具有微电铸探针的探针座制造技术

技术编号:3759130 阅读:171 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种具有微电铸探针的探针座,其包括一本体、及一底盖,底盖固设于本体中央部位的底凹槽,中央部位贯设有多个具有上颈部的上穿孔,底盖贯设有多个具有下颈部的下穿孔。其中,每根微电铸探针分别容设于对应的上、下穿孔内,且每一微电铸探针的弯折段可提供轴向弹性变形。由于本发明专利技术多根微电铸探针为微电铸技术制成,可提高芯片测试的质量,又可缩短微电铸探针的尺寸,适用于高频的芯片测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探针座,尤指一种适用于具有微电铸探针的探针座
技术介绍
如图1所示,其显示为现有探针的剖视图,如图所示,对待测芯片95的测试方式, 是先以探针9的接触针脚93接触于探针卡96的接点961后,再以探针9的探针簇91接触 于待测芯片95的接脚951以进行待测芯片95的信号测试。 于图1中,现有的探针9是以弹簧92将探针簇91与接触针脚93串接起来,并通 过弹簧92的弹力使探针簇91与接触针脚93分别接触于待测芯片95的接脚951、与探针卡 96的接点961之间以利测试。 由于探针簇91、弹簧92、及接触针脚93是三种不同零件而加以组合,因此需要有 一套管94予以固定后组成现有的探针9。 探针9在进行测试前,由于弹簧92的弹力使探针簇91、及接触针脚93分别撑张于 套管94的两端;当探针9在进行测试时,探针簇91、及接触针脚93分别压縮弹簧92。 在理想的测试环境下,探针9于测试时的电阻值应仅有探针簇91、弹簧92、及接触 针脚93的总合。但实际的测试中,弹簧92因压縮而挠曲变形,其中,弹簧92中段的螺线因 会动态的与套管94的内管壁接触;此外,探针9也因日积月累的测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有微电铸探针的探针座,其特征在于包括:多根微电铸探针,每一微电铸探针包括一上接触端、一弯折段、及一下接触端,该弯折段连接于该上接触端与该下接触端之间,该弯折段至少包括有一曲折结构,该曲折结构提供该上接触端与该下接触端彼此轴向趋近或轴向远离的弹性变形;以及一探针座,其包括一本体、及一底盖,该本体的中央部位凹设有一底凹槽,该底凹槽内固设有该底盖,该本体的该中央部位贯设有多个上穿孔,每一上穿孔上方设有一上颈部,该底盖贯设有多个下穿孔其分别对应至该多个上穿孔,每一下穿孔下方设有一下颈部,该多根微电铸探针分别容设于相对应的该多个上穿孔、及该多个下穿孔内,每一微电铸探针的该上接触端凸伸出该上颈部之外...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵本善
申请(专利权)人:京元电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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