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本发明提供了一种用于高效测试半导体异质界面电阻率的检测装置和方法。检测装置主要用于检测金属半导体连接界面的界面电阻率，也可用于检测其它异质或同质材料的连接界面的界面电阻率。检测装置包括基座、升降组件、检测探针、横移组件和测试组件。升降组件设...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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