【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，更具体地涉及一种位置标定方法、一种位置标定装置、一种电子设备及一种存储介质。
技术介绍
1、在制造业行业中，很多设备都会联合使用x、y、r定位系统与视觉定位相机来对产品进行定位加工，其中，通过x、y、r定位系统，待加工产品可以实现沿x轴和y轴的平移，并且可以实现绕r轴的旋转。r轴的旋转轴线与相机的视野中心重合时所对应的轴坐标(xy坐标系下的坐标)在实际运算过程中要经常用到。例如在半导体行业中，以晶圆的劈裂工序为例(劈刀沿切割道对晶圆进行劈裂)，需要通过视觉定位确定晶圆切割道的角度θ，然后通过r轴旋转θ°使晶圆切割道水平(这样在进行劈裂时才能够使劈刀沿切割道进行准确劈裂)，在计算旋转后切割道的位置时需要使用到r轴的旋转轴线与相机的视野中心重合时所对应的轴坐标。传统的方法是将r轴移动到相机视野下，旋转r轴，用肉眼去识别r轴的旋转轴线，再移动待加工件在xy坐标系上的位置，一点一点地将r轴旋转轴线与相机的视野中心重合。显然这种方法的定位精度完全不能保证，而且与工作人员的主观性有很大关系。
技术实现思路
1、考虑到上述问题而提出了本专利技术。本专利技术提供了一种位置标定方法，包括：
2、分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，其中，所述第一目标图像为所述特征点在第一位置时图像采集装置采集的图像，所述第二目标图像为所述特征点在第二位置时所述图像采集装置采集的图像，所述特征点为目标对象上的能够区别于其他点的标识点，所述第二位置为所述特征点在所
3、根据所述特征点在所述第一目标图像的位置坐标、所述特征点在所述第二目标图像的位置坐标以及所述预定角度，确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标；
4、根据所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标和所述图像采集装置的视野中心所对应的位置坐标，确定所述旋转中心与所述视野中心重合时对应的位置坐标。
5、示例性地，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
6、获取所述特征点在所述第一位置时所述目标对象的物理位置坐标，记为第一物理位置坐标；
7、获取所述特征点在第一目标位置时所述目标对象的物理位置坐标，记为第二物理位置坐标，其中，所述第一目标位置为所述特征点从所述第一位置移动至该特征点与所述图像采集装置的视野中心重合时的位置；
8、根据第一物理位置坐标与所述第二物理位置坐标，确定第一目标图像中的特征点的位置坐标。
9、示例性地，所述根据第一物理位置坐标与所述第二物理位置坐标，确定第一目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
10、根据第一物理位置坐标与所述第二物理位置坐标确定对应的第一位置坐标差，根据所述第一位置坐标差和所述第一物理位置坐标，确定第一目标图像中的特征点的位置坐标。
11、示例性地，在特征点位于第一目标位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，确定所述目标对象在第一目标位置的物理位置坐标。
12、示例性地，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
13、获取所述特征点在所述第二位置时所述目标对象的物理位置坐标，记为第三物理位置坐标；
14、获取所述特征点在第二目标位置时所述目标对象的物理位置坐标，记为第四物理位置坐标，其中，所述第二目标位置为所述特征点从所述第二位置移动至该特征点与所述图像采集装置的视野中心重合时的位置；
15、根据第三物理位置坐标与所述第四物理位置坐标，确定第二目标图像中的特征点的位置坐标。
16、示例性地，所述根据第三物理位置坐标与所述第四物理位置坐标，确定第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
17、根据第三物理位置坐标与所述第四物理位置坐标确定对应的第二位置坐标差，根据所述第二位置坐标差和所述第三物理位置坐标，确定第二目标图像中的特征点的位置坐标。
18、示例性地，在特征点位于第二目标位置时，响应于用户在第二用户界面上输入的第二位置确定指令，确定所述目标对象在第二目标位置的物理位置坐标。
19、示例性地，在确定第二目标图像中的特征点的物理位置坐标之前，所述方法还包括：
20、响应于用户在第三用户界面上输入的旋转指令，以所述第一位置为基准，控制所述目标对象旋转所述预设角度，以使所述特征点到达所述第二位置，其中，所述旋转指令包括所述预设角度。
21、示例性地，所述根据所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标和所述图像采集装置的视野中心所对应的位置坐标，确定所述旋转中心与所述视野中心重合时对应的位置坐标，包括：
22、确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标与所述图像采集装置的视野中心所对应的位置坐标的位置偏差；
23、根据所述位置偏差，确定所述旋转中心与所述视野中心重合时对应的位置坐标。
24、示例性地，所述根据所述特征点在所述第一目标图像的位置坐标、所述特征点在所述第二目标图像的位置坐标以及所述预定角度，确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标，包括：
