一种晶圆存放用石英支架制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆存放用石英支架，涉及晶圆存放支架技术领域，以解决目前多数的装载支架不能够根据承载晶圆尺寸的需要进行适应性调节，装载支架局部损坏后不能够进行独立更换的问题；包括放置载座、承载支架和存放架框；所述放置载座内侧开设有装配支槽；所述承载支架固定安装于装配支块一端；所述存放架框固定安装于安装支块侧面，存放架框侧面固定设置有支撑侧块，支撑侧块侧面开设有安装螺槽，同时存放架框内侧开设有存放载槽，且存放架框侧面固定设置有承载滑柱，承载滑柱外侧滑动套设有支撑滑块；夹紧螺块对装配套环套设的位置进行调节，使安装支块带动存放架框进行间距的调节，使支架能够对厚度不同尺寸的晶圆进行承载。行承载。行承载。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆存放用石英支架


[0001]本技术属于晶圆存放支架
，更具体地说，特别涉及一种晶圆存放用石英支架。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在晶圆进行运输与存储时，晶圆主体部分不能够与其它物件接触，避免造出污染或缺陷，进而需要通过装载支架对晶圆进行保护承载。
[0003]基于上述，目前多数的装载支架承载适用性性低，只能够对单一尺寸的晶圆进行承载，不能够根据承载晶圆尺寸的需要进行适应性调节，同时装载支架多为一体式设置，在装载支架承载部位损坏后，不能够进行独立更换。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆存放用石英支架，以解决目前多数的装载支架不能够根据承载晶圆尺寸的需要进行适应性调节，在装载支架承载部位损坏后，不能够进行独立更换的问题。
[0005]本技术一种晶圆存放用石英支架的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]一种晶圆存放用石英支架，包括放置载座、承载支架和存放架框；
[0007]所述放置载座内侧开设有装配支槽，装配支槽内侧固定安装有装配滑柱，装配滑柱外侧滑动套设有装配滑块，装配滑块侧面固定设置有装配支块；所述承载支架固定安装于装配支块一端，承载支架顶端内侧固定设置有螺纹载柱，螺纹载柱外侧套设有装配套环，装配套环两端固定设置有安装支块；所述存放架框固定安装于安装支块侧面，存放架框侧面固定设置有支撑侧块，支撑侧块侧面开设有安装螺槽，同时存放架框内侧开设有存放载槽，且存放架框侧面固定设置有承载滑柱，承载滑柱外侧滑动套设有支撑滑块，支撑滑块侧面通过螺纹结构设置有锁定螺栓。
[0008]进一步的，所述装配滑块内侧还设置有：螺纹支柱和锁定螺块；
[0009]螺纹支柱设置于装配滑块顶端内侧；锁定螺块套设于螺纹支柱外侧。
[0010]进一步的，所述承载支架上还设置有：夹紧螺块和装配螺栓；
[0011]夹紧螺块套设于螺纹载柱外侧；装配螺栓设置于安装支块一端内侧，同时装配螺栓设置于安装螺槽内侧。
[0012]进一步的，所述存放载槽内侧还设置有：装配支柱和支撑垫片；
[0013]装配支柱固定安装于存放载槽内侧底端；支撑垫片固定安装于存放载槽内侧顶端。
[0014]进一步的，所述支撑滑块上还设置有：转动支轴和限位夹轴；
[0015]转动支轴转动设置于支撑滑块顶端内侧；转动支轴一端固定设置有限位夹轴。
[0016]本技术至少包括以下有益效果：
[0017]1、本技术通过螺纹支柱配合锁定螺块，能够对装配滑块进行限位锁定，进而使装配支块配合装配滑块，能够对承载支架进行支撑位置的定位调节，进而使承载支架带动存放架框进行间距的调节，从而使支架能够对直径不同尺寸的晶圆进行承载，且夹紧螺块能够对装配套环套设的位置进行调节，从而使安装支块带动存放架框进行间距的调节，从而使支架能够对厚度不同尺寸的晶圆进行承载，且装配螺栓能够便于快速对存放架框进行独立拆卸更换，进一步提高支架的实用性。
[0018]2、本技术通过存放载槽能够对晶圆进行收纳，同时装配支柱配合支撑垫片能够对晶圆定位支撑，且承载滑柱配合支撑滑块，能够带动转动支轴进行滑动调节，同时转动锁定螺栓能够对支撑滑块进行限位锁定，进而使限位夹轴能够对晶圆进行定位夹紧，从而提高支架对不同尺寸晶圆承载的稳定性。
附图说明
[0019]图1是本技术的支架整体装配主视结构示意图；
[0020]图2是本技术的支架整体装配仰视结构示意图；
[0021]图3是本技术的放置载座装配结构示意图；
[0022]图4是本技术的承载支架装配主视结构示意图；
