曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供曝光装置，在对长条基板进行曝光之后，能够在不空出时间的情况下进行加热处理。一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，加热装置被设成随着长条基板的移动而移动并对长条基板进行加热。动而移动并对长条基板进行加热。动而移动并对长条基板进行加热。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置


[0001]本专利技术涉及一种对印刷电路板(PCB)等长条基板进行曝光的卷对卷型的直接曝光机，特别涉及一种具备为了对被卷绕成卷状的长条基板在曝光后进行加热处理而移动的基板加热装置的曝光装置。

技术介绍

[0002]已知一种无掩模地对形成于长条基板的光致抗蚀层进行曝光的直接曝光装置。例如，如专利文献1所公开那样，已知一种利用曝光台对以卷的形式卷绕的长条基板一边吸附一边输送并通过自曝光单元投影的图案化的紫外线使长条基板表面的光致抗蚀剂感光的曝光装置。
[0003]详细而言，曝光台吸附并保持基板，通过曝光台的移动而使长条基板进行扫描，在曝光单元中使来自光源(未图示)的照明光照射DMD(Digital Micro
‑
mirror Device：数字微镜器件)等光调制元件阵列，并且与曝光台的移动同步地切换DMD所显示的图案，在基板的规定范围(由曝光台保持的范围)内对任意的电路图案进行描绘(曝光)。曝光结束后的基板被以卷的形式卷取。
[0004]另外，在用于半导体、印刷电路板等的光致抗蚀剂中，存在在曝光后需要加热处理的光致抗蚀剂。存在一种被称为PEB(Post Exposure Bake/曝光后烘烤)的方法，例如在利用化学放大抗蚀剂时，进行PEB，以便促进因曝光而开始的化学反应(脱保护反应或交联反应)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2015
‑
222370号公报
[0008]专利文献2：日本特开昭60
‑
089925号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的问题
[0010]已知的是，对于化学放大抗蚀剂的PEB而言，在曝光后，随着时间推移，反应变慢。不过，在以往的卷对卷型的直接曝光装置(参照专利文献1)中，由于基板是连续的，因此，在一个卷的量的基板全部的曝光结束之前，无法将基板投入至加热装置，特别是对于在长条基板的前端曝光的部分，在曝光后不得不放置较长的时间。
[0011]并且，在专利文献2中，记载有一种串联(日文：
インライン
)地构成接触式曝光装置和加热装置的电子电路形成方法。另外，预烘烤、显影、蚀刻这样的电子电路结构所需要的其他工序也串联地构成。在专利文献2中，在从曝光部115到基板卷取部129之间设有加热装置121。
[0012]然而，在PEB中，需要准确地管理温度和加热时间，无法将PEB用于直接曝光装置。就一边使基板进行扫描一边进行曝光的直接曝光装置的特性而言，长条基板通过曝光台的
移动而在加热装置内往返。因此，根据工艺，在加热装置内滞留的时间会不同，无法在一定条件下进行加热。如专利文献2所记载的结构那样，对于通过隧道内那样的结构的加热装置，滞留在加热装置内的时间会因工艺而变化，加热温度、加热时间等的管理变得困难。
[0013]因而，本专利技术的目的在于，提供一种以卷对卷型对长条基板进行扫描曝光的曝光装置，在该曝光装置中，能够在曝光后不空出时间且准确地调整温度和时间地进行PEB处理。
[0014]用于解决问题的方案
[0015]本专利技术提供一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，加热装置被设成随着长条基板的移动而移动并对长条基板进行加热。
[0016]专利技术的效果