25、响应于用户在第四用户界面上输入的旋转中心确定指令，根据所述特征点在所述第一目标图像的位置坐标、所述特征点在所述第二目标图像的位置坐标以及所述预定角度，确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标。
26、根据本专利技术的另一方面，还提供了一种位置标定装置，包括：
27、第一确定模块，用于分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，其中，所述第一目标图像为所述特征点在第一位置时图像采集装置采集的图像，所述第二目标图像为所述特征点在第二位置时所述图像采集装置采集的图像，所述特征点为该目标图像中目标对象上的能够区别于其他点的标识点，所述第二位置为所述特征点在所述第一位置时通过将所述目标对象围绕旋转中心旋转预定角度而得到；
28、第二确定模块，用于根据所述特征点在所述第一目标图像的位置坐标、在所述第二目标图像的位置坐标以及所述预定角度，确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标；
29、第三确定模块，用于根据所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标和所述图像采集装置的视野中心所对应的位置坐标，确定所述旋转中心与所述视野中心重合时对应的位置坐标。
30、根据本专利技术的又一方面，还提供了一种电子设备，包括处理器和存储器，其中，存储器中存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器运行时用于执行如上所述的位置标定方法。
31、根据本专利技术的再一方面，还提供了一种存储介质，在存储介质上存储了程序指令，程序指令在运行时用于执行如上所述的位置标定方法。...
【技术保护点】
1.一种位置标定方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据第一物理位置坐标与所述第二物理位置坐标，确定第一目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在特征点位于第一目标位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，确定所述目标对象在第一目标位置的物理位置坐标。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据第三物理位置坐标与所述第四物理位置坐标，确定第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在特征点位于第二目标位置时，响应于用户在第二用户界面上输入的第二位置确定指令，确定所述目标对象在第二目标位置的物理位置坐标。
8.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在确定第二目
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标和所述图像采集装置的视野中心所对应的位置坐标，确定所述旋转中心与所述视野中心重合时对应的位置坐标，包括：
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述特征点在所述第一目标图像的位置坐标、所述特征点在所述第二目标图像的位置坐标以及所述预定角度，确定所述旋转中心在所述第一目标图像和/第二目标图像中的位置坐标，包括：
11.一种位置标定装置，其特征在于，包括：
12.一种电子设备，包括处理器和存储器，其特征在于，存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序以实现如权利要求1-10任一项所述的位置标定方法。
13.一种存储介质，存储有计算机程序/指令，其特征在于，所述计算机程序/指令被处理器执行时实现如权利要求1-10任一项所述的位置标定方法。
...【技术特征摘要】
1.一种位置标定方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据第一物理位置坐标与所述第二物理位置坐标，确定第一目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在特征点位于第一目标位置时，响应于用户在第一用户界面上输入的第一位置确定指令，确定所述目标对象在第一目标位置的物理位置坐标。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别确定第一目标图像和第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据第三物理位置坐标与所述第四物理位置坐标，确定第二目标图像中的特征点的位置坐标，包括：
7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在特征点位于第二目标位置时，响应于用户在第二用户界面上输入的第二位置确定指令，确定所述目标对象在第二目标位置的物理位置坐标。
【专利技术属性】
技术研发人员：唐经易，方浩全，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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