【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种集成光电二极管的微波探针测试装置,其特征是该装置由探针体(1)、光电转换器(6)所组成,在探针体(1)的上表面设有光纤连接器(4)、电连接器(5),光纤连接器(4)的下端通过光纤(8)和其保护管(7)与光电转换器(6)中金属腔体(22)侧面的光信号输入端(Lightin)相接,电连接器(5)通过偏置电压导线(14)和金属管(2)与光电转换器(6)中金属腔体(22)的偏置电压输入端(Vbias)相接,光电转换器(6)中金属腔体(22)的信号电流输出端(Iout)通过微型传输线与探针头(3)相接。
【技术特征摘要】
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