柔性基板、半导体器件、摄像装置和放射线摄像系统制造方法及图纸

柔性基板，包括一端连接外部连接端子的内引线和被覆内引线的薄膜，配置在基板上方的薄膜区域比外部连接端子薄。具有基板、外部连接端子、由内引线和被覆内引线的薄膜构成的柔性基板的器件制造方法，使薄膜距外部连接端子近的尖端和基板对准；粘接薄膜和基板侧壁端部；弯曲内引线连接外部连接端子。具有外部连接端子和柔性基板的基板，柔性基板沿着基板的外部连接面和侧面配置，且外部连接面与侧面之间的棱角被倒棱。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性基板、半导体器件、摄像装置、放射线摄像装置和放射线摄像系统，特别是涉及医疗用的X射线摄像装置和工业用的非破坏装置等的柔性基板、放射线摄像装置和放射线摄像系统。另外，在本说明书中，规定X射线、α射线、β射线、γ射线等的电磁波也包括在放射线的范畴内。
技术介绍
以往，在放射线摄像装置，特别是在以医疗为目的的X射线摄像装置中，要求X射线动画的图象品位优良，而且，具有薄型大面积的X射线摄像装置。此外，不仅医疗用，工业用非破坏检查设备等也要求薄型且便宜的大面积X射线摄像装置。作为这样的X射线摄像装置，例如有使光纤板的厚度具有台阶地使得CCD传感器的非受光部分不产生干涉那样大面积化的X射线摄像装置等。例如，图14示出了以往人们所熟知的X射线摄像装置的概略性的剖面图。图14示出了由使X射线变换成可见光的闪烁体等构成的荧光体3、把用荧光体3进行变换后的可见光导向摄像元件1一侧的光纤等的光纤板2、和把由光纤板2传送过来的可见光变换成电信号的摄像元件1(基板)。该X射线摄像装置，虽然未画出来，但是由于在相邻的摄像元件1间设置驱动各个摄像元件1并控制来自各个摄像元件1的电信号的读出的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板，包括一端连接于基板上的外部连接端子的内引线和把上述内引线被覆起来的薄膜，其特征在于：在上述薄膜之内，配置在上述基板上方的薄膜区域比上述外部连接端子的厚度薄。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：浜本修，佐藤浩司，梶原賢治，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]