垂直式探针卡调针平台制造技术

本发明专利技术公开了一种垂直式探针卡调针平台，其中，盆形本体是由直立的侧环壁环绕固设于底板的外环缘，以形成一盆内空间，再将环形反光层环设于侧环壁的内环面，又将底反光层组设于底板的上表面上。因此，若将一蛇管灯光源穿设进入侧环壁并伸出内环面外而凸出至盆内空间，光源的光线便可透过环形反光层与底反光层将其无数次反射，故可均匀地照射摆设于盆形本体上方的探针卡的底面，有利于调针者能正确判别偏斜的探针并加以调针。倘若再加装一凸透镜于盆形本体上方、或将底反光层改成凹面镜，可还具聚光效果而提高亮度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探针卡的调针平台，尤指一种适用于垂直式探针卡调针平台。
技术介绍
探针卡(probe card)在半导体测试设备上使用一段时间后，由于探针与待测半导 体元件长期且频繁的接触，而造成探针的偏斜或折曲。其若未经校正则于其后所测得的数 据必将不正确。 现有的垂直式的探针卡，其探针是垂直嵌设于探针卡其探针模块的基孔上；然，探 针套设于基孔并非完全密合，故仍有细缝产生，若探针已偏斜时，探针与基孔间部分区域的 细缝会增加，因此，传统是于探针模块下方照以一光源，光线会穿透出细缝，如此，调校人员 即可轻易于探针模块上方目视检测出细缝的透光程度而得知探针模块上各个探针有无偏 斜情形，并适时加以校正。 现有的调针方法是将探针模块自探针卡上拆卸下来，再将探针模块架设于调针平 台上以利调针。其中，调针所需的光源可分成背光式、与侧光式的光源投射模式。 背光式是将光源自调针平台底部垂直照射探针模块，其优点是光源强度足够均匀 照射至探针模块的每一基孔，而易于调针；其缺点是光源强度太强而使调针人员眼睛易于 疲劳，无法长时间进行调针，而减低调针效率。 而侧光式的优点是光线柔和，调针人员眼睛不易疲劳，可进行长时间的调针工作； 其缺点是光线强度较弱，加上调针平台不能均匀反射光线，以使光线平均照射于探针模块 的每一个基孔上，因而不利于调针。 如图l所示，其是现有调针平台的剖视图。其中，盆形本体9包括一侧环壁91、一 底盘92、及一组装孔93。侧环壁91与底盘92共同形成一盆内空间94，组装孔93穿设于侧 环壁11并连通于盆内空间94。侧光源95嵌设于盆形本体9的组装孔93内，并将光线照射 进入盆内空间94内使其内部相对光亮。 于图1中，探针模块96位于探针卡的中央部，被测的探针模块96则均匀开设有基 孔97，在基孔97上固设有探针98，在进行调针动作时将探针模块96自探针卡(图未示) 上拆卸下来并置于盆形本体9上以利调整探针98。 由于现有盆形本体9的侧环壁91、及底盘92对侧光源95所照出的光线不一定有 很好的反射性。如此，常造成侧光源95只能局部照射于探针模块96局部的基孔97。而常 会对偏斜探针调针不完整的情形发生，进而影响测试质量。 因此亟待一种能够将侧光源95平均反射于探针模块96的所有基孔97的调针辅 助工具，以使调针工作能正确执行。
技术实现思路
本专利技术是关于一种垂直式探针卡调针平台，包括一盆形本体、一反光元件、及一光 源。 盆形本体包括一侧环壁、及一底板，侧环壁直立环绕固设于底板的外环缘，侧环壁 包括有一内环面，侧环壁的顶缘设有一承载部，底板包括有一上表面。 反光元件包括有一环形反光层、及一底反光层，环形反光层环设于侧环壁的内环面，底反光层组设于底板的上表面上。光源其组设于侧环壁的内环面上。 因此，若将光源穿设进入侧环壁并伸出内环面外而凸出至盆内空间，光源的光线便可透过环形反光层与底反光层将其无数次反射，故可均匀地照射摆设于盆形本体上方的探针卡的底面，有利于调针者能正确判别偏斜的探针并加以调针。 此外，盆形本体的侧环壁穿设有一组装孔，光源组设于组装孔内。盆形本体的侧环 壁的顶缘还设有一凸透镜，凸透镜位于承载部下方。侧环壁的该承载部包括有一环肩部。 再者，盆形本体的底板的上表面包括有一凹陷，反光元件的底反光层包括有一凹 面镜对应贴合于凹陷内。反光元件的环形反光层及底反光层是分别选自下列群组镀银层、 镀铜层、铜银合金层、硫酸铜层和硫酸钡层。 并且，光源包括有一蛇管灯。盆形本体的侧环壁还开设有至少一轴向凹槽。附图说明 图1是现有调针平台的剖视图； 图2是本专利技术调针平台第一较佳实施例的立体图; 图3是本专利技术调针平台第一较佳实施例的剖视图; 图4是本专利技术调针平台第二较佳实施例的剖视图; 图5是本专利技术调针平台第三较佳实施例的剖视图。 