一种晶圆热处理用石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆热处理用石英舟，涉及石英舟技术领域，解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；本实用新型专利技术在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内。将晶圆固定到石英座内。将晶圆固定到石英座内。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆热处理用石英舟


[0001]本技术属于石英舟
，更具体地说，特别涉及一种晶圆热处理用石英舟。

技术介绍

[0002]在半导体材料制备领域，常常采用热氧化的方法在晶圆表面制备二氧化硅等，对晶圆进行热处理，在晶圆进行热处理的过程中，大多将多个晶圆放置于石英舟中，再将石英舟放置于热处理反应釜中，同时对多个晶圆进行热处理。
[0003]基于上述，本专利技术人发现，现有的一部分石英舟结构过于简单，石英舟和晶圆的直径不匹配，晶圆放置于石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆热处理用石英舟，以解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题。
[0005]本技术一种晶圆热处理用石英舟的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]一种晶圆热处理用石英舟，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：包括主体(1)；所述主体(1)的内部开设有圆形槽，且主体(1)的内部还设有限位槽(101)；所述主体(1)的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒(102)，且主体(1)的内部安装有托盘(2)，并且主体(1)内滑动连接有石英座(3)；所述石英座(3)的两侧分别开设有安装孔(302)，且安装孔(302)内滑动连接有支撑杆(4)；所述支撑杆(4)上开设有螺纹孔，且支撑杆(4)上安装有调整杆(5)；所述主体(1)的两侧分别开设有螺纹孔，且主体(1)的两侧分别安装有活动杆A(7)，并且活动杆A(7)上的外侧开设有螺纹；所述活动杆A(7)的外侧螺纹连接在主体(1)螺纹孔内，且活动杆A(7)上安装有活动杆B(8)。2.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述石英座(3)的外侧与限位槽(101)相贴合，且石英座(3)的底部开设有调整孔(301)，并且调整孔(301)内滑动连接有内螺纹筒(102)。3.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华阳，赵福庆，袁春阳，
申请(专利权)人：苏州鑫泓电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：