用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质。系统包括：数据接收模块，用于实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，数据存储模块，用于存储距离信息；读取控制模块，与数据存储模块和数据接收模块连接，用于在至少基于位置信息确定待加工件处于有效加工区域内的情况下，从有效加工区域的加工起始点开始，从数据存储模块中读取对应的距离信息，以基于所读取的距离信息控制加工头在第二方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。这种方案能够高精度地确定调焦机构的工作位置，有助于提高跟随的稳定性。的稳定性。的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，更具体地涉及一种用于加工装置的控制系统、一种用于加工装置的控制方法、一种电子设备及一种存储介质。

技术介绍

[0002]在很多领域，加工装置会带有自动跟随系统。下面以激光加工为例进行说明。激光加工装置包括载台组件、激光测距仪、加工头、压电陶瓷电机以及自动跟随系统。在激光加工装置中，自动跟随系统是一套非接触式测量，实时对焦系统。在激光切割过程中，通过自动跟随系统可以实现自动对焦，焦点实时跟随产品厚度的变化而自动调整，确保隐形切割的激光聚焦改质层深度一致，保证切割品质。
[0003]在传统激光加工设备中，压电陶瓷电机的硬件特性导致跟随性能不稳定，无法准确控制跟随的起始点和结束点，无法保证切割品质。

