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一种探针固定模组及测试装置，探针固定模组包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，固定件包括沿水平方向延伸且与第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于第一连接主体部和第...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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