探针片的制造方法技术

一种探针片的制造方法，该探针片包括：具有挠性的绝缘性合成树脂薄膜以及支承在该合成树脂薄膜上的导电电路的探针片主体；从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头，该制造方法包含以下步骤：通过利用光刻技术在基座上从多个触头的各针尖向基部依次堆积多个触头用的金属材料，从而在上述基座上形成多个触头的步骤；在上述基座上形成与保持在上述基座上的上述各触头的上述基部结合的探针片主体的步骤；将上述触头与上述探针片主体一体地从上述基座上分离的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种适合于集成电路、显示装置用电路板那样 的平板状的被检查体进行通电试验时使用的探针片的制造方 法。
技术介绍
现有的这种通电试验，是在测试仪(tester)主体和裙:才全 查体之间使用探针片，该探针片具备具有挠性的绝缘性合成 树脂薄膜以及支承在该合成树脂薄膜上的导电电路的探针片主 体；从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连 接的多个触头(例如，参照专利文献l)。探针片的各触头经探针片主体的导电电路与测试仪主体的 电路连接。另外，要使各触头的针尖与被检查体的对应的电极 接触那样地将探针片应用于被检查体。通过使用该探针片进行 电气接触，被检查体能与测试仪主体连接。但是，这样的探针片，由于要使设置在该探针片上的多个 触头的针尖准确地抵接在被检查体的对应的电才及上，所以，各 触头的针尖的尺寸精度及其位置精度是个很大的问题。因此，在形成这样的探针片时， 一般情况下，从作为针尖的 前端向作为与探针片主体连接的连接端的基端形成各触头(例如，参照专利文献2 4)。这些触头在分别形成后，以使各基端 与探针片主体的对应的导电电路连接的方式与探针片主体结合。专利文献l:曰本特本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针片的制造方法，该探针片包括：具有挠性的绝缘性合成树脂薄膜以及支承在该合成树脂薄膜上的导电电路的探针片主体；从该探针片主体的一个面突出形成的、与上述导电电路连接的多个触头，该制造方法包含以下步骤：通过利用光刻技术在基座上从多个触头的各针尖向基部依次堆积多个触头用的金属材料，从而在上述基座上形成多个触头的步骤；在上述基座上形成与保持在上述基座上的上述各触头的上述基部结合的探针片主体的步骤；将上述触头与上述探针片主体一体地从上述基座上分离的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：滨田和人，秋庭孝志，成田聪，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP