下载一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法的技术资料

文档序号:38086662

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本发明提供了一种石墨舟卡点,包括:连接件,所述连接件连接在石墨舟的石墨舟片上的石墨舟卡点安装孔内;两对称布置的卡接件,两卡接件分别螺纹连接在所述连接件两端,所述卡接件与连接件之间形成硅片卡接槽,所述硅片卡接槽用于硅片的安装。本发明中,石墨舟...
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