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严立巍专利技术
严立巍共有1项专利
瀑布式层流蚀刻切割方法技术
瀑布式层流蚀刻切割方法,包含以下步骤:首先在薄形化玻璃基板的 背面粘贴一层底层保护膜,再将与切割晶粒的形状相同的面层保护膜设置 在薄形化玻璃基板的正面;然后将该薄形化玻璃基板采用面层保护膜朝上 的方式固定在载物台上,最后用蚀刻溶液呈瀑布...
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