密封
，更具体地说，特别涉及一种内置空气腔的含氟密封圈。

技术介绍

[0002]由于半导体器件性能的特殊要求，半导体器件制程中的许多处理工艺(例如干刻蚀工艺、灰化工艺、等离子体处理工艺等)都需要在高洁净度、高真空度下进行。因此半导体设备同样需要密封作业，以在半导体器件制程中隔绝气体、水、油等可能会对半导体器件良率造成影响的物质。半导体设备中实现上述密封常用的密封件包括全氟密封圈FFKM等。尤其在半导体设备的真空系统里面的真空阀门处最常使用全氟密封圈FFKM，主要应用于需要优秀密封性、超洁净性、耐热性和长寿命要求的领域。
[0003]现有的内置空气腔的含氟密封圈在使用时，由于其通常应用于动态密封，内置密封圈容易发生松动，维持结构整体的真空密封效果较差，而且内置的密封圈在组装过程中，大都由人工手动捏持进行装配，由于密封圈结构细小，装配过程繁琐费事，致使其整体装配效率较低。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种内置空气腔的含氟密封圈，以解决现有内置空气腔的含氟密封圈通常应用于动态密封，维持结构整体的真空密封效果较差，而且内置的密封圈大都由人工手动捏持进行装配，装配过程繁琐费事，致使其整体装配效率较低的问题。
[0005]本技术一种内置空气腔的含氟密封圈的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]一种内置空气腔的含氟密封圈，包括：橡胶密封圈，所述橡胶密封圈一侧设有安装套筒；所述橡胶密封圈另一侧设有校准筒，且校准筒位于安装套筒内；所述橡胶密封圈内设有滑环；所述橡胶密封圈内设有环形密封环。
[0007]进一步的，所述橡胶密封圈上设有螺纹盲孔，且螺纹盲孔呈环形阵列方式分布，橡胶密封圈内部设有装载腔，橡胶密封圈内周面设有传输腔，且传输腔与装载腔相通。
[0008]进一步的，所述橡胶密封圈两侧设有密封连接件，且两处密封连接件设有安装孔，并且两侧安装孔呈对称方式分布。
[0009]进一步的，所述安装套筒一端设有挤压片，且挤压片呈环形阵列方式分布，挤压片端部设有安装头，安装头上设有安装槽，且安装槽为环形凹槽结构。
[0010]进一步的，所述环形密封环内部设有空气腔，空气腔内设有支撑架，且支撑架呈环形阵列方式分布，空气腔内设有加强环，且加强环通过支撑架与环形密封环相连接。
[0011]进一步的，所述环形密封环为全氟密封环，且环形密封环设置于橡胶密封圈的装载腔内，滑环设置于橡胶密封圈的传输腔内，且滑环与环形密封环位置相对应，并且环形密
封环与滑环外周面相接触。
[0012]进一步的，当所述滑环与安装套筒相连接时，滑环设置于安装套筒的安装槽内，且校准筒端部设置于安装头之间，并且校准筒端部与滑环相对应。
[0013]有益效果：
[0014]1、本装置中的环形密封环为全氟密封环，其位于橡胶密封圈的装载腔内，配合橡胶密封圈的传输腔内的滑环，能够有效对环形密封环进行限位，避免其动态密封时发生松动，保证半导体零件维持较高的真空度，从而确保橡胶密封圈整体的密封性能。
[0015]2、在对滑环和环形密封环进行安装过程中，通过将环形密封环放置与安装套筒的安装槽内，使其推送至橡胶密封圈中心位置，并捏动挤压片能够使环形密封环嵌入装载腔内，同时滑环设置于安装套筒的安装槽内，且校准筒端部设置于安装头之间，并且校准筒端部与滑环相对应，进而完成组成和校准动作，其组装过程更加灵活便捷，大大提高橡胶密封圈整体的装配效率。
附图说明
[0016]图1是本技术的轴视视角结构示意图。
[0017]图2是本技术的橡胶密封圈结构示意图。
[0018]图3是本技术的橡胶密封圈与滑环、环形密封环爆炸状态结构示意图。
[0019]图4是本技术的安装套筒、校准筒、滑环和环形密封环结构示意图。
[0020]图5是本技术的图4引出的爆炸状态结构示意图。
[0021]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0022]1、橡胶密封圈；101、螺纹盲孔；102、装载腔；103、传输腔；104、密封连接件；105、安装孔；2、安装套筒；201、挤压片；202、安装头；203、安装槽；3、校准筒；4、滑环；5、环形密封环；501、空气腔；502、支撑架；503、加强环。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。
