【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，特别涉及一种取料机构以及一种加工装置。
技术介绍
1、随着当前半导体行业多年来的长足发展，涌现出多样化设备，机构也有较多相同之处。例如对于晶圆切割机和劈裂机等加工装置都具有从料盒取料的取料机构，一般地，取料机构的夹爪的驱动方式有很多，例如采用气缸顶出夹紧，缩回放松；或者采用滑台气缸伸出上升，缩回下降。还有些取料机构是通过将驱动装置设置为两个相对滑动的部件(下文称为第一部件和第二部件)，通过第一部件的运动带动夹爪运动，并且在第一部件和第二部件相互配合时，实现夹爪的取料，然而这种方式由于摩擦力的因素，可能会影响第二部件的滑动，从而导致第二部件无法在预定位置与第一部件配合，从而使得夹爪加持力不够或者不能稳定夹取物料，进而影响取料效果。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提供一种取料机构，以使得取料机构能够稳定夹取物料。
2、本专利技术的第二个目的在于提供一种包括上述取料机构的加工装置。
3、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
4、一种取料机构，包括：
5、第一锁紧件，所述第一锁紧件可沿第一方向往复移动；
6、第二锁紧件，所述第二锁紧件可沿第二方向相对所述第一锁紧件往复移动，所述第二锁紧件和所述第一锁紧件在运动过程中能够锁紧配合，所述第一方向与所述第二方向相交；
7、支撑导向组件，所述支撑导向组件与所述第一锁紧件滑动配合，以沿所述第一方向对所述第一锁紧件进行支撑导向；<...
【技术保护点】
1.一种取料机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件包括：
3.根据权利要求2所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件还包括：
4.根据权利要求3所述的取料机构，其特征在于，所述第一导向滚轮通过第一安装轴可转动地设置于所述导向座，所述第一安装轴的两端分别设置第二安装轴，所述第二导向滚轮通过所述第二安装轴可转动地设置于所述第一安装轴，所述第一安装轴的轴线与所述第二安装轴的轴线垂直。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件还包括安装底座，所述导向座可沿所述第一方向往复滑动地设置于所述安装底座，所述夹爪组件与所述安装底座之间设置弹性复位件。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括变向传动结构，变向传动结构包括：
7.根据权利要求6所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构还包括锁定面，所述锁定面连接于所述传动面远离所述传动滚轮的一端，所述锁定面和所述传动面均形成在所述第一锁紧件上，所述锁定
8.根据权利要求1-4及7任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述第一爪部为活动爪部，第二爪部为固定爪部，所述取料机构还包括限位机构，所述限位机构沿所述第二方向设置于所述活动爪部，并在所述夹爪组件处于松开工件的状态时调节所述固定爪部与所述活动爪部之间的夹紧空间，所述夹紧空间用于夹紧工件。
9.根据权利要求8所述的取料机构，其特征在于，所述限位机构包括沿所述第二方向位置可调地设置于所述第一爪部和所述第二爪部中的一者的限位块，所述限位块在所述夹爪组件处于松开工件的状态时与所述第一爪部和所述第二爪部中的另一者接触配合，以控制所述第一爪部与所述第二爪部的之间的夹紧空间。
10.根据权利要求9所述的取料机构，其特征在于，所述限位块通过螺纹紧固件设置于所述活动爪部，所述限位块与所述活动爪部这两者中的一者设置条形孔，所述限位块与所述活动爪部这两者中的另一者设置螺纹孔，所述条形孔的长度方向为所述第二方向，所述螺纹紧固件穿过所述条形孔与所述螺纹孔配合。
11.一种加工装置，其特征在于，所述加工装置包括如权利要求1-12任意一项所述的取料机构。
12.根据权利要求11所述的加工装置，其特征在于，所述加工装置为裂片机。
...【技术特征摘要】
1.一种取料机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件包括：
3.根据权利要求2所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件还包括：
4.根据权利要求3所述的取料机构，其特征在于，所述第一导向滚轮通过第一安装轴可转动地设置于所述导向座，所述第一安装轴的两端分别设置第二安装轴，所述第二导向滚轮通过所述第二安装轴可转动地设置于所述第一安装轴，所述第一安装轴的轴线与所述第二安装轴的轴线垂直。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述支撑导向组件还包括安装底座，所述导向座可沿所述第一方向往复滑动地设置于所述安装底座，所述夹爪组件与所述安装底座之间设置弹性复位件。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括变向传动结构，变向传动结构包括：
7.根据权利要求6所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构还包括锁定面，所述锁定面连接于所述传动面远离所述传动滚轮的一端，所述锁定面和所述传动面均形成在所述第一锁紧件上，所述锁定面与所述第一方向平行。
8.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓长，方浩全，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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