用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法。检测装置主要用于检测金属半导体连接界面的界面电阻率，也可用于检测其它异质或同质材料的连接界面的界面电阻率。检测装置包括基座、升降组件、检测探针、横移组件和测试组件。升降组件设置于基座；检测探针设置于升降组件；横移组件设置于基座，横移组件包括正极板和负极板，待测样品能够夹持于正极板和负极板之间；测试组件设置于基座，测试组件的正极、检测探针的正极与横移组件的正极板电连接，测试组件的负极与横移组件的负极板电连接；在对待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，检测探针的负极与待测样品的检测面接触，横移组件能够带动待测样品相对于检测探针运动。对于检测探针运动。对于检测探针运动。

【技术实现步骤摘要】
用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法


[0001]本专利技术涉及电学性能测量
，具体涉及用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法。

技术介绍

[0002]目前，在相关技术中，在对金属半导体连接界面的界面电阻率进行测试时，采用扫描探针法测试时的运动方式是点位运动，需要设置指定步长，每测试一个值，探针都需要执行抬起，移动一个步长，放下和测试四个步骤，这使得其每测试一个样品就需要花费较长时间。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术的第一方面提出一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置。
[0005]本专利技术的第二方面提出一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测方法。
[0006]本专利技术的第三方面提出一种检测装置的控制装置。
[0007]本专利技术的第四方面提出一种可读存储介质。
[0008]有鉴于此，本专利技术的第一方面提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，用于检测待测样品的界面电阻率，包括：基座；升降组件，所述升降组件设置于所述基座；检测探针，所述检测探针设置于所述升降组件；横移组件，所述横移组件设置于所述基座，所述横移组件包括正极板和负极板，所述待测样品能够夹持于所述正极板和所述负极板之间；测试组件，所述测试组件设置于所述基座，所述测试组件的正极、所述检测探针的正极与所述横移组件的正极板电连接，所述测试组件的负极与所述横移组件的负极板电连接；在对所述待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，所述检测探针的负极与所述待测样品的检测面接触，所述横移组件能够带动所述待测样品相对于所述检测探针运动。2.根据权利要求1所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，所述升降组件包括：第一支撑部，所述第一支撑部的一端与所述基座相连接，另一端沿背离所述基座的方向延伸；第一滑动部，所述第一滑动部的一端与所述第一支撑部相连接，能够沿所述第一支撑部的长度方向滑动，所述检测探针设置于所述第一滑动部的另一端。3.根据权利要求1所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，所述横移组件包括：横移部件，所述横移部件设置于所述基座；第一夹持组件，所述第一夹持组件设置于所述横移部件，所述正极板和所述负极板设置于所述第一夹持组件。4.根据权利要求3所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，还包括：绝缘板，所述绝缘板设置于所述第一夹持组件与所述横移部件之间。5.一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测方法，其特征在于，利用权利要求1至4中任一项所述的用于高效测试半导体异质界...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓凯，黄西林，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：