探头、探头装配方法和探针板组成比例

本实用新型专利技术公开一种探头、探头装配方法和探针板。滑动单元在台的平整滑动平面上滑动，以便沿着和所述平整滑动平面平行的方向调整多个滑动单元的相对位置。即使滑动单元和可动单元一起沿着平行于平整滑动平面的方向移动，多个可动单元沿垂直于平整滑动平面的方向的相对位置不会改变。通过在所述台的平整滑动平面上滑动滑动单元并沿着垂直于滑动面的方向移动可动单元，可以独立且分别地沿着平行和垂直所述平整滑动平面的方向调整安装在可动单元上的多个探针的相对位置。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
探头、探头装配方法和探针板
本技术涉及一种用以检测例如半导体集成电路和液晶面板的电子装置的电气特性的探头，该探头的装配方法以及一种探针板。在本技术实施例中，认为探针板具有安装在检测装置(探测器)上的印刷电路板和固定到该印刷电路板上的探头，并且，该探头具有多个探针(探针插脚)。
技术介绍
在检测电子装置电气特性的传统方法中，将设置有多个具有突出顶端的探针的探针板降低，以便使探针的顶端和装置的电极接触。随着电子装置的集成度不断增大，电极的间距变得越来越小。因此，更有必要以微米级的精确度在探针和电子装置的电极之间执行对准操作。专利文献#1、即日本已公开专利申请NoHEI-10-300784，专利文献#2、即日本已公开专利申请No2000-46869，公开了一种通过将衬底吸附在倾斜面上而调整设置有探针的四个衬底的相对位置的技术。专利文献#3、即日本已公开专利申请No2000-65860公开了一种如下技术：其中，均具有倾斜面并设置有探针的四个安装基座设置在衬底上，此后，将衬底固定，从而相对矩形基座夹在每个安装基座的x-，y-，z-方向上执行位置对准。根据专利文献#1、#2和#3公开的技术，随本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为所述滑动单元中的每一个设置的提升单元，所述提升单元能够沿垂直方向移动；为所述提升单元中的每一个设置的探针，每个所述探针的顶端从所述提升单元突出；以及定位装置，用以相对所述滑动单元定位所述提升单元，以及相对所述台定位所述滑动单元。

【技术特征摘要】
JP 2003-4-18 114391/03;JP 2003-2-18 039710/031、一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为所述滑动单元中的每一个设置的提升单元，所述提升单元能够沿垂直方向移动；为所述提升单元中的每一个设置的探针，每个所述探针的顶端从所述提升单元突出；以及定位装置，用以相对所述滑动单元定位所述提升单元，以及相对所述台定位所述滑动单元。2、如权利要求1所述的探头，其中，所述提升单元包括可以沿着垂直方向相对所述滑动面移动的可动单元，以及固定到所述可动单元上并与所述探针设置在一起的支持单元。3、如权利要求1所述的探头，其中：所述提升单元包括可动单元和支持单元，所述可动单元和所述滑动单元整体形成，并且其一端和所述滑动单元相连，其另一端为自由端，所述支持单元固定到所述可动单元上并和所述探针设置在一起；以及所述定位装置包括拧入所述滑动单元的螺钉，所述螺钉用以沿着远离所述滑动面的方向和沿着靠近所述滑动面的方向移动所述可动单元。4、如权利要求1所述的探头，其中：所述提升单元包括可动单元和支持单元，所述可动单元由所述滑动单元可枢转地支持，所述支持单元固定到所述可动单元上并和所述探针设置在一起；以及所述定位装置包括拧入...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽田修一，土江雅也，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP[日本]