本发明提供曝光装置，在对长条基板进行曝光之后，能够在不空出时间的情况下进行加热处理。一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，加热装置被设成随着...

本发明确保曝光单元与基板的相对移动的直线性而减少曝光时的误差。一种曝光装置，该曝光装置具备：传送带，其输送基板；吸附部件，其使基板紧贴于传送带的上表面；曝光单元，其对基板进行曝光；以及引导部，其抑制传送带的与输送方向正交的方向上的位移。...

本发明涉及臭氧生成装置和臭氧生成方法。本发明要解决的技术问题在于提供即使在各种使用环境下也能够防止紫外线照射效率、臭氧生成效率降低的臭氧生成装置。本发明的臭氧生成装置是使用准分子灯(4)的臭氧生成装置(1)，点亮准分子灯(4)，在照度降...

本发明提供一种设有放电容器的准分子灯，其能够防止具有外周面被包覆管覆盖的双层管构造的准分子灯的放电容器的变形，也能够为了消除成为灯破损、绝缘破坏的起点的微小的楔状空隙而充分地进行加热并熔接。本发明的准分子灯是一种放电灯，其具有：包覆管，...

本实用新型提供一种在具有多个灯的光源装置中，能够在抑制光量的损失的同时使光聚光的光源装置以及曝光装置。本实用新型的具有多个灯的光源装置能够在抑制光量的损失的同时使光聚光。光源装置(20)具有由灯(22A)、反射镜(24A)构成的灯单元(...

本发明提供一种装卸操作简便（迅速）、且能够防止异常放电的新型的放电灯装卸机构和放电灯。在放电灯的一侧的固定灯头设置针对灯固定台座的接触端面、从该接触端面沿轴向延伸的接触轴、以及以离开上述接触端面的方式形成于该接触轴的被牵拉突起，另一方面...

本实用新型提供一种短弧型放电灯。在本实用新型中，在为了向短弧型放电灯（10）供给电力而进行的由金属材料构成的外部连接用引导部（18）与外部引线（31）之间的钎焊过程中，通过在外部连接用引导部（18）的供钎焊的部位预先卷绕金属线（50）或...

本发明提供一种曝光标记装置。该曝光标记装置容易对基板位置进行调节，且使对准标记高精度地形成在基板上。该曝光标记装置具有基板位置调节部及由四个标记头（16A～16D）构成的标记部，在标记头（16A～16D）上沿着与基板输送方向正交的方向（...

本发明提供一种手动式直接曝光装置的工作台保护装置。该手动式直接曝光装置使用于载置基板的基板工作台在用于装卸该基板的装卸部和用于对该基板进行曝光的曝光部之间移动，通过该工作台保护装置，在开闭基板工作台的装卸部的上部时很少会产生尘埃，或者能...

本实用新型提供一种短弧型放电灯。在本实用新型中，在为了向短弧型放电灯供给电力而进行的由金属材料构成的外部连接用引导部（18）与捻线状的外部引线（51）之间的钎焊过程中，在外部引线（51）的局部上设置高密度部位（53），由此，防止了向除了...

本实用新型提供一种装卸操作简便（迅速）、且能够防止异常放电的新型的放电灯装卸机构及放电灯。在放电灯的一侧的固定灯头设置针对灯固定台座的接触端面、从该接触端面沿轴向延伸的接触轴、以及以离开上述接触端面的方式形成于该接触轴的被牵拉突起，另一...

本发明提供一种放电灯。该放电灯具有防止密封管在点亮时破裂的、可靠性较高的密封结构。在放电灯的密封管（20）内，使与金属箔（36）相熔接的内侧金属环（26）以被电极支承棒（22）贯穿的状态与该电极支承棒（22）接合，在内侧金属环（26）的...