用于半导体装置的四个侧的检验及计量的系统及方法制造方法及图纸

公开一种检验或计量样品的四个侧的方法。所述方法包含在成像工具的第一侧处的载体中提供样品，及经由取放载台组合件将所述样品从所述载体移动到所述成像工具。所述方法包括经由所述成像工具的第一通道及第二通道使所述样品的第一侧及第二侧成像，及使所述样品返回到所述载体。所述方法包含使所述载体旋转90度且将所述载体平移到所述成像工具的相对侧，及使所述样品从所述载体个别移动到所述成像工具。所述方法包含经由所述成像工具的所述第一通道及第二通道使所述样品的第三侧及第四侧成像，及使所述一或多个样品从所述成像工具返回到所述载体。回到所述载体。回到所述载体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于半导体装置的四个侧的检验及计量的系统及方法
[0001]相关申请案的交叉参考
[0002]本申请案主张2020年11月12日申请的第63/112,650号美国临时申请案的权利，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。


[0003]本公开大体上涉及半导体装置的多达四个侧的检验或计量，且特定来说，本公开涉及一种包含用于旋转特性化样品以允许检验或计量半导体装置的四个侧的载体系统的检验或计量系统。

技术介绍

[0004]半导体装置产业需要能够对半导体装置的四个侧进行检验及临界尺寸计量的检验及计量工具。此挑战的常见解决方案是实施
‘
镜块
’
成像系统。镜块成像用于使半导体装置的四个或五个侧成像。现有镜块系统受制于有限照明角及镜块硬件连结到物体尺寸及载体尺寸。现有镜块系统还需要手动切换来使给定物体的所有侧成像，这会明显限制处理量。此类系统往往操作缓慢，因为仅单个成像装置在操作且物体必须连续移动进出镜块(上/下)。镜块中所使用的镜及成像物体必须配合于一个视域(FOV)中。期望提供一种解决以上概述的现有方法的缺陷的系统及方法。

