本发明专利技术提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法。检测装置主要用于检测金属半导体连接界面的界面电阻率，也可用于检测其它异质或同质材料的连接界面的界面电阻率。检测装置包括基座、升降组件、检测探针、横移组件和测试组件。升降组件设置于基座；检测探针设置于升降组件；横移组件设置于基座，横移组件包括正极板和负极板，待测样品能够夹持于正极板和负极板之间；测试组件设置于基座，测试组件的正极、检测探针的正极与横移组件的正极板电连接，测试组件的负极与横移组件的负极板电连接；在对待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，检测探针的负极与待测样品的检测面接触，横移组件能够带动待测样品相对于检测探针运动。对于检测探针运动。对于检测探针运动。
【技术实现步骤摘要】
用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法
[0001]本专利技术涉及电学性能测量
，具体涉及用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法。
技术介绍
[0002]目前，在相关技术中，在对金属半导体连接界面的界面电阻率进行测试时，采用扫描探针法测试时的运动方式是点位运动，需要设置指定步长，每测试一个值，探针都需要执行抬起，移动一个步长，放下和测试四个步骤，这使得其每测试一个样品就需要花费较长时间。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术的第一方面提出一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置。
[0005]本专利技术的第二方面提出一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测方法。
[0006]本专利技术的第三方面提出一种检测装置的控制装置。
[0007]本专利技术的第四方面提出一种可读存储介质。
[0008]有鉴于此，本专利技术的第一方面提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，用于检测待测样品的界面电阻率，检测装置包括基座、升降组件、检测探针、横移组件和测试组件。升降组件设置于基座；检测探针设置于升降组件；横移组件设置于基座，横移组件包括正极板和负极板，待测样品能够夹持于正极板和负极板之间；测试组件设置于基座，测试组件的正极、检测探针的正极与横移组件的正极板电连接，测试组件的负极与横移组件的负极板电连接；在对待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，检测探针的负极与待测样品的检测面接触，横移组件能够带动待测样品相对于检测探针运动。
[0009]在该技术方案中，用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置用于检测待测样品的界面电阻率，进而使得检测装置可以对待测样品的界面电阻率进行检测。检测装置包括基座、升降组件、检测探针、横移组件和测试组件。升降组件设置于基座，以实现对升降组件的安装和固定。检测探针设置于升降组件，以实现对检测探针的安装和固定，使得升降组件可以带动检测探针进行升降杆的运动。横移组件设置于基座，以实现对横移组件的安装和固定。横移组件包括正极板和负极板，待测样品能够夹持于正极板和负极板之间，进而在检测时，待测样品可以位于正极板和负极板之间，从而便于对待测样品进行检测。测试组件设置于基座，以实现对测试组件的安装和固定。测试组件的正极、检测探针的正极与横移组件的正极板电连接，测试组件的负极与横移组件的负极板电连接，以使测试组件的电流可以进入到待测样品中流通，穿过待测样品后回到测试组件中，从而使得测试组件和待测样品之间可以构成闭合回路。在对待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，检测探针的负极与待测样品的检测面接触，横移组件能够带动待测样品相对于检测探针运动，即本申
请中对待测样品进行检测时，将检测探针与待测样品的检测面接触，横移组件可以驱动待测样品做往复运动，从而使得待测样品可以相对于检测探针进行运动，在待测样品进行运动的过程中，检测探针可以按照预设的检测频率对待测样品进行检测，即本申请中的检测装置可以连续地对待测样品的电阻进行检测，从而计算出界面电阻率，在检测的过程中无需多次地调节探针的位置，进而可以减少调节探针所需要的时间，从而使得对待测样品的检测更加地快速、方便，从而可以提升检测效率。
[0010]另外，本专利技术提供的上述技术方案中的检测装置还可以具有如下附加技术特征：
[0011]在本专利技术的一个技术方案中，升降组件包括第一支撑部和第一滑动部，第一支撑部的一端与基座相连接，另一端沿背离基座的方向延伸；第一滑动部的一端与第一支撑部相连接，能够沿第一支撑部的长度方向滑动，检测探针设置于第一滑动部的另一端。
