光源装置以及曝光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种在具有多个灯的光源装置中，能够在抑制光量的损失的同时使光聚光的光源装置以及曝光装置。本实用新型专利技术的具有多个灯的光源装置能够在抑制光量的损失的同时使光聚光。光源装置(20)具有由灯(22A)、反射镜(24A)构成的灯单元(20A)和由灯(22B)、反射镜(24B)构成的灯单元(20B)，在该光源装置(20)中，反射镜(24A、24B)相对于与中心轴线(C1、C2)垂直的面(V1、V2)倾斜，在形成侧面侧开口部(29A、29B)的彼此平行的开口面(31A、31B)的侧面侧开口部(29A、29B)相对地平行配置。

Light source device and exposure device

【技术实现步骤摘要】
光源装置以及曝光装置
本技术涉及一种在曝光装置等中使用的光源装置，尤其涉及装备有多个灯的光源装置。
技术介绍
在曝光装置中，从放电灯放射出的光被椭圆镜等反射镜聚光并向照明光学系统引导。在照明光学系统中设有积分透镜(例如蝇眼透镜)，利用积分透镜使照度分布均匀化。积分透镜(例如蝇眼透镜)是将微透镜在纵横方向上进行二维排列而成的透镜单元，因此，由于灯、反射镜的大型化而导致照度下降、分辨率下降等。因此，公知如下一种光源装置，其具有多个分别装备有灯和反射镜的灯单元，以使从各灯单元放射出的光聚光的方式配置灯单元(参照专利文献1)。于是，切断两个凹面反射镜(椭圆反射镜)的一部分来形成彼此平行的切断面，在使切断面抵接的状态下将反射镜固定配置。通过以使反射镜的中心轴线交叉的方式形成切断面，能够在抑制照度下降的同时使从两个灯放射出的光聚光。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-245912号公报
技术实现思路
技术要解决的问题在凹面反射镜(椭圆反射镜等)中，在其中心轴线上的第1焦点附近配置灯中心，因此，反射镜的开口面形成相对于反射镜中心轴线垂直的面，以能够均等地聚光。因此，当以使从两个反射镜放射的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源装置，其具有多个由灯和凹型反射镜构成的灯单元，将从各灯单元放射出的光聚光，该光源装置的特征在于，至少一个所述凹型反射镜的开口部的开口面相对于与所述凹型反射镜的中心轴线垂直的面倾斜。

【技术特征摘要】
2017.12.20 JP 2017-2440051.一种光源装置，其具有多个由灯和凹型反射镜构成的灯单元，将从各灯单元放射出的光聚光，该光源装置的特征在于，至少一个所述凹型反射镜的开口部的开口面相对于与所述凹型反射镜的中心轴线垂直的面倾斜。2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，在相邻的凹型反射镜中，开口部的开口面位于同一平面上。3.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述凹型反射镜设有侧面侧开口面，以所述侧面侧开口面与相邻的凹型反射镜的侧面侧开口面平行的方式设置所述凹型反射镜。4.根据权利要求3所述的光源装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原和正，月崎雄，
申请(专利权)人：株式会社奥珂制作所，
类型：新型
国别省市：日本,JP