一种硅片研磨用固定机构制造技术

技术编号:39016015 阅读:16 留言:0更新日期:2023-10-07 11:00
本实用新型专利技术提供一种硅片研磨用固定机构,涉及硅片固定领域,以解决现有的硅片研磨用固定机构在硅片研磨完毕之后,取出不够便捷,需要用到特殊的工具,而工具容易丢失,影响使用效率的问题,包括拉件,所述拉件为T形板状结构,每个拉件的底部设有一个推动块,推动块为矩形结构,推动块的内端为楔形结构。使用的时候,硅片研磨完毕之后,需要取出的时候,直接通过人力拉动拉件位移,使拉件带动推动块一起移动,使推动块插入到插槽的内部,由于接触面为倾斜状结构,使底板以及顶头受力被推动上升,使其顶动接触板以及硅片,使硅片便捷取出,使本装置利用自身结构便捷取出硅片,避免用到外部工具,避免外部工具丢失,提高硅片取出的便捷性。捷性。捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片研磨用固定机构


[0001]本技术属于硅片固定
,更具体地说,特别涉及一种硅片研磨用固定机构。

技术介绍

[0002]在硅片生产加工的时候,通常需要对其进行研磨,在研磨的时候,需要用到固定机构将其固定住,避免在研磨的时候产生位移。
[0003]现有的硅片研磨用固定机构在使用的时候,研磨容易产生碎屑以及残渣,后期需要费力清洁,不方便利用研磨力量便捷收集,硅片研磨完毕之后,取出不够便捷,需要用到特殊的工具,而工具容易丢失,影响使用效率。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供一种硅片研磨用固定机构,以解决现有的硅片研磨用固定机构在使用的时候,研磨容易产生碎屑以及残渣,后期需要费力清洁,不方便利用研磨力量便捷收集的问题。
[0005]本技术一种硅片研磨用固定机构,包括:主体;所述主体为固定机构本体,主体为圆形结构,主体的顶端外侧设有导槽,导槽为圆环状结构,导槽的截面为三角形结构,导槽的底部连接有均匀排列的导流槽;拉件,所述拉件为T形板状结构,拉件共设有五个,五个拉件安装在主体的内部,每个拉件的底部设有一个推动块,推动块为矩形结构,推动块的内端为楔形结构。
[0006]可选的,所述主体的顶端设有五个环状排列的固定槽,固定槽为圆形板状结构,每个固定槽的底部设有一个内槽,内槽为L形结构,内槽的侧边为矩形结构,内槽共设有五个,内槽的顶端为圆柱形结构;所述主体的顶端中间位置设有辅助槽,辅助槽为圆环状结构,辅助槽的内部安装有拉件,辅助槽与五个内槽连通导流槽为L形结构,导流槽的顶端为圆柱形结构,导流槽的底端侧边为矩形结构;所述主体的外侧底部设有环状排列的连接件,连接件为圆柱形结构,连接件的内部开设有导流槽,连接件连接有收集件,收集件为圆形盘状结构,收集件的内部夹角位置为倾斜状结构。
[0007]可选的,每个所述拉件的两侧分别设有一个侧杆,侧杆为圆柱形结构,每个推动块的内端设有一个内件,内件为板状结构,内件的内侧为弧形结构,内件为橡胶材质;每个所述推动块连接有一个底板,底板为矩形结构,每个底板的外端上方设有一个顶头,顶头为圆柱形结构,底板以及顶头嵌入在内槽的内部,每个底板的内侧设有一个插槽,插槽为矩形结构,插槽的内端为倾斜状结构,插槽的内部插入有推动块;每个所述顶头的顶端连接有两个接触板,接触板为圆形板状结构,接触板为橡胶材质,每两个接触板之间设有环状排列的连接块,连接块为弧形结构,连接块为橡胶材质,连接块的内外两侧分别设有一个弧形槽。
[0008]与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:
[0009]1、通过设置导槽,使本装置在使用的时候,旋转研磨的时候,可以使多余的研磨剂
以及碎屑向外扩散流通,使碎屑扩散之后,可以进入到导槽的内部,由于导槽的截面为三角形结构,使其可以控制碎屑或液体进行汇聚流通,使其可以经过导流槽进入到收集件的内部,进而提高收集效果,提高收集便捷性,避免后期费力清洁,提高加工效率,减少维护成本;
[0010]2、通过设置推动块,使本装置在使用的时候,硅片研磨完毕之后,需要取出的时候,可以直接通过人力拉动拉件位移,使拉件可以带动推动块一起移动,使推动块可以插入到插槽的内部,由于接触面为倾斜状结构,使底板以及顶头可以受力被推动上升,使其可以顶动接触板以及硅片,使硅片可以便捷取出,使本装置可以利用自身结构便捷取出硅片,避免用到外部工具,避免外部工具丢失,提高硅片取出的便捷性。
附图说明
[0011]图1是本技术的立体结构示意图。
[0012]图2是本技术的分解立体结构示意图。
[0013]图3是本技术的分解仰视结构示意图。
[0014]图4是本技术的主体立体结构示意图。
[0015]图5是本技术的拉件局部截面分解仰视及局部放大结构示意图。
[0016]图中,部件名称与附图编号的对应关系为:
