探头、探头装配方法和探针板组成比例

本实用新型专利技术公开一种探头、探头装配方法和探针板。滑动单元在台的平整滑动平面上滑动，以便沿着和所述平整滑动平面平行的方向调整多个滑动单元的相对位置。即使滑动单元和可动单元一起沿着平行于平整滑动平面的方向移动，多个可动单元沿垂直于平整滑动平面的方向的相对位置不会改变。通过在所述台的平整滑动平面上滑动滑动单元并沿着垂直于滑动面的方向移动可动单元，可以独立且分别地沿着平行和垂直所述平整滑动平面的方向调整安装在可动单元上的多个探针的相对位置。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
探头、探头装配方法和探针板
本技术涉及一种用以检测例如半导体集成电路和液晶面板的电子装置的电气特性的探头，该探头的装配方法以及一种探针板。在本技术实施例中，认为探针板具有安装在检测装置(探测器)上的印刷电路板和固定到该印刷电路板上的探头，并且，该探头具有多个探针(探针插脚)。
技术介绍
在检测电子装置电气特性的传统方法中，将设置有多个具有突出顶端的探针的探针板降低，以便使探针的顶端和装置的电极接触。随着电子装置的集成度不断增大，电极的间距变得越来越小。因此，更有必要以微米级的精确度在探针和电子装置的电极之间执行对准操作。专利文献#1、即日本已公开专利申请NoHEI-10-300784，专利文献#2、即日本已公开专利申请No2000-46869，公开了一种通过将衬底吸附在倾斜面上而调整设置有探针的四个衬底的相对位置的技术。专利文献#3、即日本已公开专利申请No2000-65860公开了一种如下技术：其中，均具有倾斜面并设置有探针的四个安装基座设置在衬底上，此后，将衬底固定，从而相对矩形基座夹在每个安装基座的x-，y-，z-方向上执行位置对准。根据专利文献#1、#2和#3公开的技术，随着沿设置有探针的多个衬底的z-方向对位置的调整，衬底沿x-和y-方向的位置发生变化。例如，根据专利文献#3(参见该文献的附图4)，当z-轴调整螺钉62旋转、以便在z-方向上一同移动接触探针1和安装基座36时，安装基座36发生晃动，从而使接触探针1的顶端沿x-和y-方向移动。因此，根据专利文献#1、#2和#3公开的技术，因为沿x-和y-方向的调整以及沿z-轴方向的调整互相影响，所以难以沿衬底的x-、y-、和z-方向调整位置。在专利文献#1、#2和#3公开的技术探针板中，接触探针和印刷电路板以下述方式电连接。接触探针的接线布图的局部区域暴露于形成在由树脂膜-->形成的、用以支持接触探针的衬底的窗中，并且，所述暴露在窗中的接线布图通过和印刷电路板的电极压力接触而形成。通过这种设置，当接触探针相对印刷电路板移动时，支持接触探针的树脂膜衬底发生变形。由于树脂膜很难沿膜的表面方向弯曲，因此，接触探针相对印刷电路板移动的方向受到限制。因此，对于专利文献#1、#2和#3公开的探头而言，难以自由并全方位地调整每个接触探针的位置和姿态。
技术实现思路
本技术旨在解决上述问题，本技术的目的在于提供一种能够以高精度调整探针位置的探头、其装配方法以及探针板。为实现上述目的，本技术提供一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为每个滑动单元设置的提升单元，该提升单元能沿着垂直方向移动；为每个提升单元设置的探针，每个探针的顶端从所述提升单元突起；以及，用以相对滑动单元定位提升单元和相对台定位滑动单元的定位装置。通过在所述平整滑动平面上滑动滑动单元，可以沿着平行于平整滑动平面的方向调整多个滑动单元的相对位置。即使滑动单元和提升单元一起沿着平行于平整滑动平面的方向移动，所述多个提升单元的相对位置不会沿着垂直于所述平整滑动平面的方向改变。即，通过在所述台的所述平整滑动平面上滑动滑动单元以及沿着垂直于平整滑动平面的方向移动提升单元，可以分别和独立地在平行和垂直所述平整滑动平面的方向上调整为各个提升单元设置的多个探针的相对位置。因此，根据本技术，由于能够在互相垂直的z-、y-和z-方向上分别和独立地调整探针的相对位置，可以以高精度调整探针的相对位置。在根据本技术的探头中，提升单元包括沿着垂直方向相对滑动面移动的可动单元以及固定到可动单元上并和探针设置在一起的支持单元。通过将提升单元分为和探针设置在一起的支持单元和可动单元，例如，可以针对各个检测对象装置，根据装置电极的节距通过一系列薄膜制造工艺整体形成探针和支持单元，并且，可以将该可动单元标准化，以便使其可以为多种检测对象装置通用。在根据本技术的探头中，提升单元包括：和所述滑动单元整体形成-->并且其一端和所述滑动单元连接而另一端为自由端的可动单元；以及，固定到所述可动单元上并和探针设置在一起的支持单元。所述定位装置包括拧入滑动单元的螺钉，用以沿着远离滑动面延伸和靠近滑动面延伸的方向移动可动单元。