【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，特别涉及一种定位机构、一种加工装置以及一种定位方法。
技术介绍
1、半导体加工过程中经常会用到例如晶圆切割机、裂片机等加工装置。对于这些加工装置，为了在加工前能够对晶圆或者其他对象物进行定位，通常会采用定位机构，目前现有的定位机构包括支撑架和电机，支撑架设置有滑轨，滑轨滑动连接有两组相互反向运动的夹臂；电机输出端连接有传动皮带，两组夹臂分别连接于传动皮带。这样可以通过两组夹臂实现对例如晶圆等对象物的机械定位；然而这种定位方式由于需要电机等驱动设备，因此成本较高，而且占用空间较大。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提供一种定位机构，以简化其结构，避免借助用电设备进行定位，降低成本以及空间占用。
2、本专利技术的第二个目的在于提供一种包括上述定位机构的加工装置以及基于该加工装置的定位方法。
3、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
4、一种定位机构，包括定位主体以及多个弹性定位单元，所述定位主体具有容置被定位件的容置空间，所述容置空间在所述定位主体的一侧形成有供所述被定位件进出的出入口，多个所述弹性定位单元在所述出入口出入开设方向的两侧对称设置于所述容置空间内，每个所述弹性定位单元包括滑动部以及弹性部，所述滑动部可往复滑动地设置于所述容置空间内，所述弹性部设置于所述滑动部与所述定位主体之间，在所述弹性部对用于向所述滑动部施加作用力的情况下，使对称设置的所述弹性定位单元的滑动部相向移动，以夹紧所述被定位
5、可选地，所述滑动部包括导向装置以及定位装置，所述导向装置固定设置于所述容置空间定位主体内，所述定位装置与所述导向装置滑动配合，所述定位装置用于与所述被定位件接触配合，所述弹性部设置于所述导向装置上并位于所述定位装置与所述定位主体之间。
6、可选地，所述定位装置包括支撑块以及定位轴承，所述支撑块与所述导向装置滑动配合，所述定位轴承可转动地设置于所述支撑块，所述定位轴承的周向外侧面用于与所述被定位件接触配合。
7、可选地，所述定位轴承设置于所述支撑块的上表面或下表面，所述定位轴承的内圈与所述支撑块固定连接，且所述定位轴承的内圈朝向所述支撑块的表面凸出于所述定位轴承的外圈，和/或，所述支撑块的朝向所述定位支撑的表面设置有凸台，以使所述定位轴承的外圈与所述支撑块之间形成间隙。
8、可选地，所述导向装置为导向杆，所述导向杆固定设置于所述定位主体，所述支撑块设置导向孔，所述导向孔贯穿所述支撑块，所述导向杆穿过所述定位装置的导向孔与所述支撑块滑动配合。
9、可选地，所述弹性部为压缩弹簧，所述压缩弹簧套设于所述导向杆，所述压缩弹簧的两端分别抵接于所述定位主体与所述支撑块。
10、可选地，所述定位主体包括两个定位座，所述定位座设置滑槽，所述定位座的一端设置与所述滑槽连通的开口，两个所述定位座的所述滑槽的槽口相对设置，以围成所述容置空间，两个所述定位座的所述开口围成所述出入口，所述弹性定位单元设置于所述滑槽内。
11、可选地，所述开口与所述滑槽之间设置导向斜面，以便所述被定位件进入所述滑槽。
12、可选地，所述定位主体还包括定位台，两个所述定位座中的至少一个位置可调地设置于所述定位台，以使两个所述定位座相互靠近或远离。
13、可选地，所述定位座与所述定位台通过螺纹紧固件可拆卸连接，所述定位座与所述定位台这两者中的一者设置条形孔，所述定位座与所述定位台这两者中的另一者设置安装孔，所述螺纹紧固件分别与所述条形孔以及所述安装孔配合将所述定位座位置可调地固定于所述定位台。
14、可选地，所述定位台上在两个所述定位座之间设置面光源。
15、可选地，所述滑槽的两个相对设置的槽壁中的至少一个在远离所述开口的一端设置限位凸起，所述限位凸起沿垂直于所述被定位件进出所述滑槽的方向向所述滑槽内凸出，所述限位凸起用于与所述被定位件配合，以阻止所述被定位件翘起。
16、一种加工装置，包括如上任意一项所述的定位机构。
17、可选地，所述加工装置还包括用于向所述定位机构输送被定位件的取料机构。
