本实用新型专利技术提供一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，属于硅片晶圆封装技术领域，解决传统的封装装置无法对硅片晶圆到保护封装结构的作用和装置使用时平稳性差，易出现偏差的问题，包括底座，底座内安装有垫板，垫板上安装有支架，支架的上端固定有混合筒；过滤桶，过滤桶上的进液口通过导管与加热器连接，过滤桶上设有出液口，出液口上连接有导管，导管上安装有三组喷头；本实用新型专利技术通过喷头将混合后的混合胶体喷到硅片晶圆的背面，胶层能够防止硅片晶圆的背面出现划伤和碰撞缺损的现象，起保护作用；在隔板转动时，转动板下端的沟槽结构与滚轮之间滚动摩擦，能够提高隔板转动时的平稳性，防止隔板倾斜，避免喷胶量不均匀。避免喷胶量不均匀。避免喷胶量不均匀。
【技术实现步骤摘要】
一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置
[0001]本技术属于硅片晶圆封装
，更具体地说，特别涉及一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置。
技术介绍
[0002]晶圆级芯片封装WLP和平板级芯片封装PLP，具有高产出、密集引脚、可重新布线(RDL)外扩引脚、小型化、薄型化、可靠性高等优点，芯片含有线路的一面，称为正面，通过重新布线(RDL)、植球(Bumping)等工艺实现连接和保护的功能；所对应的不含有线路称为背面，工业使用中一般会在背面进行激光打码。
[0003]基于上述，现有的硅片晶圆的背面易出现划伤和碰撞缺损的现象，现有的封装装置无法起到保护封装结构的作用，并且现有的封装装置在在使用时平稳性差，易造成封装偏差。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，以解决传统的封装装置无法对硅片晶圆到保护封装结构的作用和装置使用时平稳性差，易出现偏差的问题。
[0005]本技术一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，其特征在于：包括底座，底座内安装有垫板，垫板上安装有支架，支架的下端设有螺纹孔，支架螺栓安装在垫板上，支架的上端固定有混合筒，混合筒的上端安装有进液管和进料管，并且混合筒的前端轴接有密封盖，密封盖通过螺栓锁紧在混合筒上，混合筒的后端安装有加压管和出液管，加压管上安装有控压阀，出液管上连接有导管，导管与控制阀连接，控制阀的前端连接有加热器，加热器的下端安装有支撑板，支撑板螺栓安装在底座上；过滤桶，过滤桶的下端固定有支撑架，支撑架螺栓安装在底座上的垫板上，过滤桶上的进液口通过导管与加热器连接，过滤桶上设有出液口，出液口上连接有导管，导管上安装有三组喷头，并且导管上安装有流量表。
[0007]进一步的，所述底座上螺栓安装有底板，底板上设有圆筒结构，圆筒结构内安装有轴承，圆筒的上端安装有转动板，转动板的下端安装在圆筒结构内的轴承上，转动板的底面上设有沟槽结构，转动板的上端固定有隔板。
[0008]进一步的，所述底板上螺栓安装有四组固定柱，固定柱的上端安装有滚轮，滚轮的上端与转动板下端的沟槽结构接触。
[0009]进一步的，所述隔板上设有通孔结构，并且隔板上固定有轴接筒，轴接筒上设有螺纹孔，轴接筒内轴接有杆体，杆体为L型结构，并且杆体上固定有挡板，隔板上还安装有六组固定件。
[0010]进一步的，所述固定件包括：固定板、滑块、压板和转轮；所述固定板螺栓安装在隔
板上，固定板上设有螺纹孔，螺纹孔上螺纹拧接有转动螺柱，转动螺柱上转动连接有滑块，滑块上设有倾斜面，压板轴接在固定板上，并且压板上端安装有转轮，转轮的下端与滑块的倾斜面接触。
[0011]进一步的，所述加热器与过滤桶连接的导管上安装有旁路管，旁路管上安装有测温器，并且旁路管的上下两端安装有阀体。
[0012]进一步的，所述过滤桶的下端设有排污管，排污管上安装有排放阀，并且过滤桶内部安装有滤芯，过滤桶的前端螺栓安装有密封板，密封板上固定有把手。
[0013]本技术至少包括以下有益效果：
[0014]1、本技术在使用前将硅片晶圆通过固定件安装在隔板上，将水与混合料加入到混合筒内进行混合后，通过加压管向混合筒内部加压，使内部的混合液经过出液管进入到加热器内，加热后的混合液经过过滤桶进行过滤，最后经过喷头喷出到隔板上的硅片晶圆上，实现对硅片晶圆背面的喷胶，胶层能够防止硅片晶圆的背面出现划伤和碰撞缺损的现象，起保护作用，并且加热器与过滤桶连接的导管上安装有旁路管，旁路管上安装有测温器，通过测温器能够检测混合液的温度，防止混合液温度过高损坏硅片晶圆。
