探针的清洁方法及探针清洁装置制造方法及图纸

一种探针清洁装置以及探针的清洁方法，其中，探针的清洁方法包括：提供待清洁的探针；采用清针片对所述待清洁的探针进行第一清洁处理；采用毛刷对所述待清洁的探针进行第二清洁处理；对所述待清洁的探针进行第三清洁处理，所述第三清洁处理为对所述待清洁的探针进行抽气处理；所述第一清洁处理、第二清洁处理和第三清洁处理为同时进行。本发明专利技术提高了探针清洁的效率，增强去除杂质的能力，缩短了探针清洁的时间，从而改善了晶圆测试结果的准确性和可靠性，缩短晶圆测试的时间，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种探针清洁装置，其特征在于，包括：腔体；所述腔体的底部设有清针片；所述清针片以外的腔体侧壁设有毛刷；所述清针片以外的腔体侧壁设有一个或多个吸孔，所述吸孔通过管道与吸气阀连接，并连接至集尘装置中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王善屹，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31