和滑动单元整体形成的可动单元沿着垂直于所述滑动面的方向可动，这样，可以减小组件的数目。尤其是，将一端和所述滑动单元连接而另一端为自由端的可动单元和滑动单元整体形成，且可动单元的位置由螺钉决定，所以，可以减小组件的数目。在根据本技术的探头中，提升单元包括由滑动单元可枢转地支持的可动单元以及固定到所述可动单元且和探针设置在一起的支持单元，定位装置包括拧入滑动单元的螺钉，用以沿着远离滑动面延伸和靠近滑动面延伸的方向移动可动单元。由于可动单元由滑动单元可枢转地支持，所以可以拓宽可动单元的调整范围。在根据本技术的探头中，滑动单元包括用以沿着相对滑动面倾斜的方向引导提升单元的引导装置。由于提升单元可以沿着相对滑动面倾斜的方向相对滑动单元滑动，所以可以减小组件的数目。在根据本技术的探头中，提升单元包括：在引导装置的引导下沿着相对滑动面倾斜的方向滑动的可动单元；和探针设置在一起的支持单元；以及，用以可拆分地使支持单元和可动单元配合的配合单元。能够沿着相对滑动面倾斜的方向滑动的可动单元以及和探针设置在一起的支持单元可以制成彼此可拆分的分离组件。所以，当沿着支持单元更换探针时，无需再次调整探针相对台的位置和姿态以在更换前获得调整状态。本技术的探头还包括插入提升单元和滑动单元之间的弹性件，其中，定位装置包括拧入提升单元和滑动单元的螺钉。插入提升单元和滑动单元之间的弹性件的变形允许可动单元沿着垂直滑动面的方向移动。因此，可以在不存在游隙的情况下决定提升单元的位置。在本技术的探头中，将台固定到印刷电路板上，以便和探针电连接。由于可以在将台固定到印刷电路板之前调整探针的相对位置，因此可以标准化该印刷电路板。可以同时准备印刷电路板和装配探针，并且，还可以将标转化的印刷电路板再次和其他组件一起使用。为实现上述目的，本技术提供一种用于上述探头的装配方法，包括步骤：沿着垂直方向相对滑动面移动提升单元，以确定提升单元相对滑动单-->元的相对位置；以及，在平整的滑动平面上滑动滑动单元，以确定滑动单元相对台的位置。通过在平整滑动平面上滑动滑动单元，可以沿着平行于平整滑动平面的方向调整多个滑动单元的相对位置。即使滑动单元和提升单元一起沿着平行于平整滑动平面的方向移动，多个提升单元的相对位置不会沿着垂直于平整滑动平面的方向改变。即，通过在所述台的所述平整滑动平面上滑动滑动单元以及沿着垂直于平整滑动平面的方向移动提升单元，可以分别和独立地在平行和垂直所述平整滑动平面的方向上调整为各个提升单元设置的多个探针的相对位置。因此，根据本技术，由于能够在互相垂直的z-、y-和z-方向上分别和独立地调整探针的相对位置，可以以高精度调整探针的相对位置。为实现上述目的，本技术提供一种探针板，包括：印刷电路板；支持单元，其位置相对印刷电路板确定；由支持单元保持的探针；用来调整支持单元相对印刷电路板的位置或姿态的调整装置；以及，将探针和印刷电路板的电极电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为所述滑动单元中的每一个设置的提升单元，所述提升单元能够沿垂直方向移动；为所述提升单元中的每一个设置的探针，每个所述探针的顶端从所述提升单元突出；以及定位装置，用以相对所述滑动单元定位所述提升单元，以及相对所述台定位所述滑动单元。

【技术特征摘要】
JP 2003-4-18 114391/03;JP 2003-2-18 039710/031、一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为所述滑动单元中的每一个设置的提升单元，所述提升单元能够沿垂直方向移动；为所述提升单元中的每一个设置的探针，每个所述探针的顶端从所述提升单元突出；以及定位装置，用以相对所述滑动单元定位所述提升单元，以及相对所述台定位所述滑动单元。2、如权利要求1所述的探头，其中，所述提升单元包括可以沿着垂直方向相对所述滑动面移动的可动单元，以及固定到所述可动单元上并与所述探针设置在一起的支持单元。3、如权利要求1所述的探头，其中：所述提升单元包括可动单元和支持单元，所述可动单元和所述滑动单元整体形成，并且其一端和所述滑动单元相连，其另一端为自由端，所述支持单元固定到所述可动单元上并和所述探针设置在一起；以及所述定位装置包括拧入所述滑动单元的螺钉，所述螺钉用以沿着远离所述滑动面的方向和沿着靠近所述滑动面的方向移动所述可动单元。4、如权利要求1所述的探头，其中：所述提升单元包括可动单元和支持单元，所述可动单元由所述滑动单元可枢转地支持，所述支持单元固定到所述可动单元上并和所述探针设置在一起；以及所述定位装置包括拧入...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽田修一，土江雅也，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP[日本]