一种晶圆热处理用石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆热处理用石英舟，涉及石英舟技术领域，解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；本实用新型专利技术在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内。将晶圆固定到石英座内。将晶圆固定到石英座内。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆热处理用石英舟


[0001]本技术属于石英舟
，更具体地说，特别涉及一种晶圆热处理用石英舟。

技术介绍

[0002]在半导体材料制备领域，常常采用热氧化的方法在晶圆表面制备二氧化硅等，对晶圆进行热处理，在晶圆进行热处理的过程中，大多将多个晶圆放置于石英舟中，再将石英舟放置于热处理反应釜中，同时对多个晶圆进行热处理。
[0003]基于上述，本专利技术人发现，现有的一部分石英舟结构过于简单，石英舟和晶圆的直径不匹配，晶圆放置于石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆热处理用石英舟，以解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题。
[0005]本技术一种晶圆热处理用石英舟的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]一种晶圆热处理用石英舟，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；所述支撑杆上开设有螺纹孔，且支撑杆上安装有调整杆；所述主体的两侧分别开设有螺纹孔，且主体的两侧分别安装有活动杆A，并且活动杆A上的外侧开设有螺纹；所述活动杆A的外侧螺纹连接在主体螺纹孔内，且活动杆A上安装有活动杆B。
[0007]进一步的，所述石英座的外侧与限位槽相贴合，且石英座的底部开设有调整孔，并且调整孔内滑动连接有内螺纹筒。
[0008]进一步的，所述托盘的底部设有螺纹杆，且托盘底部螺纹杆螺纹连接在内螺纹筒内，并且托盘滑动连接在石英座的内部。
[0009]进一步的，所述调整杆的外侧设有螺纹，且调整杆螺纹连接在支撑杆螺纹孔内；所述调整杆的顶部开设有内六角孔，且调整杆内六角孔内滑动连接有摇把。
[0010]进一步的，所述调整杆的底部转动连接有压实盘，且压实盘的底部呈环绕状固定连接有压实杆，并且压实杆的底部与晶圆顶部相贴合。
[0011]进一步的，所述活动杆A的顶部固定连接有防滑圈，且活动杆A的内侧也开设有螺纹孔。
[0012]进一步的，所述活动杆B的顶部外侧设有螺纹，且活动杆B螺纹连接在活动杆A螺纹孔内，并且活动杆B的顶部固定连接有吊环。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]1、本技术通过设置旋转托盘调整托盘在内螺纹筒的高度，然后利用托盘对石英座内的晶圆进行托举，使晶圆在石英座内能调整高度，进而利用石英座内部上大下小的形状更加的贴合于更多直径的晶圆外侧，避免晶圆在制造的过程中向下位移。
[0015]2、本技术在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内，方便工作人员进行晶圆的如处理工作。
[0016]3、本技术通过设置吊环连接吊索或者吊钩，方便工作人员将本装置从加热设备中取出，而且活动杆A和活动杆B的高度都可以进行调整，方便工作人员更好地将本装置从加热设备内取出。
附图说明
[0017]图1是本技术的整体轴视示意图；
[0018]图2是本技术的主体剖视示意图；
[0019]图3是本技术的石英座剖视示意图；
[0020]图4是本技术的活动杆A轴视示意图。
[0021]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0022]1、主体；101、限位槽；102、内螺纹筒；2、托盘；3、石英座；301、调整孔；302、安装孔；4、支撑杆；5、调整杆；501、摇把；6、压实盘；601、压实杆；7、活动杆A；701、防滑圈；8、活动杆B；801、吊环。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]实施例：
[0026]如图1至图4所示：
[0027]本技术提供一种晶圆热处理用石英舟，包括主体1；主体1的内部开设有圆形槽，且主体1的内部还设有限位槽101；主体1的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒102，且主体1的内部安装有托盘2，并且主体1内滑动连接有石英座3；石英座3的两侧分别开设有安装孔302，且安装孔302内滑动连接有支撑杆4；石英座3的外侧与限位槽101相贴合，且石英座3的底部开设有调整孔301，并且调整孔301内滑动连接有内螺纹筒102；支撑杆4上开设有螺纹孔，且支撑杆4上安装有调整杆5；调整杆5的外侧设有螺纹，且调整杆5螺纹连接在支撑杆4螺纹孔内；调整杆5的顶部开设有内六角孔，且调整杆5内六角孔内滑动连接有摇把501；主体1的两侧分别开设有螺纹孔，且主体1的两侧分别安装有活动杆A7，并且活动杆A7上的外侧开设有螺纹；活动杆A7的外侧螺纹连接在主体1螺纹孔内，且活动杆A7上安装有活
动杆B8；活动杆A7的顶部固定连接有防滑圈701，且活动杆A7的内侧也开设有螺纹孔；活动杆B8的顶部外侧设有螺纹，且活动杆B8螺纹连接在活动杆A7螺纹孔内，并且活动杆B8的顶部固定连接有吊环801，通过吊环801连接吊索或者吊钩，方便工作人员将本装置从加热设备中取出，而且活动杆A7和活动杆B8的高度都可以进行调整，方便工作人员更好地将本装置从加热设备内取出。
[0028]其中，托盘2的底部设有螺纹杆，且托盘2底部螺纹杆螺纹连接在内螺纹筒102内，并且托盘2滑动连接在石英座3的内部；
[0029]采用上述方案，通过旋转托盘2调整托盘2在内螺纹筒102的高度，然后利用托盘2对石英座3内的晶圆进行托举，使晶圆在石英座3内能调整高度，进而利用石英座3内部上大下小的形状更加的贴合于更多直径的晶圆外侧，避免晶圆在制造的过程中向下位移。
[0030]其中，调整杆5的底部转动连接有压实盘6，且压实盘6的底部呈环绕状固定连接有压实杆601，并且压实杆601的底部与晶圆顶部相贴合；
[0031]采用上述方案，在晶圆放入石英座3后通过摇把501的旋转，使支撑杆4上的调整杆5进行上下位移，将调整杆5底部的压实杆601贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座3内，方便工作人员进行晶圆的如处理工作。
[0032]本实施例的具体使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：包括主体(1)；所述主体(1)的内部开设有圆形槽，且主体(1)的内部还设有限位槽(101)；所述主体(1)的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒(102)，且主体(1)的内部安装有托盘(2)，并且主体(1)内滑动连接有石英座(3)；所述石英座(3)的两侧分别开设有安装孔(302)，且安装孔(302)内滑动连接有支撑杆(4)；所述支撑杆(4)上开设有螺纹孔，且支撑杆(4)上安装有调整杆(5)；所述主体(1)的两侧分别开设有螺纹孔，且主体(1)的两侧分别安装有活动杆A(7)，并且活动杆A(7)上的外侧开设有螺纹；所述活动杆A(7)的外侧螺纹连接在主体(1)螺纹孔内，且活动杆A(7)上安装有活动杆B(8)。2.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述石英座(3)的外侧与限位槽(101)相贴合，且石英座(3)的底部开设有调整孔(301)，并且调整孔(301)内滑动连接有内螺纹筒(102)。3.如权利要求1所述一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华阳，赵福庆，袁春阳，
申请(专利权)人：苏州鑫泓电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：