技术实现思路

[0005]根据本公开的一或多个实施例，公开一种用于特性化半导体装置的四个侧的系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含样品载体。在另一说明性实施例中，所述系统包含取放头。在另一说明性实施例中，所述系统包含成像子系统，其包含第一通道及第二通道，其中载台组合件可在所述载体与所述成像子系统之间转移样品。在另一说明性实施例中，所述系统包含具有一或多个处理器及存储器的控制器。所述一或多个处理器可执行存储于所述存储器中的一组程序指令。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述载台组合件将所述样品从位于第一位置处的所述载体移动到所述成像子系统。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述成像子系统经由所述成像子系统的所述第一通道检验所述样品的第一侧且经由所述成像子系统的所述第二通道检验所述样品的第二侧。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述载台组合件将所述样品从所述成像子系统移动到所述载体。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述载体移动到第二位置。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述载体相对于所述载体在所述第一位置中的定向旋转90度。在另一说明性实施例中，所述控制器可指导所述载台组合件将所述样品从位于所述第二位置处的所述载体移动到所述成像子系统。在另一说明性实施例中，所述一或多个处理器可指导所述成像子系统经由所述成像子系统的所述第一通道检验所述样品的第三侧且经由所述成像子系统的所述第二通道检验所述样品的第四侧。
[0006]根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种特性化系统。在一个说明性实施
例中，所述系统包含可通信地耦合到成像子系统的控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述成像子系统的载台组合件将样品从位于第一位置处的载体移动到所述成像子系统。在另一实施例中，所述控制器指导所述成像子系统经由所述成像子系统的第一通道使所述样品的第一侧成像且经由所述成像子系统的第二通道使所述样品的第二侧成像。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述载台组合件将所述样品从所述成像子系统移动到所述载体。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述载体移动到第二位置。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述载体相对于所述载体在所述第一位置中的定向旋转90度。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述载台组合件将所述样品从位于所述第二位置处的所述载体移动到所述成像子系统。在另一说明性实施例中，所述控制器指导所述成像子系统经由所述成像子系统的所述第一通道检验所述样品的第三侧且经由所述成像子系统的所述第二通道检验所述样品的第四侧。
[0007]根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种方法。在一个说明性实施例中，所述方法包含在成像工具的第一侧处的载体中提供多个样品。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由取放载台组合件将所述样品中的一或多者从所述载体移动到所述成像工具。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由所述成像工具的第一通道使所述一或多个样品的第一侧成像且经由所述成像工具的第二通道使所述一或多个样品的第二侧成像。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由所述取放载台组合件将所述一或多个样品从所述成像工具移动到所述载体。在另一说明性实施例中，所述方法包含使所述载体旋转90度及将所述载体平移到与所述第一侧相对的所述成像工具的第二侧。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由所述取放载台组合件将所述一或多个样品从所述载体移动到所述成像工具。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由所述成像工具的所述第一通道使所述一或多个样品的第三侧成像且经由所述成像工具的所述第二通道使所述一或多个样品的第四侧成像。在另一说明性实施例中，所述方法包含经由所述取放载台组合件将所述一或多个样品从所述成像工具移动到所述载体。在另一说明性实施例中，所述方法包含组合来自所述一或多个样品的所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧及所述第四侧的图像数据。在另一说明性实施例中，所述方法包含基于来自所述一或多个样品的所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧及所述第四侧的所述图像数据来特性化所述一或多个样品。
[0008]应了解，以上一般描述及以下详细描述两者仅供例示及说明且未必限制所主张的专利技术。并入说明书中且构成说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且与一般描述一起用于解释本专利技术的原理。
附图说明
[0009]所属领域的技术人员可通过参考附图来更好理解本公开的许多优点。
[0010]图1A说明根据本公开的一或多个实施例的能够使样品的四个侧成像的特性化系统的概念图。
[0011]图1B说明根据本公开的一或多个实施例的特性化系统的示意图。
[0012]图1C说明根据本公开的一或多个替代实施例的特性化系统的示意图。
[0013]图2说明根据本公开的一或多个实施例的用于实施四侧特性化的过程流程的概念图。
[0014]图3说明根据本公开的一或多个实施例的包含两个取放头的特性化系统及用于使两个样品并行成像的对应成像流程的概念俯视图。
[0015]图4说明根据本公开的一或多个实施例的在多个视域上检验较大物体的概念侧视图。
[0016]图5说明根据本公开的一或多个实施例的在单个视域内检验多个样品的概念侧视图。
[0017]图6说明描绘根据本公开的一或多个实施例的特性化一或多个样品的四个侧的方法的流程图。
具体实施方式
[0018]本公开已相对于某些实施例及其具体特征进行特别展示及描述。本文中所阐述的实施例被视为说明而非限制。所属领域的一般技术人员应易于明白，可在不背离本公开的精神及范围的情况下对形式及细节进行各种改变及修改。现将详细参考附图中所说明的公开标的物。
[0019]图1A说明根据本公开的一或多个实施例的能够使样品的四个侧成像的特性化系统100的概念图。在实施例中，系统100包含样品载体102、载台组合件104、成像子系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种特性化系统，其包括：样品载体；载台组合件，其包含取放头；成像子系统，其包含第一通道及第二通道，其中所述载台组合件经配置以在所述载体与所述成像子系统之间转移样品；及控制器，其包含一或多个处理器及存储器，所述一或多个处理器经配置以执行经存储于所述存储器中的一组程序指令，所述一组程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：指导所述载台组合件将所述样品从位于第一位置处的所述载体移动到所述成像子系统；指导所述成像子系统经由所述成像子系统的所述第一通道检验所述样品的第一侧，且经由所述成像子系统的所述第二通道检验所述样品的第二侧；指导所述载台组合件将所述样品从所述成像子系统移动到所述载体；指导所述载体移动到第二位置；指导所述载体相对于所述载体在所述第一位置中的定向旋转90度；指导所述载台组合件将所述样品从位于所述第二位置的所述载体移动到所述成像子系统；及指导所述成像子系统经由所述成像子系统的所述第一通道检验所述样品的第三侧，且经由所述成像子系统的所述第二通道检验所述样品的第四侧。2.根据权利要求1所述的特性化系统，其中所述控制器进一步经配置以组合所述样品的所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧及所述第四侧中的每一者的一或多个图像。3.根据权利要求1所述的特性化系统，其中所述控制器进一步经配置以基于所述样品的所述经组合的一或多个图像来特性化所述样品。4.根据权利要求3所述的特性化系统，其中所述控制器进一步经配置以基于所述样品的所述经组合的一或多个图像来检验所述样品，且识别所述样品的一或多个侧上的一或多个缺陷。5.根据权利要求4所述的特性化系统，其中所述控制器进一步经配置以基于所述样品的所述经组合的一或多个图像来执行所述样品的计量测量以识别所述样品的所述一或多个侧的一或多个临界尺寸。6.根据权利要求1所述的特性化系统，其中所述第一通道包含第一光源组合件及第一组光学器件，且所述第二通道包含第二光源组合件及第二组光学器件。7.根据权利要求6所述的特性化系统，其中所述成像子系统进一步包括：照相机；及一组收集光学器件，其经配置以接收由所述第一组光学器件从所述样品收集的第一通道照明及由所述第二组光学器件从所述样品收集的第二通道照明，且将所述第一通道照明及所述第二通道照明导引到所述照相机。8.根据权利要求7所述的特性化系统，其中所述一组收集光学器件包括：屋顶式反射镜；及物镜，其中所述屋顶式反射镜经配置以接收由所述第一组光学器件从所述样品收集的第一
通道照明及由所述第二组光学器件从所述样品收集的第二通道照明，且将所述第一通道照明及所述第二通道照明导引到所述照相机，其中所述物镜经配置以将所述第一通道照明及所述第二通道照明导引及聚焦到所述照相机的一或多个传感器上。9.根据权利要求8所述的特性化系统，其进一步包括经定位于所述样品与所述屋顶式反射镜之间的不透明板，所述不透明板经配置以阻挡照明从所述样...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：