[0023]图5是本技术的承载支架装配侧视结构示意图；
[0024]图6是本技术的存放架框装配结构示意图。
[0025]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0026]1、放置载座；
[0027]101、装配支槽；102、装配滑柱；103、装配滑块；104、装配支块；105、螺纹支柱；106、锁定螺块；
[0028]2、承载支架；
[0029]201、螺纹载柱；202、夹紧螺块；203、装配套环；204、安装支块；205、装配螺栓；
[0030]3、存放架框；
[0031]301、支撑侧块；302、安装螺槽；303、存放载槽；304、装配支柱；305、支撑垫片；306、承载滑柱；3061、支撑滑块；3062、转动支轴；3063、限位夹轴；3064、锁定螺栓。
[0032]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。
实施例：
[0033]如附图1至附图6所示：
[0034]本技术提供一种晶圆存放用石英支架，包括放置载座1、承载支架2和存放架框3；
[0035]放置载座1内侧开设有装配支槽101，装配支槽101内侧固定安装有装配滑柱102，装配滑柱102外侧滑动套设有装配滑块103，装配滑块103侧面固定设置有装配支块104；承载支架2固定安装于装配支块104一端，承载支架2顶端内侧固定设置有螺纹载柱201，螺纹载柱201外侧套设有装配套环203，装配套环203两端固定设置有安装支块204；存放架框3固
定安装于安装支块204侧面，存放架框3侧面固定设置有支撑侧块301，支撑侧块301侧面开设有安装螺槽302，同时存放架框3内侧开设有存放载槽303，且存放架框3侧面固定设置有承载滑柱306，承载滑柱306外侧滑动套设有支撑滑块3061，支撑滑块3061侧面通过螺纹结构设置有锁定螺栓3064。
[0036]如图5与图6所示，存放载槽303内侧还设置有：装配支柱304和支撑垫片305；装配支柱304固定安装于存放载槽303内侧底端；支撑垫片305固定安装于存放载槽303内侧顶端；支撑滑块3061上还设置有：转动支轴3062和限位夹轴3063；转动支轴3062转动设置于支撑滑块3061顶端内侧；转动支轴3062一端固定设置有限位夹轴3063；通过存放载槽303能够对晶圆进行收纳，同时装配支柱304配合支撑垫片305能够对晶圆定位支撑，且承载滑柱306配合支撑滑块3061，能够带动转动支轴3062进行滑动调节，同时转动锁定螺栓3064能够对支撑滑块3061进行限位锁定，进而使限位夹轴3063能够对晶圆进行定位夹紧，从而提高支架对不同尺寸晶圆承载的稳定性。
[0037]如图3至图6所示，装配滑块103内侧还设置有：螺纹支柱105和锁定螺块106；螺纹支柱105设置于装配滑块103顶端内侧；锁定螺块106套设于螺纹支柱105外侧；承载支架2上还设置有：夹紧螺块202和装配螺栓205；夹紧螺块202套设于螺纹载柱201外侧；装配螺栓205设置于安装支块204一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆存放用石英支架，其特征在于：包括放置载座(1)、承载支架(2)和存放架框(3)；所述放置载座(1)内侧开设有装配支槽(101)，装配支槽(101)内侧固定安装有装配滑柱(102)，装配滑柱(102)外侧滑动套设有装配滑块(103)，装配滑块(103)侧面固定设置有装配支块(104)；所述承载支架(2)固定安装于装配支块(104)一端，承载支架(2)顶端内侧固定设置有螺纹载柱(201)，螺纹载柱(201)外侧套设有装配套环(203)，装配套环(203)两端固定设置有安装支块(204)；所述存放架框(3)固定安装于安装支块(204)侧面，存放架框(3)侧面固定设置有支撑侧块(301)，支撑侧块(301)侧面开设有安装螺槽(302)，同时存放架框(3)内侧开设有存放载槽(303)，且存放架框(3)侧面固定设置有承载滑柱(306)，承载滑柱(306)外侧滑动套设有支撑滑块(3061)，支撑滑块(3061)侧面通过螺纹结构设置有锁定螺栓(3064)。2.如权利要求1所述的一种晶圆存放用石英支架，其特征在于，所述装配滑块(103)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵福庆，马伦，王华阳，
申请(专利权)人：苏州鑫泓电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：