探针固定模组及测试装置制造方法及图纸

一种探针固定模组及测试装置，探针固定模组包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，固定件包括沿水平方向延伸且与第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于第一连接主体部和第二连接主体部之间，直线伸缩机构用于在纵向上实现第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。将探针安装于探针固定组件上，则当探针与待测器件之间具有间隙时，直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补间隙，使得探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率。率和准确率。率和准确率。

【技术实现步骤摘要】
探针固定模组及测试装置


[0001]本专利技术实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种探针固定模组及测试装置。

技术介绍

[0002]半导体器件的整个制造流程可以分为晶圆制造、晶圆测试、晶圆封装及最后测试等步骤。所述晶圆制造指的是在晶圆上制造半导体器件的过程，在完成半导体器件的制造之后，需要对所述晶圆进行电性测试，以确保在封装之前，晶圆是合格的产品，因此晶圆测试是提高半导体器件良率的关键步骤之一。
[0003]对晶圆进行测试的设备通常通过探针与测试点相互接触，才能完成电性测试。晶圆的电性检测的准确性攸关产品的良率，因此，需要减少测试结果的误差，确保晶圆测试结果的真实率和准确率。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例解决的问题是提供一种探针固定模组及成测试装置，提高晶圆测试的成功率和准确率。
[0005]为解决上述问题，本专利技术实施例提供了一种探针固定模组，包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。
[0006]本专利技术实施例还提供了一种测试装置，包括本专利技术实施例提供的探针固定模组。
[0007]与现有技术相比，本专利技术实施例的技术方案具有以下优点：
[0008]本专利技术实施例提供的探针固定模组中，探针固定组件包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部，直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接，则在测试过程中，将探针安装于探针固定组件上，当所述探针与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本专利技术实施例避免了因人为操作不精准而产生探针位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。
附图说明
[0009]图1是一种测试装置的结构示意图；
[0010]图2是本专利技术探针固定模组一实施例的结构示意图；
[0011]图3是本专利技术测试装置一实施例的结构示意图；
[0012]图4是图3中探针的放大示意图。
具体实施方式
[0013]目前测试的成功率和准确率有待提高。现结合一种测试装置分析测试的成功率和准确率有待提高的原因。
[0014]图1是一种测试装置的结构示意图。
[0015]参考图1，所述测试装置包括底座10、以及固定于所述底座10上的探针固定模组20，所述探针固定模组20包括探针21。
[0016]为了便于理解，图1中示出了待测器件30(例如，器件晶圆)，在测试过程中，探针21与待测器件30的测试点(例如，焊垫)相接触。
[0017]通常，所述测试装置通过所述探针21对所述待测器件30的测试点施加信号、以及测量反馈的信号，然而，在测试过程中，由于各种因素，所述探针21与待测器件30的测试点之间容易产生间隙，而且，所述探针21固定于所述底座10上，因此，当所述探针21与待测器件30之间容易产生间隙时，所述间隙难以弥补，从而容易导致所述探针21与待测器件30接触不良，进而影响测试的成功率和准确率。
[0018]同时，当所述探针21与待测器件30之间产生间隙时，如果通过人为操作调整所述探针21的位置，使得所述探针21与待测器件30保持稳定接触，因人为操作不精准，而容易导致探针21产生位置误差，而且，还容易因人为操作失误而导致探针21损伤，进而也影响测试的成功率和准确率。
[0019]尤其，在金属离子污染测试中，包括了对测试环境的的升温和降温过程，而在降温过程中，所述探针21和待测器件30的膨胀系数不同，导致所述探针21与待测器件30的收缩情况不一致，从而容易在所述探针21与待测器件30之间产生间隙，导致所述探针21与待测器件30接触不良，影响了所述金属离子污染测试的成功率和准确率。
[0020]为了解决所述技术问题，本专利技术实施例提供一种探针固定模组，包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。
[0021]本专利技术实施例提供的探针固定模组中，探针固定组件包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部，直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接，则在测试过程中，将探针安装于探针探组件上，当所述探针与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本专利技术实施例避免了因
人为操作不精准而产生探针位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。
[0022]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。
[0023]图2是本专利技术探针固定模组一实施例的结构示意图。
[0024]其中，为了便于理解，图2中示出了探针350。
[0025]所述探针固定模组包括：固定座100，包括沿水平方向(如图2中X方向所示)延伸的第一连接主体部110；探针固定组件600，包括用于固定探针350的固定件300，所述固定件300包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部110的底面相对设置的第二连接主体部310；直线伸缩机构200，位于所述第一连接主体部110和所述第二连接主体部310之间，所述直线伸缩机构200用于在纵向(如图2中Y方向所示)上实现所述第一连接主体部110和第二连接主体部310的弹性连接。
[0026]在测试过程中，将探针350安装于探针固定组件600上，通过所述探针350向待测器件施加信号、以及测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针固定模组，其特征在于，包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。2.如权利要求1所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一连接主体部和第二连接主体部相平行。3.如权利要求1或2所述的探针固定模组，其特征在于，所述固定座的形状为L型，包括凸立于所述第一连接主体部的底面且沿纵向延伸的第一限位部；所述固定件的形状为L型，包括凸立于所述第二连接主体部的顶面且沿所述纵向延伸的第二限位部，所述第二连接主体部远离所述第二限位部的端面与所述第一限位部接触，所述第二限位部与所述第一连接主体部的端面相接触。4.如权利要求3所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一连接主体部和第一限位部为一体结构，所述第二连接主体部与所述第二限位部为一体结构。5.如权利要求1所述的探针固定模组，其特征在于，所述第二连接主体部上开设有第一定位通孔；所述直线伸缩机构包括：与所述第一定位通孔相匹配的第一定位轴，固定于所述第一连接主体部上，且凸出于所述第一连接主体部的底面，所述第一定位轴通过所述第一定位通孔与所述第二连接主体部实现滑动连接；压力弹簧，位于所述第一连接主体部和第二连接主体部之间，所述压力弹簧的一端与所述第一连接主体部固定连接，另一端与所述第二连接主体部固定连接。6.如权利要求5所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一定位轴包括贯穿所述第一连接主体部的螺栓。7.如权利要求5所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧避开所述第一定位轴设置。8.如权利要求7所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧分布于所述第一定位轴的两侧，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，杨凤娟，杨莉娟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：