18、可选地，所述加工装置还包括图像采集装置，所述图像采集装置的视野中心为所述定位机构的定位位置。
19、一种用于如上所述的加工装置的定位方法，所述加工装置还包括用于向所述定位机构输送被定位件的取料机构，包括步骤：
20、抓取被定位件，并将被定位件运送至靠近定位机构的定位预备位置，所述被定位件在所述定位预备位置与所述定位机构的出入口对正；
21、将被定位件送入定位机构的容置空间内，直至进入最终定位位置，在此过程中，被定位件对所述定位机构的各个弹性定位单元施加作用力，使对称设置的所述弹性定位单元的滑动部相互远离；
22、释放被定位件，被定位件在两侧对称设置的各个所述弹性定位单元的作用下自动居中定位于两侧的所述弹性定位单元的中间位置。
23、由以上技术方案可以看出，本专利技术中公开了一种定位机构，该定位机构包括定位主体以及弹性定位单元，其中，定位主体具有容置被定位件的容置空间，容置空间在定位主体的一侧形成供被定位件进出的出入口，多个弹性定位单元在出入口开设方向的两侧对称设置于容置空间内，弹性定位单元包括滑动部以及弹性部，滑动部可往复滑动地设置于容置空间内，弹性部设置于滑动部与定位主体之间，弹性部用于向滑动部施加作用力，使对称设置的弹性定位单元的滑动部相向移动，以夹紧被定位件。
24、在应用时，将晶圆等被定位件从出入口送入容置空间内，此时两侧的弹性定位单元分别受力，且由于被定位件可能偏向一侧，导致该侧的弹性定位单元产生的弹性势能大于另一侧弹性定位单元产生的弹性势能，待被定位件到位后，松开被定位件，两侧的弹性定位单元被释放，由于两侧的弹性定位单元为对称设置，在失去外力的作用后，两侧的弹性定位单元在震荡一段时间后将趋于平衡，被定位件将自动居中，从而实现居中定位的功能，可见上述定位机构无需借助电机等用电设备，利用两侧的弹性定位单元对称的弹力实现被定位件的居中定位，由于省去了电机及其附属配件，上述定位机构的结构更简单，成本更低，占用空间也更小，尤其是两侧分别设置多个弹性定位单元时，定位精度也可以提高，避免定位精度受到电机等用电设备本身精度的影响。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种定位机构，其特征在于，包括定位主体以及多个弹性定位单元，所述定位主体具有容置被定位件的容置空间，所述容置空间在所述定位主体的一侧形成有供所述被定位件进出的出入口，多个所述弹性定位单元在所述出入口出入方向的两侧对称设置于所述容置空间内，每个所述弹性定位单元包括滑动部以及弹性部，所述滑动部可往复滑动地设置于所述容置空间内，所述弹性部设置于所述滑动部与所述定位主体之间，在所述弹性部对所述滑动部施加作用力的情况下，对称设置的所述弹性定位单元的滑动部相向移动，以夹紧所述被定位件并调整所述被定位件的位置。
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述滑动部包括导向装置以及定位装置，所述导向装置固定设置于所述定位主体，所述定位装置与所述导向装置滑动配合，所述定位装置用于与所述被定位件接触配合，所述弹性部设置于所述导向装置上并位于所述定位装置与所述定位主体之间。
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位装置包括支撑块以及定位轴承，所述支撑块与所述导向装置滑动配合，所述定位轴承可转动地设置于所述支撑块，所述定位轴承的周向外侧面用于与所述被定位件接
4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述定位轴承设置于所述支撑块的上表面或下表面，所述定位轴承的内圈与所述支撑块固定连接，且所述定位轴承的内圈朝向所述支撑块的表面凸出于该定位轴承的外圈，和/或，所述支撑块的朝向所述定位支撑的表面设置有凸台，以使所述定位轴承的外圈与所述支撑块之间形成间隙。
5.根据权利要求3或4所述的定位机构，其特征在于，所述导向装置为导向杆，所述导向杆固定设置于所述定位主体，所述支撑块设置导向孔，所述导向孔贯穿所述支撑块，所述导向杆穿过所述导向孔与所述支撑块滑动配合。
