电镀装置及晶圆的电镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种电镀装置及晶圆的电镀方法，电镀装置包括：外腔组件和内腔组件，外腔组件具有容置腔，内腔组件可拆卸地设于容置腔内，内腔组件具有多个电镀区域，每个电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，待电镀部件水平放置，且待电镀部件在水平面内可转动。根据本发明专利技术的电镀装置，采用可组装的内腔组件和外腔组件，在待电镀部件进行电镀时，可以将内腔组件从外腔组件中取出，以便于待电镀部件的放置。电镀装置采用水平电镀的方式，待电镀部件电镀过程中，在水平面内转动，从而可以去除待电镀部件表面产生的气泡，从而提高电镀质量。而且，该电镀装置，可以同时进行多片待电镀部件的电镀，提高了电镀效率。提高了电镀效率。提高了电镀效率。

【技术实现步骤摘要】
电镀装置及晶圆的电镀方法


[0001]本专利技术涉及晶圆电镀
，尤其涉及一种电镀装置及晶圆的电镀方法。

技术介绍

[0002]晶圆的电镀装置包括水平电镀装置和垂直电镀装置，其中，水平电镀装置仅能一次电镀一片晶圆，效率低；垂直电镀装置可以同时电镀多片晶圆，但是晶圆电镀过程中，晶圆表面产生的气泡及电解液电场分布不均匀等因素，影响晶圆的电镀质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是如何提高晶圆的电镀质量和效率，本专利技术提出一种电镀装置及晶圆的电镀方法。
[0004]根据本专利技术实施例的电镀装置，包括：
[0005]外腔组件，具有容置腔；
[0006]内腔组件，可拆卸地设于所述容置腔内，所述内腔组件具有多个电镀区域，每个所述电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，所述待电镀部件水平放置，且所述待电镀部件在水平面内可转动。
[0007]根据本专利技术实施例的电镀装置，采用可组装的内腔组件和外腔组件，在待电镀部件进行电镀时，可以将内腔组件从外腔组件中取出，以便于待电镀部件的放置。电镀装置采用水平电镀的方式，待电镀部件电镀过程中，在水平面内转动，从而可以去除待电镀部件表面产生的气泡，从而提高电镀质量。而且，该电镀装置，可以同时进行多片待电镀部件的电镀，提高了电镀效率。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，所述外腔组件设有第一简谐驱动部，所述第一简谐驱动部与所述阳极板配合，以驱动所述阳极板在水平方向做简谐运动。
[0009]在本专利技术的一些实施例中，所述外腔组件设有旋转驱动部，所述旋转驱动部与所述待电镀部件配合，以驱动所述待电镀部件转动。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，所述待电镀部件通过夹具固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述夹具接触的弹性电刀，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述夹具的金属内衬与所述弹性电刀接触配合。
[0011]在本专利技术的一些实施例中，所述阳极板通过连接件固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述连接件相适配的固定部，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述固定部与所述连接件配合连接。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述待电镀部件通过所述夹具和所述弹性电刀与外部电源的负极连接，所述阳极板通过所述连接件和所述固定部与外部电源的正极连接。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，所述电镀装置还包括：绝缘板，所述绝缘板设于所述阳极板和所述待电镀部件之间，所述绝缘板具有多个供电解液流通的过孔。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述外腔组件设有第二简谐驱动部，所述第二简谐驱
动部驱动所述绝缘板在水平面内做简谐运动。
[0015]根据本专利技术实施例的晶圆的电镀方法，所述方法采用如上所述的电镀装置进行晶圆的电镀，所述方法包括：
[0016]S10，横置内腔组件的框架，并在所述框架内装配多个阳极板、多个绝缘板及多个待电镀晶圆，组成内腔组件；
[0017]S20，将装配好的内腔组件竖直放置于外腔组件的容纳腔内；
[0018]S30，向所述容纳腔注入电解液；
[0019]S40，接通电源，对待电镀晶圆进行电镀。
[0020]根据本专利技术的一些实施例，步骤S40中，在对待电镀晶圆进行电镀的过程中，通过简谐驱动组件驱动所述绝缘板在水平面内做简谐运动，通过旋转驱动部驱动所述待电镀晶圆在水平面内旋转运动。
附图说明
[0021]图1为根据本专利技术实施例的电镀装置的结构示意图；
[0022]图2为图1中圈示的A部分的局部放大图；
[0023]图3为根据本专利技术实施例的电镀装置的内腔组件的结构示意图；
[0024]图4为根据本专利技术实施例的电镀装置的夹具结构示意图；
[0025]图5为根据本专利技术实施例的晶圆的电镀方法流程图。
