本实用新型专利技术公开了一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，包括工作腔室以及输气管路，所述工作腔室的内壁上开设有输气管路，所述工作腔室内侧与输气管路对接设置有连接结构，所述连接结构上设置有弹性喷淋头；本实用新型专利技术涉及硅晶片加工技术领域，该新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，采用新式的弹性喷淋头与新型的软连接式的连接结构，可以对PECVD工艺腔体内的喷淋装置进行改善，采用软连接结构可以有效提高气体喷淋头的密封性，同时避免喷淋头因机械震动以及磕碰造成泄露，影响设备的使用。影响设备的使用。影响设备的使用。
【技术实现步骤摘要】
一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置
[0001]本技术涉及硅晶片加工
，具体为一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置。
技术介绍
[0002]PECVD工艺通常用于为硅晶片镀膜，在PECVD工艺的应用过程中，气体喷淋头是重要的组成部分，现有的气体喷淋头多采用螺丝直接固定在工艺腔体的内侧壁面上，然而在应用过程中，由于螺钉的硬连接，在生产过程中喷淋头与管路的通过部分无密封，容易因为机械振动或者磕碰导致螺钉的连接部位松动，进而造成喷淋头出现泄漏，造成生产物料的损失同时造成生产环境受影响，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，解决了现有的
技术介绍
问题。
[0004]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，包括工作腔室以及输气管路，所述工作腔室的内壁上开设有输气管路，所述工作腔室内侧与输气管路对接设置有连接结构，所述连接结构上设置有弹性喷淋头；
[0005]所述连接结构包括：通槽、限位槽、连接座、装配槽以及两对连接螺钉；
[0006]所述工作腔室内壁开设有通槽，所述通槽与输气管路连通，所述通槽的端部设置有限位槽，所述限位环垫装配于限位槽内，所述连接座扣设于限位槽上，所述连接座为圆柱形结构，所述连接座内侧开设有装配槽，所述装配槽内装配有弹性喷淋头，所述连接座四角开设有两对连接孔，所述限位槽内对应设置有两对螺纹孔，两对连接螺钉贯通两对连接孔螺纹连接于两对螺纹孔内。
[0007]优选的，所述限位环垫为环形结构的软质橡胶垫，所述限位环垫上开设有与两对连接螺钉匹配的对接孔。
[0008]优选的，所述连接座的外环形壁面上套设有限位板，所述限位槽为承口形结构，所述限位板与限位槽的槽口匹配。
[0009]优选的，所述弹性喷淋头包括：喷淋管、球型块、出气喷头以及限位弹簧；
[0010]所述喷淋管嵌装于装配槽内，所述装配槽的端部开设有球型槽，所述喷淋管的端部外套设有球型块与球型槽匹配，所述喷淋管的端部设置有出气喷头，所述限位块安装于喷淋管的端部，所述喷淋管的外部套设有限位弹簧。
[0011]优选的，所述限位弹簧的两端分别抵触在限位块以及装配槽内端之间。
[0012]优选的，所述装配槽的内端为柱形空腔结构。
[0013]有益效果
[0014]本技术提供了一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置。具备以下有
益效果：该新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，采用新式的弹性喷淋头与新型的软连接式的连接结构，可以对PECVD工艺腔体内的喷淋装置进行改善，采用软连接结构可以有效提高气体喷淋头的密封性，同时避免喷淋头因机械震动以及磕碰造成泄露，影响设备的使用。
附图说明
[0015]图1为本技术所述一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置的主视结构示意图。
[0016]图2为本技术所述一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置的局部侧视结构示意图。
[0017]图3为本技术所述一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置的局部放大结构示意图。