6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述弹性部为压缩弹簧，所述压缩弹簧套设于所述导向杆，所述压缩弹簧的两端分别抵接于所述定位主体与所述支撑块。
7.根据权利要求1-4及6任意一项所述的定位机构，其特征在于，所述定位主体包括两个定位座，所述定位座设置滑槽，所述定位座的一端设置与所述滑槽连通的开口，两个所述定位座的所述滑槽的槽口相对设置，以围成所述容置空间，两个所述定位座的所述开口围成所述出入口，所述弹性定位单元设置于所述滑槽内。
8.根据权利要求7所述的定位机构，其特征在于，所述开口与所述滑槽之间设置导向斜面，以便所述被定位件进入所述滑槽。
9.根据权利要求7所述的定位机构，其特征在于，所述定位主体还包括定位台，两个所述定位座中的至少一个位置可调地设置于所述定位台，以使两个所述定位座相互靠近或远离。
10.根据权利要求9所述的定位机构，其特征在于，所述定位座与所述定位台通过螺纹紧固件可拆卸连接，所述定位座与所述定位台这两者中的一者设置条形孔，所述定位座与所述定位台这两者中的另一者设置安装孔，所述螺纹紧固件分别与所述条形孔以及所述安装孔配合将所述定位座位置可调地固定于所述定位台。
11.根据权利要求7所述的定位机构，其特征在于，所述滑槽的两个相对设置的槽壁中的至少一个在远离所述开口的一端设置限位凸起，所述限位凸起沿垂直于所述被定位件进出所述滑槽的方向向所述滑槽内凸出，所述限位凸起用于与所述被定位件配合，以阻止所述被定位件翘起。
12.一种加工装置，其特征在于，包括如权利要求1-11任意一项所述的定位机构。
13.一种用于权利要求12所述的加工装置的定位方法，其特征在于，所述加工装置还包括用于向所述定位机构输送被定位件的取料机构，包括步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种定位机构，其特征在于，包括定位主体以及多个弹性定位单元，所述定位主体具有容置被定位件的容置空间，所述容置空间在所述定位主体的一侧形成有供所述被定位件进出的出入口，多个所述弹性定位单元在所述出入口出入方向的两侧对称设置于所述容置空间内，每个所述弹性定位单元包括滑动部以及弹性部，所述滑动部可往复滑动地设置于所述容置空间内，所述弹性部设置于所述滑动部与所述定位主体之间，在所述弹性部对所述滑动部施加作用力的情况下，对称设置的所述弹性定位单元的滑动部相向移动，以夹紧所述被定位件并调整所述被定位件的位置。
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述滑动部包括导向装置以及定位装置，所述导向装置固定设置于所述定位主体，所述定位装置与所述导向装置滑动配合，所述定位装置用于与所述被定位件接触配合，所述弹性部设置于所述导向装置上并位于所述定位装置与所述定位主体之间。
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位装置包括支撑块以及定位轴承，所述支撑块与所述导向装置滑动配合，所述定位轴承可转动地设置于所述支撑块，所述定位轴承的周向外侧面用于与所述被定位件接触配合。
4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述定位轴承设置于所述支撑块的上表面或下表面，所述定位轴承的内圈与所述支撑块固定连接，且所述定位轴承的内圈朝向所述支撑块的表面凸出于该定位轴承的外圈，和/或，所述支撑块的朝向所述定位支撑的表面设置有凸台，以使所述定位轴承的外圈与所述支撑块之间形成间隙。
5.根据权利要求3或4所述的定位机构，其特征在于，所述导向装置为导向杆，所述导向杆固定设置于所述定位主体，所述支撑块设置导向孔，所述导向孔贯穿所述支撑块，所述导向杆穿过所述导向孔与所述支撑块滑动配合。
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓长，方浩全，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。