驱动装置及化学气相沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种驱动装置及化学气相沉积设备，其中的装置包括支撑体、设置在支撑体内部的驱动组件；其中，在支撑体之间设置有至少一个透明盖板；透明盖体用于查看驱动组件的动作和状态。利用上述实用新型专利技术能够在不打开壳体的情况下，实时观察驱动组件的当前动作和工作状态。工作状态。工作状态。

【技术实现步骤摘要】
驱动装置及化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及半导体晶体处理
，更为具体地，涉及一种驱动装置及化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)设备是利用指等离子体增强化学的气相沉积设备，该设备借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，进而在基片上沉积出所期望的薄膜。其中，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
[0003]目前，半导体晶圆通常是在振动盘中进行反应，而振动盘则通过驱动装置进行振动驱动，为了确保操作人员的操作安全，防止手部被误夹伤，通常会在驱动装置外侧设置保护罩，但是该保护罩的安装不便于操作人员及时的观察驱动装置的内部情况，便捷性不能满足需求。
[0004]因此，目前亟需一种驱动装置能够在确保安全的状态下，便于操作人员及时的了解驱动装置内部的动作状态。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种驱动装置及化学气相沉积设备，以解决现有方案中需要拆除防护罩才能够确认驱动装置内部状态，导致便捷性差的问题。
[0006]本技术提供的驱动装置，包括支撑体、设置在支撑体内部的驱动组件；其中，在支撑体之间设置有至少一个透明盖板；透明盖体用于查看驱动组件的动作和状态。
[0007]此外，可选的结构特征是，支撑体设置有三个，在相邻两支撑体之间分别设置有防护壳；其中，位于驱动装置的正面的防护壳采用透明盖板。
[0008]此外，可选的结构特征是，驱动组件包括驱动器、连接在驱动器端部的驱动轴，以及套设在驱动轴外部的波纹管；其中，波纹管可在驱动轴的作用下进行伸展或收缩。
[0009]此外，可选的结构特征是，在支撑体的侧壁上设置有第一固定孔，在透明盖板的两侧设置有与第一固定孔位置对应的第二固定孔；透明盖板和支撑体之间通过穿过第二固定孔和第一固定孔的螺栓固定连接。
[0010]此外，可选的结构特征是，透明盖板为玻璃板或PC板。
[0011]此外，可选的结构特征是，防护壳为金属板。
[0012]此外，可选的结构特征是，防护壳的内侧壁设置为镜面结构。
[0013]此外，可选的结构特征是，还包括设置在支撑体顶部的顶板；其中，在顶板上设置有轴孔，驱动轴自轴孔内穿出并与外界振动盘连接。
[0014]另一方面，本技术还提供一种化学气相沉积设备，包括上述任一项驱动装置。
[0015]利用上述驱动装置及化学气相沉积设备，设置支撑体和位于支撑体内部的驱动组
件；其中，在支撑体之间设置有至少一个透明盖板，透明盖体能够在确保操作人员手部安全的同时，便于查看驱动组件的内部动作和状态，无需进行壳体的拆除和安装，结构简单且便捷性强。
[0016]为了实现上述以及相关目的，本技术的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本技术的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本技术的原理的各种方式中的一些方式。此外，本技术旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。
附图说明
[0017]通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本技术的更全面理解，本技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：
[0018]图1为根据本技术实施例的驱动装置的立体图；
[0019]图2为根据本技术实施例的驱动装置的透视图；
[0020]图3为根据本技术实施例的驱动装置的俯视图。
[0021]附图中的标记：1、支撑体；2、透明盖板；3、防护壳；4、顶板；5、波纹管；6、镜面结构。
[0022]在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
[0023]在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。在其它例子中，为了便于描述一个或多个实施例，公知的结构和设备以方框图的形式示出。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，以下术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的内容或结构的限制。
[0025]为解决现有的驱动方案中为了确保操作人员的操作安全，防止手部被误夹伤，通常会在驱动装置外侧设置保护罩，但是该保护罩的安装不便于操作人员及时的观察驱动装置的内部情况，便捷性不能满足需求等问题，本技术提供一种驱动装置，设置支撑体和位于支撑体内部的驱动组件；其中，在支撑体之间设置有至少一个透明盖板，透明盖体能够在确保操作人员手部安全的同时，便于查看驱动组件的内部动作和状态，无需进行壳体的拆除和安装，结构简单且便捷性强。
[0026]为详细描述本技术的驱动装置的结构，以下将结合附图对本技术的具体实施例进行详细描述。
[0027]图1至图3别示出了根据本技术实施例的驱动装置的立体结构、透视结构及俯视结构。
[0028]如图1至图3共同所示，本技术实施例的驱动装置，包括支撑体1、设置在支撑体1内部的驱动组件；其中，在支撑体1之间设置有至少一个透明盖板2，透明盖体的设置能
够在保护操作人员的同时，便于操作人员查看驱动组件的内部动作和当前状态，无需进行壳体的拆除或者安装即可实时的了解到驱动组件的内部状态。
[0029]具体地，支撑体1设置有三个，三个支撑载体呈中西对称分布，在相邻对两支撑体1之间分别设置有防护壳3；其中，位于驱动装置的正面的防护壳3采用透明盖板2设置，而其他位置的两个防护壳3可保留之前的结构。
[0030]其中，驱动组件可进一步包括驱动器、连接在驱动器端部的驱动轴，以及套设在驱动轴外部的波纹管5；其中，波纹管5可在驱动轴的作用下进行伸展或收缩，而驱动轴可在Z轴方向上进行高频往复运动，进行使得驱动轴顶部的振动盘产生振动。
[0031]为了实现对防护壳3和透明盖板2的固定，可在支撑体1的侧壁上设置若干个第一固定孔，在透明盖板2的两侧设置有与第一固定孔位置对应的第二固定孔；透明盖板2和支撑体1之间通过穿过第二固定孔和第一固定孔的螺栓进行固定连接，同理，防护壳3也可采用类似的固定方式。
[0032]为了实现透明盖板2的透视及结构强度，透明盖板2可采用有机玻璃板、PC板或者其他具有一定结构强度且透明的材料均本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种驱动装置，其特征在于，包括支撑体、设置在所述支撑体内部的驱动组件；其中，在所述支撑体之间设置有至少一个透明盖板；所述透明盖板用于查看所述驱动组件的动作和状态。2.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述支撑体设置有三个，在相邻两支撑体之间分别设置有防护壳；其中，位于所述驱动装置的正面的防护壳采用所述透明盖板。3.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动器、连接在所述驱动器端部的驱动轴，以及套设在所述驱动轴外部的波纹管；其中，所述波纹管可在所述驱动轴的作用下进行伸展或收缩。4.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，在所述支撑体的侧壁上设置有第一固定孔，在所述透...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑盈箕，崔键洙，罗载文，金洙千，柳相晩，尹仁相，金在勋，李吉荣，崔煐来，吉炯昱，沈常圭，罗正钦，玄暻，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：