[0024]实施例：如附图1至附图5所示：
[0025]本技术提供一种内置空气腔的含氟密封圈，包括：橡胶密封圈1，橡胶密封圈1一侧设有安装套筒2；橡胶密封圈1另一侧设有校准筒3，且校准筒3位于安装套筒2内；橡胶密封圈1内设有滑环4；橡胶密封圈1内设有环形密封环5。
[0026]其中，橡胶密封圈1上设有螺纹盲孔101，且螺纹盲孔101呈环形阵列方式分布，橡胶密封圈1内部设有装载腔102，橡胶密封圈1内周面设有传输腔103，且传输腔103与装载腔102相通；
[0027]橡胶密封圈1两侧设有密封连接件104，且两处密封连接件104设有安装孔105，并且两侧安装孔105呈对称方式分布；
[0028]环形密封环5内部设有空气腔501，空气腔501内设有支撑架502，且支撑架502呈环形阵列方式分布，空气腔501内设有加强环503，且加强环503通过支撑架502与环形密封环5相连接；
[0029]环形密封环5为全氟密封环，且环形密封环5设置于橡胶密封圈1的装载腔102内，
滑环4设置于橡胶密封圈1的传输腔103内，且滑环4与环形密封环5位置相对应，并且环形密封环5与滑环4外周面相接触，本装置中的环形密封环5为全氟密封环，其位于橡胶密封圈1的装载腔102内，配合橡胶密封圈1的传输腔103内的滑环4，能够有效对环形密封环5进行限位，避免其动态密封时发生松动，保证半导体零件维持较高的真空度，从而确保橡胶密封圈1整体的密封性能。
[0030]其中，安装套筒2一端设有挤压片201，且挤压片201呈环形阵列方式分布，挤压片201端部设有安装头202，安装头202上设有安装槽203，且安装槽203为环形凹槽结构；
[0031]在对滑环4和环形密封环5进行安装过程中，通过将环形密封环5放置与安装套筒2的安装槽203内，使其推送至橡胶密封圈1中心位置，并捏动挤压片201能够使环形密封环5嵌入装载腔102内，同时滑环4设置于安装套筒2的安装槽203内，且校准筒3端部设置于安装头202之间，并且校准筒3端部与滑环4相对应，进而完成组成和校准动作，其组装过程更加灵活便捷，大大提高橡胶密封圈1整体的装配效率。
[0032]本实施例的具体使用方式与作用：
[0033]本技术中的环形密封环5为全氟密封环，其位于橡胶密封圈1的装载腔102内，配合橡胶密封圈1的传输腔103内的滑环4，能够有效对环形密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种内置空气腔的含氟密封圈，其特征在于：内置空气腔的含氟密封圈，包括：橡胶密封圈(1)，所述橡胶密封圈(1)一侧设有安装套筒(2)；所述橡胶密封圈(1)另一侧设有校准筒(3)，且校准筒(3)位于安装套筒(2)内；所述橡胶密封圈(1)内设有滑环(4)；所述橡胶密封圈(1)内设有环形密封环(5)。2.如权利要求1所述内置空气腔的含氟密封圈，其特征在于：所述橡胶密封圈(1)上设有螺纹盲孔(101)，且螺纹盲孔(101)呈环形阵列方式分布，橡胶密封圈(1)内部设有装载腔(102)，橡胶密封圈(1)内周面设有传输腔(103)，且传输腔(103)与装载腔(102)相通。3.如权利要求2所述内置空气腔的含氟密封圈，其特征在于：所述橡胶密封圈(1)两侧设有密封连接件(104)，且两处密封连接件(104)设有安装孔(105)，并且两侧安装孔(105)呈对称方式分布。4.如权利要求1所述内置空气腔的含氟密封圈，其特征在于：所述安装套筒(2)一端设有挤压片(201)，且挤压片(201)呈环形阵列方式分布，挤压片(201)端部设...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾卫明，赵福庆，袁春阳，
申请(专利权)人：苏州鑫泓电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：