主要元件符号说明盆形本体1侧环壁11内环面111承载部112环肩部113轴向凹槽114底板12上表面121凹陷122组装孔13盆内空间14反光元件2环形反光层21底反光层22凹面镜221光源3探针模块4底面41探针42基孔43凸透镜5盆形本体9侧环壁91底盘92组装孔93盆内空间94侧光源95探针模块96基孔97探针98具体实施例方式请同时参阅图2、及图3，图2是本专利技术调针平台第一较佳实施例的立体图；图3是 本专利技术调针平台第一较佳实施例的剖视图。如图所示，其显示为一种垂直式探针卡调针平 台，此调针平台包括一盆形本体1、一反光元件2、及一光源3。 如图2，盆形本体1其包括一侧环壁11、及一底板12，侧环壁11直立环绕固设于底 板12的外环缘，侧环壁11包括有一内环面111，侧环壁11还开设有至少一轴向凹槽114， 以方便取走调针完成的探针模块4。底板12包括有一上表面121。 如图2、及图3，侧环壁11的顶缘设有一承载部112用以承载待测的垂直式探针卡的探针模块4，承载部112包括有一环肩部113，以利稳固地放置探针模块4。 反光元件2包括有一环形反光层21、及一底反光层22，环形反光层21环设于侧环壁11的内环面lll，底反光层22组设于底板12的上表面121上，其中，反光元件2的环形反光层21及底反光层22是分别选自下列群组镀银层、镀铜层、铜银合金层、硫酸铜层和硫酸钡层。 光源3其组设于侧环壁11的内环面111上，盆形本体1的侧环壁11穿设有一组 装孔13，光源3组设于组装孔13内，并发出光线照射入盆形本体1的盆内空间14内，于本 实施例中，光源3是指一蛇管灯。 如图3所示，蛇管灯光源穿设进入侧环壁11并伸出内环面111外而凸出至盆内空 间14，蛇管灯的光线便可透过环形反光层与底反光层将其无数次反射，故可均匀地照射摆 设于盆形本体上方的探针卡的底面，此时，若位于探针模块4上的探针42未产生偏斜，则光 线不能自基孔43透出；反之，若位于探针模块4上的探针42产生偏斜，则光线会自基孔43 透出，因此调针者则可自基孔43检验有无透出的光线，以判断探针42是否偏斜并加以调 针。 请参阅图4，其是本专利技术调针平台第二较佳实施例的剖视图。本实施例与第一实施例的结构大致相同，不同之处在于盆形本体1的侧环壁11的顶缘还设有一凸透镜5，凸透镜5位于承载部112下方，以强化反射的光线，聚光照射于探针模块4的底面41。 请参阅图5，其是本专利技术调针平台第三较佳实施例的剖视图。于本例中，盆形本体1的底板12的上表面121包括有一凹陷122，反光元件2的底反光层22包括有一凹面镜221对应贴合于凹陷122内，以产生凹面镜效果而强化反射的光线，聚光照射于探针模块4的底面41。 上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本专利技术所主张的权利范围自应以申请 专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。权利要求一种垂直式探针卡调针平台，其特征在于包括一盆形本体，其包括一侧环壁、及一底板，该侧环壁直立环绕固设于该底板的外环缘，该侧环壁包括有一内环面，该侧环壁的顶缘设有一承载部，该底板包括有一上表面；一反光元件，包括有一环形反光层、及一底反光层，该环形反光层环设于该侧环壁的该内环面，该底反光层组设于该底板的该上表面上；以及一光源，其组设于该侧环壁的该内环面上。2. 如权利要求1所述的垂直式探针卡调针平台，其特征在于，该盆形本体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种垂直式探针卡调针平台，其特征在于包括：一盆形本体，其包括一侧环壁、及一底板，该侧环壁直立环绕固设于该底板的外环缘，该侧环壁包括有一内环面，该侧环壁的顶缘设有一承载部，该底板包括有一上表面；一反光元件，包括有一环形反光层、及一底反光层，该环形反光层环设于该侧环壁的该内环面，该底反光层组设于该底板的该上表面上；以及一光源，其组设于该侧环壁的该内环面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵本善，刘嘉伦，陈家进，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]