电镀装置及晶圆的电镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种电镀装置及晶圆的电镀方法，电镀装置包括：外腔组件和内腔组件，外腔组件具有容置腔，内腔组件可拆卸地设于容置腔内，内腔组件具有多个电镀区域，每个电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，待电镀部件水平放置，且待电镀部件在水平面内可转动。根据本发明专利技术的电镀装置，采用可组装的内腔组件和外腔组件，在待电镀部件进行电镀时，可以将内腔组件从外腔组件中取出，以便于待电镀部件的放置。电镀装置采用水平电镀的方式，待电镀部件电镀过程中，在水平面内转动，从而可以去除待电镀部件表面产生的气泡，从而提高电镀质量。而且，该电镀装置，可以同时进行多片待电镀部件的电镀，提高了电镀效率。提高了电镀效率。提高了电镀效率。

【技术实现步骤摘要】
电镀装置及晶圆的电镀方法


[0001]本专利技术涉及晶圆电镀
，尤其涉及一种电镀装置及晶圆的电镀方法。

技术介绍

[0002]晶圆的电镀装置包括水平电镀装置和垂直电镀装置，其中，水平电镀装置仅能一次电镀一片晶圆，效率低；垂直电镀装置可以同时电镀多片晶圆，但是晶圆电镀过程中，晶圆表面产生的气泡及电解液电场分布不均匀等因素，影响晶圆的电镀质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是如何提高晶圆的电镀质量和效率，本专利技术提出一种电镀装置及晶圆的电镀方法。
[0004]根据本专利技术实施例的电镀装置，包括：
[0005]外腔组件，具有容置腔；
[0006]内腔组件，可拆卸地设于所述容置腔内，所述内腔组件具有多个电镀区域，每个所述电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，所述待电镀部件水平放置，且所述待电镀部件在水平面内可转动。
[0007]根据本专利技术实施例的电镀装置，采用可组装的内腔组件和外腔组件，在待电镀部件进行电镀时，可以将内腔组件从外腔组件中取出，以便于待电镀部件的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀装置，其特征在于，包括：外腔组件，具有容置腔；内腔组件，可拆卸地设于所述容置腔内，所述内腔组件具有多个电镀区域，每个所述电镀区域内均具有间隔设置的阳极板和待电镀部件，所述待电镀部件水平放置，且所述待电镀部件在水平面内可转动。2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述外腔组件设有第一简谐驱动部，所述第一简谐驱动部与所述阳极板配合，以驱动所述阳极板在水平方向做简谐运动。3.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述外腔组件设有旋转驱动部，所述旋转驱动部与所述待电镀部件配合，以驱动所述待电镀部件转动。4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述待电镀部件通过夹具固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述夹具接触的弹性电刀，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述夹具的金属内衬与所述弹性电刀接触配合。5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极板通过连接件固定于所述内腔组件，所述外腔组件具有与所述连接件相适配的固定部，当所述内腔组件置于所述容置腔内时，所述固定部与所述连接件配合连接。6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述待电镀部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：严立巍，朱亦峰，刘文杰，马晴，
申请(专利权)人：浙江同芯祺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：