[0015]2、本技术的底板上设有四组固定柱，固定柱上安装有滚轮，在隔板转动时，转动板下端的沟槽结构与滚轮之间滚动摩擦，能够提高隔板转动时的平稳性，从而避免隔板在转动时出现倾斜的情况，避免喷胶过程中出现误差导致喷胶量不均匀。
附图说明
[0016]图1是本技术前端的结构示意图。
[0017]图2是本技术后端的结构示意图。
[0018]图3是本技术的图2中A处的放大结构示意图。
[0019]图4是本技术的图1中B处的放大结构示意图。
[0020]图5是本技术过滤桶的拆解结构示意图。
[0021]图6是本技术的底板底部的结构示意图。
[0022]图7是本技术的图6中C处的放大结构示意图。
[0023]图8是本技术的隔板上端的结构示意图。
[0024]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0025]1、底座；101、垫板；2、支架；3、混合筒；301、进液管；302、进料管；303、密封盖；304、加压管；3041、控压阀；305、出液管；4、控制阀；5、加热器；6、旁路管；601、测温器；7、过滤桶；701、支撑架；702、密封板；703、出液口；704、排污管；705、滤芯；8、喷头；9、底板；901、固定柱；902、滚轮；903、转动板；904、隔板；9041、轴接筒；9042、杆体；9043、挡板；9044、固定件；90441、固定板；90442、滑块；90443、压板；90444、转轮。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0027]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、
“
中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]实施例：
[0030]如附图1至附图8所示：
[0031]本技术提供一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，包括底座1，底座1内安装有垫板101，垫板101上安装有支架2，支架2的下端设有螺纹孔，支架2螺栓安装在垫板101上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，其特征在于：包括底座(1)，底座(1)内安装有垫板(101)，垫板(101)上安装有支架(2)，支架(2)的下端设有螺纹孔，支架(2)螺栓安装在垫板(101)上，支架(2)的上端固定有混合筒(3)，混合筒(3)的上端安装有进液管(301)和进料管(302)，并且混合筒(3)的前端轴接有密封盖(303)，密封盖(303)通过螺栓锁紧在混合筒(3)上，混合筒(3)的后端安装有加压管(304)和出液管(305)，加压管(304)上安装有控压阀(3041)，出液管(305)上连接有导管，导管与控制阀(4)连接，控制阀(4)的前端连接有加热器(5)，加热器(5)的下端安装有支撑板，支撑板螺栓安装在底座(1)上；过滤桶(7)，过滤桶(7)的下端固定有支撑架(701)，支撑架(701)螺栓安装在底座(1)上的垫板(101)上，过滤桶(7)上的进液口通过导管与加热器(5)连接，过滤桶(7)上设有出液口(703)，出液口(703)上连接有导管，导管上安装有三组喷头(8)，并且导管上安装有流量表。2.如权利要求1所述一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，其特征在于，所述底座(1)上螺栓安装有底板(9)，底板(9)上设有圆筒结构，圆筒结构内安装有轴承，圆筒的上端安装有转动板(903)，转动板(903)的下端安装在圆筒结构内的轴承上，转动板(903)的底面上设有沟槽结构，转动板(903)的上端固定有隔板(904)。3.如权利要求2所述一种嵌入式硅片晶圆支撑扇出封装装置，其特征在于，所述底板(9)上螺栓安装有四组固定柱(901)，固定柱(901)的上端安装有滚轮(902)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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