【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测量探头，特别涉及一种扩散四探针头。
技术介绍
1、太阳能电池生产过程中，包括制绒、扩散、湿法刻蚀、pecvd和印刷测试等工序。扩散工序是在有掺杂的硅片表面，通过高温化学工艺，沉积一定的磷原子或是硼原子，从而在表面形成pn结或是重掺杂区。pn结是晶硅电池片发电的核心，重掺杂区则能够提供更丰富的少子，提升硅片的发电性能。故经过扩散工艺的硅片，需对扩散效果进行检验，检验的方法就是进行方块电阻的测量。方阻合格的硅片会继续进行后工序生产，方阻不合格的硅片，被及时发现后会进行再处理，并查找不合格产生的原因，从而进行工艺调整或是设备维修。
2、现有技术中，扩散方阻测量用的探针头为尖针状或片状，与硅片接触面积较小，与硅片接触时硅片受到的压强较大，容易使硅片表面破损及污染导致el呈现黑斑黑点。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种扩散四探针头，用以解决
技术介绍
提出的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种扩散四探针头，包括：
3、探头座，所述探头座上连接有四个间隔分布的探头本体，所述探头本体为柱状结构。
4、优选的，所述探头本体的材质为工具钢。
5、优选的，所述探头座下端设置第一安装凹槽，所述第一安装凹槽内安装有连接箱，所述连接箱连接有散热装置；
6、探头安装块，所述探头安装块下端安装有探头本体，所述探头本体连接有导线；
7、四个中空柱形块，连接在探头安装块上端，四个中空柱形块与四个探
8、若干安装组件，沿着探头安装块周侧间隔布置；
9、若干第一弹簧，所述第一弹簧两端分别与探头安装块上端及连接箱下端内壁固定连接；
10、所述安装组件包括：
11、若干第一连接槽，上下间隔的设置在所述连接箱内侧；
12、第二凹槽，设置在所述探头安装块内侧；
13、第一滑块，滑动连接在所述第二凹槽内；
14、第一连接块，连接在第一滑块靠近第一连接槽的一端，所述第一连接块用于连接至第一连接槽内；
15、第二弹簧，两端分别与所述第一滑块及第二凹槽内壁固定连接；
16、相对的两个第一滑块中，一个第一滑块上设置永磁体，另一个第一滑块上设置电磁体。
17、优选的，所述中空柱形块左右两侧均一体固定有弧形凸块；
18、所述扩散四探针头还包括：沿着连接箱周侧均匀间隔布置的辅助组件，设置在所述连接箱内上部；
19、所述辅助组件包括：
20、第三凹槽，设置在所述连接箱上部内侧；
21、第一水平安装板，与所述第三凹槽固定连接；
22、第二滑块，沿着水平方向滑动连接在所述第一水平安装板上端；
23、第一水平杆，沿着水平方向布置，所述第一水平杆固定贯穿第二滑块；
24、第一稳定球，固定连接在所述第一水平杆相互靠近的一侧；
25、限位块，固定连接在所述第一水平安装板上，且位于两个第一水平杆相互远离的一侧；
26、第三弹簧，套接在所述第一水平杆上，所述第三弹簧两端分别与第一滑块及限位块固定连接；
27、导电块一，固定连接在第一水平杆靠近限位块的一侧；
28、导电块二，固定连接在限位块上，所述导电块一和导电块二位置相对；
29、指示灯，设置在探头座上，导电块一和导电块二接触后使得指示灯与电源之间导通。
30、优选的，所述散热装置包括：微型散热风扇，设置在所述连接箱内壁。
31、优选的，还包括：若干安装结构，所述安装结构包括：
32、中空安装座，固定连接在所述探头座上端；
33、第二水平安装板，上端与方阻测量设备的探头待安装处固定连接；
34、可拆卸连接结构，用于连接第二水平安装板及中空安装座。
35、优选的，所述可拆卸连接结构包括：若干第一连接螺栓，沿着第二水平安装板周侧设置，所述第一连接螺栓用于连接所述第二水平安装板及中空安装座。
36、优选的，所述可拆卸连接结构包括：
37、稳定柱，一体固定设置于第二水平安装板下端中部，所述稳定柱下部设置锥面；
38、若干第一安装组件，沿着稳定柱周侧间隔布置；
39、所述第一安装组件包括：
40、第一支架，固定连接在所述中空安装座下端内壁；
41、第一腔体，设置在所述第一支架下部；
42、第三滑块，沿着水平方向滑动连接在所述第一腔体内；
43、第一水平连接杆，滑动贯穿第一腔体靠近稳定柱的一侧，所述第一水平连接杆远离稳定柱的一端固定连接第三滑块；
44、第四弹簧，两端分别与所述第三滑块及第一腔体内壁固定连接；