[0017]根据至少一个实施方式，在本专利技术中，能够在基于曝光单元的曝光后在不空出时间的情况下进行加热处理。另外，与长条基板始终通过加热装置内的结构不同，能够准确地调整加热温度、加热时间。此外，这里记载的效果不一定是限制性的，可以是本说明书所记载的任意的效果或是与其不同性质的效果。
附图说明
[0018]图1的(A)是本专利技术的一个实施方式的俯视图，图1的(B)是本专利技术的一个实施方式的侧视图。
[0019]图2是本专利技术的一个实施方式的控制装置的一个例子的框图。
[0020]图3的(A)是表示曝光装置的步骤1的动作的俯视图，图3的(B)是表示曝光装置的步骤1的动作的侧视图。
[0021]图4的(A)是表示曝光装置的步骤2的动作的俯视图，图4的(B)是表示曝光装置的步骤2的动作的侧视图。
[0022]图5的(A)是表示曝光装置的步骤3的动作的俯视图，图5的(B)是表示曝光装置的步骤3的动作的侧视图。
[0023]图6的(A)是表示曝光装置的步骤4的动作的俯视图，图6的(B)是表示曝光装置的步骤4的动作的侧视图。
[0024]图7的(A)是表示曝光装置的步骤5的动作的俯视图，图7的(B)是表示曝光装置的步骤5的动作的侧视图。
[0025]图8的(A)是表示曝光装置的步骤6的动作的俯视图，图8的(B)是表示曝光装置的步骤6的动作的侧视图。
[0026]图9的(A)是表示曝光装置的步骤7的动作的俯视图，图9的(B)是表示曝光装置的步骤7的动作的侧视图。
[0027]图10的(A)是表示曝光装置的步骤8的动作的俯视图，图10的(B)是表示曝光装置的步骤8的动作的侧视图。
[0028]附图标记说明
[0029]W、长条基板(柔性基板)；1、供给侧基板卷；3、12、基板缓冲器；4、曝光台；5、曝光台XY移动机构；6、对准相机；7、曝光单元；8、PEB单元；9、PEB单元XY移动机构；11、卷取侧基板
卷；13、供给侧制动辊；14、卷取侧制动辊。
具体实施方式
[0030]以下，参照附图来说明本专利技术的实施方式等。此外，以下说明的实施方式等是本专利技术的优选的具体例，本专利技术的内容并不限定于这些实施方式等。
[0031]参照图1来说明本专利技术的一个实施方式的曝光装置。曝光装置是所谓的卷对卷方式的曝光装置，面对附图，从左侧的上游侧朝向右侧的下游侧输送长条基板W。
[0032]长条基板W例如是成为用于移动电话、移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基础原材料的感光性长条薄膜(在表面涂敷有感光体的合成树脂制柔软薄膜)，其被卷于供给侧基板卷1。涂敷有光致抗蚀剂等感光材料的长条基板W形成为由覆铜层叠板等构成的片状，具有数十米～数百米的长度。以下，将长条基板W的朝向图中的上方的面称作“表面”，将长条基板W的朝向图中的下方的面称作“背面”。此外，将沿着输送方向的方向表示为X，将与输送方向垂直的长条基板W的宽度方向表示为Y，将与X和Y这两者垂直的方向(铅垂方向)表示为Z。
[0033]由基板投入部Y移动机构2投入且自供给侧基板卷1放出的长条基板W通过导辊、由跳动辊构成的供给侧基板缓冲器(跳动辊)3、以及供给侧制动辊13而供给至曝光部。曝光部具有曝光台4、曝光台XY移动机构5、对准相机6、曝光单元7。
[0034]供给侧基板卷1保持被卷绕成卷状的长条基板W并进行旋转，由此将长条基板W朝向下游侧供给。卷取侧基板卷11进行旋转，由此将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，所述加热装置被设成随着所述长条基板的移动而移动并对所述长条基板进行加热。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，在所述加热装置对所述长条基板进行加热时，使曝光台和加热装置保持相对位置地进行移动。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，所述曝光台的移动部和所述加热装...

【专利技术属性】
技术研发人员：绿川悟，马田教廉，森正义，
申请(专利权)人：株式会社奥珂制作所，
类型：发明
国别省市：