【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，特别涉及一种取料机构以及一种加工装置。
技术介绍
1、随着当前半导体行业多年来的长足发展，涌现出多样化设备，机构也有较多相同之处。例如对于晶圆切割机和劈裂机等加工装置都具有从料盒取料的取料机构，一般地，取料机构的夹爪的驱动方式有很多，例如采用气缸顶出夹紧，缩回放松；或者采用滑台气缸伸出上升，缩回下降，但是目前的取料机构都是利用驱动装置直接驱动夹爪，因此夹爪的夹紧以及松开位置容易受到驱动装置本身精度的影响，尤其是在长时间运行后，驱动装置由于磨损等原因，会导致差异更为明显。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提供一种取料机构，以使其夹爪的夹紧和松开位置不容易受到驱动装置本身的精度的影响，提高夹爪夹持精度以及长时间运行的稳定性。
2、本专利技术的第二个目的在于提供一种包括上述取料机构的加工装置。
3、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
4、一种取料机构，包括：
5、第一锁紧件，所述第一锁紧件可沿第一方向往复运动；
6、第二锁紧件，所述第二锁紧件可沿第二方向往复运动，所述第一方向与所述第二方向相交；
7、变向传动结构，所述第一锁紧件与所述第二锁紧件通过所述变向传动结构传动配合，以将所述第一锁紧件沿所述第一方向的往复运动转化为所述第二锁紧件沿所述第二方向的往复运动；
8、夹爪组件，所述夹爪组件与所述第二锁紧件传动连接，在所述第二锁紧件沿所述第二方向往复运动的过
9、可选地，所述变向传动结构包括：
10、传动面，所述传动面设置于所述第一锁紧件与所述第二锁紧件这两者中的一者，所述传动面倾斜设置，所述传动面的两端的连线分别与所述第一方向以及所述第二方向呈夹角设置；
11、传动滚轮，所述传动滚轮设置于所述第一锁紧件与所述第二锁紧件这两者中的另一者，所述传动斜面与所述传动滚轮配合，以将所述第一锁紧件沿所述第一方向的往复运动转化为所述第二锁紧件沿所述第二方向的往复运动。
12、可选地，所述变向传动结构还包括锁定面，所述锁定面设置于所述传动面的远离所述夹爪的一端并与所述传动面连接，所述锁定面与所述第一方向平行。
13、可选地，所述取料机构还包括：
14、支撑件；
15、滑动件，所述第二锁紧件设置于所述滑动件，所述滑动件可沿所述第二方向往复滑动第设置于所述支撑件；
16、弹性复位件，所述弹性复位件设置于所述支撑件与所述滑动件之间。
17、可选地，所述取料机构还包括感应组件，所述感应组件包括：
18、感应片，所述感应片设置于所述滑动件
19、检测装置，所述检测装置设置于所述支撑件，所述感应片用于在所述驱动组件驱动所述第一锁紧件使所述夹爪组件处于松开位置时触发所述检测装置。
20、可选地，所述夹爪组件包括活动爪部以及固定爪部，所述活动爪部与所述第二锁紧件传动连接，所述第二锁紧件用于带动所述活动爪部沿第二方向相对于所述固定爪部往复移动，以使所述夹爪组件夹紧或松开，所述取料机构包括沿第二方向设置于所述活动爪部的限位机构，所述限位机构在所述夹爪组件处于松开工件的状态时调节所述活动爪部与所述固定爪部之间的夹紧空间，所述夹紧空间用于夹紧工件。
21、可选地，所述限位机构包括沿所述第二方向位置可调地设置于所述活动爪部的限位块，所述限位块在所述夹爪组件处于松开位置时通过与所述固定爪部接触配合控制所述活动爪部与所述固定爪部的间隙。
22、可选地，所述限位块通过螺纹紧固件设置于所述活动爪部，所述限位块与所述活动爪部这两者中的一者设置条形孔，所述条形孔的长度方向为所述第二方向，所述限位块与所述活动爪部这两者中的另一者设置螺纹孔，所述螺纹紧固件穿过所述条形孔与所述螺纹孔配合。
23、一种加工装置，所述加工装置包括如上任意一项所述的取料机构。
24、可选地，所述加工装置为裂片机。
25、由以上技术方案可以看出，本专利技术中公开了一种取料机构，该取料机构包括第一锁紧件、第二锁紧件、夹爪组件、以及变向传动结构，其中，第一锁紧件可沿第一方向往复运动；第二锁紧件可沿第二方向往复运动，第一方向与第二方向相交；第一锁紧件与第二锁紧件通过变向传动结构传动配合，夹爪组件与第二锁紧件传动连接，以将所述第一锁紧件沿所述第一方向的往复运动转化为所述第二锁紧件沿所述第二方向的往复运动，以带动夹爪组件夹紧或松开。