45、第一弧形卡块，固定连接在第一水平连接杆的另一端，稳定柱下部设置与第一弧形卡块配合的第一卡槽。
46、优选的，所述可拆卸连接结构还包括：若干第二安装组件，分别与若干第一安装组件一一对应；
47、所述第二安装组件包括：
48、第四滑块，与第一支架沿着上下方向滑动连接；
49、倒v形摆杆，上部与第一支架转动连接，下部与所述锥面接触；
50、第二连接杆，两端分别与倒v形摆杆及第四滑块转动连接；
51、第五弹簧，两端分别与第四滑块及第一支架固定连接；
52、驱动杆，包括：第一水平段，与第二水平安装板下部连接，第一水平段下端靠近稳定柱的一侧固定连接有竖直段，竖直段下端靠近稳定柱的一侧固定连接有第二水平段，所述第二水平段用于与倒v形摆杆上部接触，中空安装座上端设置供第二水平段及竖直段通过的第二通孔；
53、第二连接块，固定连接在所述中空安装座上端内壁，所述第二连接块上端设置第二卡槽；
54、竖直卡杆，固定连接在所述第一水平段下端，中空安装座上端设置供竖直卡杆下部通过的第一通孔，竖直卡杆下部用于连接至第二卡槽内。
55、优选的，第一水平段与第二水平安装板下部的驱动槽上下滑动连接，驱动槽内设置驱动凸轮，驱动凸轮由驱动电机驱动旋转，驱动凸轮与第一水平段接触，第一水平段与驱动槽内壁之间连接有复位弹簧。
56、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扩散四探针头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述探头本体(2)的材质为工具钢。
3.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述中空柱形块(5)左右两侧均一体固定有弧形凸块(76)；
5.根据权利要求3所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述散热装置包括：微型散热风扇，设置在所述连接箱(3)内壁。
6.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，还包括：若干安装结构，所述安装结构包括：
7.根据权利要求6所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述可拆卸连接结构(9)包括：若干第一连接螺栓(91)，沿着第二水平安装板(11)周侧设置，所述第一连接螺栓(91)用于连接所述第二水平安装板(11)及中空安装座(10)。
8.根据权利要求6或7所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述可拆卸连接结构(9)包括：
9.根据权利要求8所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述可拆卸连
10.根据权利要求9所述的一种扩散四探针头，其特征在于，第一水平段(913)与第二水平安装板(11)下部的驱动槽上下滑动连接，驱动槽内设置驱动凸轮(13)，驱动凸轮(13)由驱动电机驱动旋转，驱动凸轮(13)与第一水平段(913)接触，第一水平段(913)与驱动槽内壁之间连接有复位弹簧。
...【技术特征摘要】
1.一种扩散四探针头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述探头本体(2)的材质为工具钢。
3.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述中空柱形块(5)左右两侧均一体固定有弧形凸块(76)；
5.根据权利要求3所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述散热装置包括：微型散热风扇，设置在所述连接箱(3)内壁。
6.根据权利要求1所述的一种扩散四探针头，其特征在于，还包括：若干安装结构，所述安装结构包括：
7.根据权利要求6所述的一种扩散四探针头，其特征在于，所述可拆卸连接结构(9)包括：若干第一连接螺栓(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖伟塔，戴亮亮，陈阳泉，李超群，刘帅，
申请(专利权)人：阳光中科福建能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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