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本实用新型提供一种驱动装置及化学气相沉积设备，其中的装置包括支撑体、设置在支撑体内部的驱动组件；其中，在支撑体之间设置有至少一个透明盖板；透明盖体用于查看驱动组件的动作和状态。利用上述实用新型能够在不打开壳体的情况下，实时观察驱动组件的当前...
该专利属于盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司授权不得商用。

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