【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法
[0001]本专利技术涉及太阳能电池生产
,特别涉及一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法。
技术介绍
[0002]PECVD系统是一组利用石墨舟和高频等离子激发器的系列发生器,在低压和升温的情况下,等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应,所用的活性气体为硅烷硅烷和氨气,在真空、480摄氏度的环境温度下,通过对石墨舟的导电,使得这些气体作用形成氮化硅并存储在硅片上,由此完成硅片的镀膜,可以根据改变硅烷对氨气的比率,来得到不同的折射指数;
[0003]在进行镀膜前需将硅片通过石墨舟卡点安装在石墨舟上,石墨舟卡点在使用过程中会造成磨损,石墨舟卡点的磨损会导致镀膜均匀性降低,因此每隔2
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3个月需对石墨舟卡点进行更换,现有的石墨舟卡点为一体化设计,在对其进行更换时,不能单独对磨损部位进行更换,极大的增加了石墨舟卡点的更换成本。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法,用以解决现有的石墨舟卡点为一体化设计,在对其进行更换时,不能单独对磨损部位进行更换,极大的增加了石墨舟卡点的更换成本的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术公开了一种石墨舟卡点,包括:
[0006]连接件,所述连接件连接在石墨舟的石墨舟片上的石墨舟卡点安装孔内;
[0007]两对称布置的卡接件,两卡接件分别螺纹连接在所述连接件两端,所述卡接件与连接件之间形成硅片卡接槽,所述硅片卡接槽用于硅片的安装。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟卡点,其特征在于,包括:连接件(1),所述连接件(1)连接在石墨舟(3)的石墨舟片(303)上的石墨舟卡点安装孔(300)内;两对称布置的卡接件(2),两卡接件(2)分别螺纹连接在所述连接件(1)两端,所述卡接件(2)与连接件(1)之间形成硅片卡接槽(301),所述硅片卡接槽(301)用于硅片(302)的安装。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,所述连接件(1)包括螺纹连接件(100)和盘体(101),所述盘体(101)螺纹连接在螺纹连接件(100)中部,所述卡接件(2)螺纹连接在所述螺纹连接件(100)两端。3.根据权利要求2所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,所述盘体(101)内开设有收纳槽(1010),所述收纳槽(1010)内固定连接有导向筒体(1011),所述导向筒体(1011)内滑动连接有导向杆(1012),所述导向杆(1012)与所述导向筒体(1011)之间固定连接有第一弹性件(1013),所述导向杆(1012)远离所述导向筒体(1011)的一端固定连接有抵接板体(1014)。4.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,所述卡接件(2)包括:T型台体(200),所述T型台体(200)螺纹连接在所述连接件(1)两端;若干弧形扩容件(201),若干所述弧形扩容件(201)沿T型台体(200)径向滑动连接在T型台体(200)的扩容件安装滑槽(2000)内,所述弧形扩容件(201)与所述扩容件安装滑槽(2000)内壁之间通过第二弹性件(2001)连接。5.根据权利要求4所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,所述T型台体(200)设有扩容驱动组件,所述扩容驱动组件包括:驱动丝杠(2002),所述驱动丝杠(2002)转动连接在所述T型台体(200)内壁,所述驱动丝杠(2002)上设有第一驱动件,所述第一驱动件用于驱动所述驱动丝杠(2002)转动;若干环形布置的L型导向件(2003),所述L型导向件(2003)与所述弧形扩容件(201)一一对应,所述L型导向件(2003)上滑动连接有扩容执行筒体(2004),所述扩容执行筒体(2004)与所述L型导向件(2003)之间通过第三弹性件(2005)连接;驱动螺母(2006),所述驱动螺母(2006)螺纹连接在所述驱动丝杠(2002)上,所述驱动螺母(2006)上环形铰链连接有若干扩容杆件(2007),所述扩容杆件(2007)远离所述驱动螺母(2006)的一端与所述扩容执行筒体(2004)铰链连接。6.根据权利要求4所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,还包括:环形啮合齿(202),所述环形啮合齿(202)固定连接在所述T型台体(200)内;啮合筒体(2020),所述啮合筒体(2020)转动连接在所述连接件(1)的螺纹连接件(100)上,所述啮合筒体(2020)外壁与所述环形啮合齿(202)相互啮合;齿轮转轴(2021),所述齿轮转轴(2021)转动连接在所述螺纹连接件(100)内,所述齿轮转轴(2021)上设有第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述齿轮转轴(2021)转动;筒体啮合齿轮(2022),所述筒体啮合齿轮(2022)键连接在所述齿轮转轴(2021)上,所述筒体啮合齿轮(2022)与所述啮合筒体(2020)内壁相互啮合。7.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点,其特征在于,还包括:
石墨舟卡点更换提示系统,所述石墨舟卡点更换提示系统用于监测石墨舟卡点的使用状况,并在石墨舟卡点使用状况不佳时进行报警提示,所述石墨舟卡点更换提示系统包括:压力传感器,所述压力传感器设置在所述卡接件(2)的a侧面(2023)上,用于检测a侧面(2023)所受的压力;计数器,所述计数器设置在所述石墨舟卡点上,用于检测所述石墨舟卡点的使用次数;控制器,报警器,所述控制器与所述压力传感器、计数器和报警器电连接,所述控制器基于所述压力传感器和所述计数器控制所述报警器报警,包括以下步骤:步骤一:基于所述压力传感器和公式(1),计算石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数:其中,为石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数,V0为...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹林,戴亮亮,卢发树,柯雨馨,许光荣,
申请(专利权)人:阳光中科福建能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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