[0012]在该技术方案中，升降组件包括第一支撑部和第一滑动部。第一支撑部的一端与基座相连接，另一端沿背离基座的方向延伸，以实现对第一支撑部的安装，从而可以将第一支撑部固定在基座上。第一滑动部的一端与第一支撑部相连接，能够沿第一支撑部的长度方向滑动，以实现对第一滑动部的安装，在第一滑动部在第一支撑部上滑动时，从而可以改变第一滑动部与基座的之间距离，检测探针设置于第一滑动部的另一端，以实现对检测探针的安装，由于检测探针是安装在第一滑动部上的，因此，在对待测样品进行检测时，需要将检测探针与待测样品的检测面接触，此时可以通过调节第一滑动部来对检测探针的高度进行调整，从而便于对检测探针的位置进行调节。
[0013]在本专利技术的一个技术方案中，横移组件包括横移部件和第一夹持组件，横移部件设置于基座；第一夹持组件设置于横移部件，正极板和负极板设置于第一夹持组件。
[0014]在该技术方案中，横移组件包括横移部件和第一夹持组件。横移部件设置于基座，以实现对横移部件的安装和固定。第一夹持组件设置于横移部件，以实现对第一夹持组件的安装和固定，以使第一夹持组件可以在检测时对待测样品进行夹持，进而实现对待测样品的固定，从而在横移部件驱动第一夹持组件相对于检测探针运动时，待测样品不会发生窜动，进而可以保证检测的准确性，正极板和负极板设置于第一夹持组件，便于在待测样品安装后实现待测样品和测试组件之间的电连接，便于对待测样品进行检测。
[0015]在本专利技术的一个技术方案中，检测装置还包括绝缘板，绝缘板设置于第一夹持组件与横移部件之间。
[0016]在该技术方案中，检测装置还包括绝缘板，绝缘板设置于第一夹持组件与横移部件之间，由于在第一夹持组件上设置有正极板和负极板，正极板和负极板容易与其它材料之间发生导电的作用，因此，通过将绝缘板设置在第一夹持组件和横移部件之间，可以避免在检测时正极板和负极板与横移部件之间导电而对检测结果产生影响，以此可以保证检测时的准确性。
[0017]本专利技术第二方面提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测方法，利用上述任一技术方案中的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置对待测样品进行检测，检测方法包括：控制第一夹持组件夹持待测样品；控制检测探针与待测样品的检测面接触；控制横移组件带动待测样品相对于检测探针运动；控制检测探针对待测样品进行检测，获取待测样品的界面电阻率。
[0018]在该技术方案中，检测方法利用检测装置对待测样品进行检测，从而实现对待测
样品的界面电阻率进行检测。检测方法具体为：控制第一夹持组件夹持待测样品，以使第一夹持组件可以夹紧待测样品，进而方便对待测样品进行检测。控制检测探针与待测样品的检测面接触，通过对检测探针的位置和角度进行调整，使得检测探针可以与待测样品进行接触，从而使得探针可以对待测样品进行检测。控制横移组件带动待测样品相对于检测探针运动，从而使得横移组件可以对待测样品进行驱动，以使待测样品可以相对于检测探针运动。控制检测探针对待测样品进行检测，获取待测样品的界面电阻率，在待测样品运动的过程中，由于探针是一直与待测样品的检测面相接触，因此，检测探针可以一直对待测样品进行检测，在检测的过程中无需多次地调节探针的位置，进而可以减少调节探针所需要的时间，从而使得对待测样品的检测更加地快速、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，用于检测待测样品的界面电阻率，包括：基座；升降组件，所述升降组件设置于所述基座；检测探针，所述检测探针设置于所述升降组件；横移组件，所述横移组件设置于所述基座，所述横移组件包括正极板和负极板，所述待测样品能够夹持于所述正极板和所述负极板之间；测试组件，所述测试组件设置于所述基座，所述测试组件的正极、所述检测探针的正极与所述横移组件的正极板电连接，所述测试组件的负极与所述横移组件的负极板电连接；在对所述待测样品的界面电阻率进行检测的情况下，所述检测探针的负极与所述待测样品的检测面接触，所述横移组件能够带动所述待测样品相对于所述检测探针运动。2.根据权利要求1所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，所述升降组件包括：第一支撑部，所述第一支撑部的一端与所述基座相连接，另一端沿背离所述基座的方向延伸；第一滑动部，所述第一滑动部的一端与所述第一支撑部相连接，能够沿所述第一支撑部的长度方向滑动，所述检测探针设置于所述第一滑动部的另一端。3.根据权利要求1所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，所述横移组件包括：横移部件，所述横移部件设置于所述基座；第一夹持组件，所述第一夹持组件设置于所述横移部件，所述正极板和所述负极板设置于所述第一夹持组件。4.根据权利要求3所述的用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置，其特征在于，还包括：绝缘板，所述绝缘板设置于所述第一夹持组件与所述横移部件之间。5.一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测方法，其特征在于，利用权利要求1至4中任一项所述的用于高效测试半导体异质界...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓凯，黄西林，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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