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光源装置以及曝光装置制造方法及图纸
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下载光源装置以及曝光装置的技术资料
文档序号:21783043
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本实用新型提供一种在具有多个灯的光源装置中,能够在抑制光量的损失的同时使光聚光的光源装置以及曝光装置。本实用新型的具有多个灯的光源装置能够在抑制光量的损失的同时使光聚光。光源装置(20)具有由灯(22A)、反射镜(24A)构成的灯单元(20...
该专利属于株式会社奥珂制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社奥珂制作所授权不得商用。
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