技术实现思路

[0004]考虑到上述问题而提出了本专利技术。本专利技术提供了一种用于加工装置的控制系统、一种用于加工装置的控制方法、一种电子设备及一种存储介质。
[0005]根据本专利技术一方面，提供了一种用于加工装置的控制系统，包括：数据接收模块，用于实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，位置信息用于表示待加工件沿第一方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第一方向上的位置，距离信息用于表示待加工件沿第一方向与加工头发生相对移动时加工头与待加工件在第二方向上的距离；数据存储模块，用于存储距离信息；读取控制模块，与数据存储模块和数据接收模块连接，用于在至少基于位置信息确定待加工件处于有效加工区域内的情况下，从有效加工区域的加工起始点开始，从数据存储模块中读取对应的距离信息，以基于所读取的距离信息控制加工头在第二方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。
[0006]示例性地，读取控制模块还用于根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点，目标位置点是加工起始点或加工结束点。
[0007]示例性地，读取控制模块通过以下方式根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点：根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，基于当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定待加工件处于目标位置点时所对应的目标位置信息；当数据接收模块接收到的位置信息为目标位置信息时，确定待加工件处于目标位置点。
[0008]示例性地，加工装置包括测距机构，测距机构用于测量距离信息，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取控制模块通过以下方式从数据存储模块中读取对应的距离信息：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X1，确
定第二位置信息X2；当数据接收模块接收到的位置信息为第二位置信息X2时，从数据存储模块中读取与第一位置信息X1相对应的距离信息；其中，第二位置信息X2满足以下公式：X2＝X1+δx1，δx1表示测距机构与加工头在第一方向上的距离。
[0009]示例性地，加工装置还包括测距机构和调焦机构，测距机构用于测量距离信息，调焦机构用于带动加工头在第二方向上移动，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中读取控制模块通过以下方式从数据存储模块中读取对应的距离信息：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X1，确定第二位置信息X2；当数据接收模块接收到的位置信息为第二位置信息X2时，从数据存储模块中读取与第一位置信息X1相对应的距离信息；其中，第二位置信息X2满足以下公式：X2＝X1+δx1‑
δx2，δx1表示测距机构与加工头在第一方向上的距离，δx2表示在调焦机构的响应时间内待加工件在第一方向上与加工头发生相对移动的移动距离。
[0010]示例性地，加工装置还包括调焦机构，调焦机构用于带动加工头在第二方向上移动，系统还包括：第一数据处理模块，与读取控制模块连接，用于根据从读取控制模块接收的所读取的距离信息进行数模拟合，获得拟合信号；输出模块，与第一数据处理模块连接，用于根据拟合信号生成对应的实时控制信号，并将实时控制信号输出给调焦机构，以控制调焦机构带动加工头在第二方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。
[0011]示例性地，系统还包括：第一交互模块，与输出模块连接，用于从上位机获取第一指示信息，输出模块进一步用于在加工头处于有效加工区域中的加工起始点之前基于第一指示信息生成固定控制信号，并将固定控制信号输出给调焦机构，以控制调焦机构带动加工头在第二方向上保持在固定位置。
[0012]示例性地，读取控制模块还用于在待加工件处于有效采集区域的采集起始点和采集结束点的过程中，控制数据存储模块存储距离信息，有效采集区域包括有效加工区域，系统还包括：判断模块，与数据接收模块和读取控制模块连接，用于根据位置信息，判断待加工件是否到达采集起始点或采集结束点；第二交互模块，与判断模块连接，用于从上位机获取第二指示信息，判断模块基于第二指示信息确定采集起始点和采集结束点各自对应的位置信息。
[0013]根据本专利技术另一方面，提供一种用于加工装置的控制方法，其特征在于，包括：实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，位置信息用于表示待加工件沿第一方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第一方向上的位置，距离信息用于表示待加工件沿第一方向与加工头发生相对移动时加工头与待加工件在第二方向上的距离；存储距离信息；在至少基于位置信息确定待加工件处于有效加工区域内的情况下，从有效加工区域的加工起始点开始，读取对应的距离信息，并基于所读取的距离信息实时控制加工装置的调焦机构带动加工头在第二方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。
[0014]示例性地，方法还包括：根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点，目标位置点是加工起始点或加工结束点。
[0015]示例性地，根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点，包括：根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，基于当前接收的距离信息所对
应的位置信息，确定待加工件处于目标位置点时所对应的目标位置信息；当数据接收模块接收到的位置信息为目标位置信息时，确定待加工件处于目标位置点。
[0016]示例性地，加工装置包括测距机构，测距机构用于测量距离信息，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取对应的距离信息，包括：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X1，确定第二位置信息X2；当当前接收到的位置信息为第二位置信息X2时，从数据存储模块中读取与第一位置信息X1相对应的距离信息；其中，第二位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于加工装置的控制系统，其特征在于，包括：数据接收模块，用于实时接收待加工件的位置信息和与所述位置信息相对应的距离信息，所述位置信息用于表示所述待加工件沿第一方向与所述加工装置的加工头发生相对移动时在所述第一方向上的位置，所述距离信息用于表示所述待加工件沿所述第一方向与所述加工头发生相对移动时所述加工头与所述待加工件在第二方向上的距离；数据存储模块，用于存储所述距离信息；读取控制模块，与所述数据存储模块和所述数据接收模块连接，用于在至少基于所述位置信息确定所述待加工件处于有效加工区域内的情况下，从所述有效加工区域的加工起始点开始，从所述数据存储模块中读取对应的所述距离信息，以基于所读取的距离信息控制所述加工头在所述第二方向上移动到与所述距离信息匹配的焦点位置。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述读取控制模块还用于根据所述位置信息和所述距离信息，判断所述待加工件是否到达所述有效加工区域上的目标位置点，所述目标位置点是加工起始点或加工结束点。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述读取控制模块通过以下方式根据所述位置信息和所述距离信息，判断所述待加工件是否到达所述有效加工区域上的目标位置点：根据所述距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的所述待加工件上的位置是否是所述待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，基于所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定所述待加工件处于所述目标位置点时所对应的目标位置信息；当所述数据接收模块接收到的位置信息为所述目标位置信息时，确定所述待加工件处于所述目标位置点。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的系统，其特征在于，所述加工装置包括测距机构，所述测距机构用于测量所述距离信息，所述位置信息包括与所述待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，所述距离信息包括与所述待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，所述读取控制模块通过以下方式从所述数据存储模块中读取对应的所述距离信息：根据与所述有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X1，确定第二位置信息X2；当所述数据接收模块接收到的位置信息为所述第二位置信息X2时，从所述数据存储模块中读取与所述第一位置信息X1相对应的距离信息；其中，所述第二位置信息X2满足以下公式：X2＝X1+δx1，δx1表示所述测距机构与所述加工头在所述第一方向上的距离。5.根据权利要求1
‑
3任一项所述的系统，其特征在于，所述加工装置还包括测距机构和调焦机构，所述测距机构用于测量所述距离信息，所述调焦机构用于带动所述加工头在所述第二方向上移动，所述位置信息包括与所述待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，所述距离信息包括与所述待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，所述读取控制模块通过以下方式从所述数据存储模块中读取对应的所述距离信息：
根据与所述有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X1，确定第二位置信息X2；当所述数据接收模块接收到的位置信息为所述第二位置信息X2时，从所述数据存储模块中读取与所述第一位置信息X1相对应的距离信息；其中，所述第二位置信息X2满足以下公式：X2＝X1+δx1‑
δx2，δx1表示所述测距机构与所述加工头在所述第一方向上的距离，δx2表示在所述调焦机构的响应时间内所述待加工件在所述第一方向上与所述加工头发生相对移动的移动距离。6.根据权利要求1
‑
3任一项所述的系统，其特征在于，所述加工装置还包括调焦机构，所述调焦机构用于带动所述加工头在所述第二方向上移动，所述系统还包括：第一数据处理模块，与所述读取控制模块连接，用于根据从所述读取控制模块接收的所述所读取的距离信息进行数模拟合，获得拟合信号；输出模块，与所述第一数据处理模块连接，用于根据所述拟合信号生成对应的实时控制信号，并将所述实时控制信号输出给所述调焦机构，以控制所述调焦机构带动所述加工头在所述第二方向上移动到与所述距离信息匹配的焦点位置。7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：第一交互模块，与所述输出模块连接，用于从上位机获取第一指示信息，所述输出模块进一步用于在所述加工头处于所述有效加工区域中的加工起始点之前基于所述第一指示信息生成固定控制信号，并将所述固定控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱时成，陈先文，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：