[0018]图中：1、工作腔室；2、输气管路；3、弹性喷淋头；4、通槽；5、限位槽；6、连接座；7、装配槽；8、连接螺钉；9、限位环垫；10、限位板；301、喷淋管；302、球型块；303、出气喷头；304、限位弹簧。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器以及编码器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明。
[0021]实施例：根据说明书附图1
‑
3可知，本案为一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，包括工作腔室1以及输气管路2，工作腔室1的内壁上开设有输气管路2，工作腔室1内侧与输气管路2对接设置有连接结构，连接结构上设置有弹性喷淋头3，在具体实施过程中，工作腔室1是进行PECVD工艺的设备主体，工件放置于工作腔室1内，通过输气管路2将气体通入到连接结构内，通过连接结构上的弹性喷淋头3向工件进行喷淋；
[0022]根据说明书附图1
‑
3可知，上述连接结构包括：通槽4、限位槽5、连接座6、装配槽7以及两对连接螺钉8，其连接关系以及位置关系如下；
[0023]工作腔室1内壁开设有通槽4，通槽4与输气管路2连通，通槽4的端部设置有限位槽5，限位环垫9装配于限位槽5内，连接座6扣设于限位槽5上，连接座6为圆柱形结构，连接座6内侧开设有装配槽7，装配槽7内装配有弹性喷淋头3，连接座6四角开设有两对连接孔，限位槽5内对应设置有两对螺纹孔，两对连接螺钉8贯通两对连接孔螺纹连接于两对螺纹孔内；
[0024]在具体实施过程中，通过通槽4与输气管路2连通，限位槽5与通槽4连通，通过限位槽5上的限位环垫9起到软连接密封的目的，通过两对连接螺钉8将连接座6固定在限位槽5上，通过限位环垫9的软连接起到密封效果，装配槽7与弹性喷淋头3匹配，用于安装弹性喷
淋头3，同时提供弹性喷淋头3软连接的空间，避免弹性喷淋头3被磕碰造成损毁或者泄露，气体通入到通槽4内后，由装配槽7进入弹性喷淋头3，当弹性喷淋头3在遭受碰撞或者震动时，通过弹性喷淋头3的回正能力保证姿态回正。
[0025]作为优选方案，更进一步的，限位环垫9为环形结构的软质橡胶垫，限位环垫9上开设有与两对连接螺钉8匹配的对接孔，使限位环垫9、连接座6和限位槽5的连接紧密。
[0026]作为优选方案，更进一步的，连接座6的外环形壁面上套设有限位板10，限位槽5为承口形结构，限位板10与限位槽5的槽口匹配，起到限位作用。
[0027]作为优选方案，更进一步的，根据说明书附图1
‑
3可知，上述弹性喷淋头3包括：喷淋管301、球型块302、出气喷头303以及限位弹簧304，其连接关系以及位置关系如下；
[0028]喷淋管301嵌装于装配槽7内，装配槽7的端部开设有球型槽，喷淋管301的端部外套设有球型块302与球型槽匹配，喷淋管301的端部设置有出气喷头303，限位块安装于喷淋管301的端部，喷淋管301的外部套设有限位弹簧304；
[0029]在具体实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，包括工作腔室(1)以及输气管路(2)，所述工作腔室(1)的内壁上开设有输气管路(2)，其特征在于，所述工作腔室(1)内侧与输气管路(2)对接设置有连接结构，所述连接结构上设置有弹性喷淋头(3)；所述连接结构包括：通槽(4)、限位槽(5)、连接座(6)、装配槽(7)以及两对连接螺钉(8)；所述工作腔室(1)内壁开设有通槽(4)，所述通槽(4)与输气管路(2)连通，所述通槽(4)的端部设置有限位槽(5)，限位环垫(9)装配于所述限位槽(5)内，所述连接座(6)扣设于限位槽(5)上，所述连接座(6)为圆柱形结构，所述连接座(6)内侧开设有装配槽(7)，所述装配槽(7)内装配有弹性喷淋头(3)，所述连接座(6)四角开设有两对连接孔，所述限位槽(5)内对应设置有两对螺纹孔，两对连接螺钉(8)贯通两对连接孔螺纹连接于两对螺纹孔内。2.根据权利要求1所述的一种新型气体喷淋头与PECVD工艺腔体连接装置，其特征在于，所述限位环垫(9)为环形结构的软质橡胶垫，所述限位环垫(9)上开设有与两对连接螺钉(8)匹配的对接孔。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：张道勇，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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