曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供曝光装置，在对长条基板进行曝光之后，能够在不空出时间的情况下进行加热处理。一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，加热装置被设成随着长条基板的移动而移动并对长条基板进行加热。动而移动并对长条基板进行加热。动而移动并对长条基板进行加热。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置


[0001]本专利技术涉及一种对印刷电路板(PCB)等长条基板进行曝光的卷对卷型的直接曝光机，特别涉及一种具备为了对被卷绕成卷状的长条基板在曝光后进行加热处理而移动的基板加热装置的曝光装置。

技术介绍

[0002]已知一种无掩模地对形成于长条基板的光致抗蚀层进行曝光的直接曝光装置。例如，如专利文献1所公开那样，已知一种利用曝光台对以卷的形式卷绕的长条基板一边吸附一边输送并通过自曝光单元投影的图案化的紫外线使长条基板表面的光致抗蚀剂感光的曝光装置。
[0003]详细而言，曝光台吸附并保持基板，通过曝光台的移动而使长条基板进行扫描，在曝光单元中使来自光源(未图示)的照明光照射DMD(Digital Micro
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mirror Device：数字微镜器件)等光调制元件阵列，并且与曝光台的移动同步地切换DMD所显示的图案，在基板的规定范围(由曝光台保持的范围)内对任意的电路图案进行描绘(曝光)。曝光结束后的基板被以卷的形式卷取。
[0004]另外，在用于半导体、印刷电路板等的光致抗蚀剂中，存在在曝光后需要加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，所述加热装置被设成随着所述长条基板的移动而移动并对所述长条基板进行加热。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，在所述加热装置对所述长条基板进行加热时，使曝光台和加热装置保持相对位置地进行移动。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，所述曝光台的移动部和所述加热装...

【专利技术属性】
技术研发人员：绿川悟，马田教廉，森正义，
申请(专利权)人：株式会社奥珂制作所，
类型：发明
国别省市：