用于制造电路板的方法技术

技术编号:3722822 阅读:154 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于制造电路板的方法,包括以下步骤:将金属箔层可剥离地叠置于支承基板的表面;通过积层法在该金属箔层上形成叠层体,该叠层体包括多个互连图案,所述多个互连图案之间设有绝缘层,所述多个互连图案彼此电连接;将该金属箔层与该支承基板分开,以将该叠层体剥离;以及通过光刻法蚀刻该金属箔层,以形成预定互连图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。特别是,本专利技术涉及一种以低成本制造电路板的方法。
技术介绍
图10和图11均为已知电路板(参见日本特开No.2004-235323号公报)的实例的制造过程图。在图10A中,支承基板10包括敷铜箔的叠层件,其中在树脂板10a的正面和背面结合有铜箔11。利用粘合层40将假金属层(dummy metal layers)41结合至支承基板10的两个表面上。利用粘合层40在假金属层41的周边处将大于所述假金属层41的双层金属叠层件43结合至支承基板10的所述表面上,以覆盖所述假金属层41(参见图10B)。所述双层金属叠层件43各自均包括铜层42以及由镍、钛或铬构成的金属层42a,该金属层42a并不被用于铜的蚀刻溶液蚀刻,金属层42a设置于铜层42上。如图10C所示,通过积层法在各双层金属叠层件43上形成叠层体50,在该叠层体50中,多个互连图案44经由设置于其间的绝缘层46而叠层,并且利用通路(vias)48而彼此电连接。如图10D所示,在各假金属层41的周边的内侧位置处切割所述叠层体50和支承基板10,以将各假金属层41与相应的双层金属叠层件43分开,从而剥离(d本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造电路板的方法,包括以下步骤:    将金属箔层可剥离地叠置于支承基板的表面上;    通过积层法在该金属箔层上形成叠层体,该叠层体包括多个互连图案,所述多个互连图案之间设有绝缘层,所述多个互连图案彼此电连接;    将该金属箔层与该支承基板分开,以将该叠层体剥离;以及    通过光刻法蚀刻该金属箔层,以形成预定互连图案。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:高野宪治柴田宗量荒井和也金井淳一杉本薫
申请(专利权)人:富士通株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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