[0026]附图标记：
[0027]电镀装置100，
[0028]外腔组件10，容置腔V1，旋转驱动部110，电机111，电机轴112，齿轮113，第二简谐驱动部120，弹性电刀130，固定部140，
[0029]内腔组件20，阳极板210，连接件211，待电镀部件220，夹具221，环形夹片2211，导电金属2212，装配部件2213，绝缘板230，框架240。
具体实施方式
[0030]为更进一步阐述本专利技术为达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本专利技术进行详细说明如后。
[0031]本专利技术中说明书中对方法流程的描述及本专利技术说明书附图中流程图的步骤并非必须按步骤标号严格执行，方法步骤是可以改变执行顺序的。而且，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，和/或将一个步骤分解为多个步骤执行。
[0032]如图1所示，根据本专利技术实施例的电镀装置100，包括：外腔组件10和内腔组件20。
[0033]其中，外腔组件10具有容置腔V1。内腔组件20可拆卸地设于容置腔V1内，内腔组件20具有多个电镀区域，每个电镀区域内均具有间隔设置的阳极板210和待电镀部件220，待电镀部件220水平放置，且待电镀部件220在水平面内可转动。
[0034]根据本专利技术实施例的电镀装置100，采用可组装的内腔组件20和外腔组件10，在待电镀部件220进行电镀时，可以将内腔组件20从外腔组件10中取出，以便于待电镀部件220的放置。电镀装置100采用水平电镀的方式，待电镀部件220电镀过程中，在水平面内转动，从而可以去除待电镀部件220表面产生的气泡，从而提高电镀质量。而且，该电镀装置100可
以同时进行多片待电镀部件220的电镀，提高了电镀效率。
[0035]根据本专利技术的一些实施例，外腔组件10可以设有第一简谐驱动部，第一简谐驱动部与阳极板210配合，以驱动阳极板210在水平方向做简谐运动。也就是说，在待电镀部件220电镀过程中，第一简谐驱动部可以驱动阳极板210在水平面内做简谐运动，从而可以解决电场不均匀影响电镀效果的问题。
[0036]在本专利技术的一些实施例中，外腔组件10设有旋转驱动部110，旋转驱动部110与待电镀部件220配合，以驱动待电镀部件220转动。如图2所示，旋转驱动部110可以采用电机111和齿轮113的配合方式，夹具221的环形夹片2211的外侧设有与齿轮113啮合配合的轮齿，齿轮113固定于电机111的电机轴112，电机111运行时，通过齿轮113驱动夹具221带动待电镀部件220转动。当然，也可以采用其他部件或机构来驱动待电镀部件220的转动。
[0037]根据本专利技术的一些实施例，如图2和图3所示，待电镀部件220通过夹具221固定于内腔组件20，外腔组件10具有与夹具221接触的弹性电刀130，当内腔组件20置于容置腔V1内时，夹具221的导电金属2212内衬与弹性电刀130接触配合。
[0038]需要说明的是，夹具221可以为可扣合的两片环形夹片2211，将待电镀部件220夹持于中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀装置，其特征在于，包括：外腔组件，具有容置腔；内腔组件，可拆卸地设于所述容置腔内，所述内腔组件具有多个电镀区域，每个所述电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，所述待电镀部件水平放置，且所述待电镀部件在水平面内可转动。2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述外腔组件设有第一简谐驱动部，所述第一简谐驱动部与所述阳极板配合，以驱动所述阳极板在水平方向做简谐运动。3.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述外腔组件设有旋转驱动部，所述旋转驱动部与所述待电镀部件配合，以驱动所述待电镀部件转动。4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述待电镀部件通过夹具固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述夹具接触的弹性电刀，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述夹具的金属内衬与所述弹性电刀接触配合。5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极板通过连接件固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述连接件相适配的固定部，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述固定部与所述连接件配合连接。6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述待电镀部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：严立巍，朱亦峰，刘文杰，马晴，
申请(专利权)人：浙江同芯祺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：