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本发明提供曝光装置，在对长条基板进行曝光之后，能够在不空出时间的情况下进行加热处理。一种曝光装置，其对长条基板进行曝光，该曝光装置具备卷对卷型的输送部，其中，在曝光单元与基板卷取部之间设有对长条基板进行加热的加热装置，加热装置被设成随着长条...
该专利属于株式会社奥珂制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社奥珂制作所授权不得商用。

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