26、在应用时，利用第一锁紧件、第二锁紧件以及第一锁紧件和第二锁紧件之间的变向传动结构传动配合，即当第一锁紧件沿第一方向向靠近夹爪组件的方向运动时，第一锁紧件能够通过变向传动结构驱动第二锁紧件沿第二方向的一侧运动，以驱动夹爪组件夹紧，当第一锁紧件沿第一方向远离夹爪组件运动时，第一锁紧件能够通过变向传动结构驱动第二锁紧件沿第二方向的另一侧运动，从而使夹爪组件松开，第一锁紧件、第二锁紧件以及变向传动结构采用稳定可靠的纯机械结构，而且并不是直接驱动夹爪组件，而是通过变向传动结构进行动力传递，相较于结构较为复杂的驱动组件直接驱动夹爪组件，其精度以及一致性更容易保证，上述这种传动结构简单，便于加工，并且能够避免驱动组件直接作用于夹爪组件，从而避免结构相对复杂的驱动组件的精度对夹爪组件的精度造成不良影响，提高夹爪组件每次夹紧及放松位置的一致性，从而提高夹爪夹持精度以及长时间运行的稳定性。
27、本专利技术还公开了一种加工装置，该加工装置包括上述取料机构，由于该加工装置采用了上述取料机构，因此该加工装置理应具有与取料机构相同的有益效果，在此不再赘述。
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1.一种取料机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构包括：
3.根据权利要求2所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构还包括锁定面，所述锁定面设置于所述传动面的远离所述夹爪组件的一端并与所述传动面连接，所述锁定面与所述第一方向平行。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括：
5.根据权利要求4所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括感应组件，所述感应组件包括：
6.根据权利要求1-3及5任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述夹爪组件包括活动爪部以及固定爪部，所述活动爪部与所述第二锁紧件传动连接，所述第二锁紧件用于带动所述活动爪部沿第二方向相对于所述固定爪部往复移动，以使所述夹爪组件夹紧或松开，所述取料机构包括沿第二方向设置于所述活动爪部的限位机构，所述限位机构在所述夹爪组件处于松开工件的状态时调节所述活动爪部与所述固定爪部之间的夹紧空间，所述夹紧空间用于夹紧工件。
7.根据权利要求6所述的取料机构，其特征在于，所
8.根据权利要求7所述的取料机构，其特征在于，所述限位块通过螺纹紧固件设置于所述活动爪部，所述限位块与所述活动爪部这两者中的一者设置条形孔，所述条形孔的长度方向为所述第二方向，所述限位块与所述活动爪部这两者中的另一者设置螺纹孔，所述螺纹紧固件穿过所述条形孔与所述螺纹孔配合。
9.一种加工装置，其特征在于，所述加工装置包括如权利要求1-8任意一项所述的取料机构。
10.根据权利要求9所述的加工装置，其特征在于，所述加工装置为裂片机。
...【技术特征摘要】
1.一种取料机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构包括：
3.根据权利要求2所述的取料机构，其特征在于，所述变向传动结构还包括锁定面，所述锁定面设置于所述传动面的远离所述夹爪组件的一端并与所述传动面连接，所述锁定面与所述第一方向平行。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括：
5.根据权利要求4所述的取料机构，其特征在于，所述取料机构还包括感应组件，所述感应组件包括：
6.根据权利要求1-3及5任意一项所述的取料机构，其特征在于，所述夹爪组件包括活动爪部以及固定爪部，所述活动爪部与所述第二锁紧件传动连接，所述第二锁紧件用于带动所述活动爪部沿第二方向相对于所述固定爪部往复移动，以使所述夹爪组件夹紧或松开，所述取料机构包括沿第二方向设置于所述活动爪部的限位机构，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓长，方浩全，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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