[0017]1、主体;101、固定槽;102、内槽;103、辅助槽;104、导槽;105、连接件;106、导流槽;107、收集件;
[0018]2、拉件;201、侧杆;202、推动块;203、内件;204、顶头;205、底板;206、插槽;207、接触板;208、连接块。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。
[0020]实施例:
[0021]如附图1至附图5所示:
[0022]本技术提供一种硅片研磨用固定机构,包括:主体1;主体1为固定机构本体,主体1为圆形结构,主体1的顶端外侧设有导槽104,导槽104为圆环状结构,导槽104的截面为三角形结构,使本装置在旋转研磨的时候,可以使碎屑以及液体可以向外流通,使其可以汇聚导流,进而便捷进入到收集件107的内部收集,导槽104的底部连接有均匀排列的导流槽106;拉件2,拉件2为T形板状结构,拉件2共设有五个,五个拉件2安装在主体1的内部,可以便捷操控拉件2位移,进而带动推动块202一起位移,每个拉件2的底部设有一个推动块202,推动块202为矩形结构,推动块202的内端为楔形结构,用来插入到插槽206的内部,使本装置可以便捷控制推动块202位移,使其可以插入到插槽206的内部,进而使顶头204可以顶动接触板207以及硅片,使硅片可以便捷取出。
[0023]参考图4,主体1的顶端设有五个环状排列的固定槽101,固定槽101为圆形板状结构,使硅片可以嵌入在其内部固定研磨,每个固定槽101的底部设有一个内槽102,内槽102为L形结构,内槽102的侧边为矩形结构,使顶头204以及底板205可以在其内部位移,内槽102共设有五个,内槽102的顶端为圆柱形结构;主体1的顶端中间位置设有辅助槽103,辅助
槽103为圆环状结构,辅助槽103的内部安装有拉件2,使拉件2可以在其内部便捷位移使用,辅助槽103与五个内槽102连通导流槽106为L形结构,导流槽106的顶端为圆柱形结构,导流槽106的底端侧边为矩形结构,可以将研磨产生的液体导流排出;主体1的外侧底部设有环状排列的连接件105,连接件105为圆柱形结构,连接件105的内部开设有导流槽106,连接件105连接有收集件107,收集件107为圆形盘状结构,收集件107的内部夹角位置为倾斜状结构,使碎屑以及液体可以进入到收集件107的内部便捷收集,进而提高收集效果。
[0024]参考图5,每个拉件2的两侧分别设有一个侧杆201,侧杆201为圆柱形结构,用来加大操控面积,每个推动块202的内端设有一个内件203,内件203为板状结构,内件203的内侧为弧形结构,内件203为橡胶材质,用来与辅助槽103的内侧接触,进而使拉件2可以有拉动的空间;每个推动块202连接有一个底板205,底板205为矩形结构,每个底板205的外端上方设有一个顶头204,顶头204为圆柱形结构,使底板205移动的时候,可以带动顶头204一起上升,底板205以及顶头204嵌入在内槽本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片研磨用固定机构,其特征在于,包括:主体(1);所述主体(1)为固定机构本体,主体(1)为圆形结构,主体(1)的顶端外侧设有导槽(104),导槽(104)为圆环状结构,导槽(104)的截面为三角形结构,导槽(104)的底部连接有均匀排列的导流槽(106);拉件(2),所述拉件(2)为T形板状结构,拉件(2)共设有五个,五个拉件(2)安装在主体(1)的内部,每个拉件(2)的底部设有一个推动块(202),推动块(202)为矩形结构,推动块(202)的内端为楔形结构。2.如权利要求1所述一种硅片研磨用固定机构,其特征在于,所述主体(1)的顶端设有五个环状排列的固定槽(101),固定槽(101)为圆形板状结构,每个固定槽(101)的底部设有一个内槽(102),内槽(102)为L形结构,内槽(102)的侧边为矩形结构,内槽(102)共设有五个,内槽(102)的顶端为圆柱形结构。3.如权利要求2所述一种硅片研磨用固定机构,其特征在于,所述主体(1)的顶端中间位置设有辅助槽(103),辅助槽(103)为圆环状结构,辅助槽(103)的内部安装有拉件(2),辅助槽(103)与五个内槽(102)连通导流槽(106)为L形结构,导流槽(106)的顶端为圆柱形结构,导流槽(106)的底端侧边为矩形结构。4.如权利要求1所述一种硅片研磨用固定机构,其特征在于,所述主体(1)的外侧底部设有环状排列的连接件(105),连接件...

【专利技术属性】
技术研发人员:马伦王华阳袁春阳
申请(专利权)人:苏州鑫泓电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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