基于晶圆片倒角的自动进料定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，涉及半导体加工技术领域，包括联动齿条，联动齿条底端固定连接有固定座，固定座底部固定连接有环架，环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬，通过控制真空发生器停止工作后，控制电动推杆B伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B伸缩部带动真空吸盘垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器，可以使真空吸盘对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机反向转动使两组环架左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置位置进行限定控制，解决了现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。圆片运输放置的位置进行限定的问题。圆片运输放置的位置进行限定的问题。

【技术实现步骤摘要】
基于晶圆片倒角的自动进料定位装置


[0001]本技术属于晶圆加工
，更具体地说，特别涉及基于晶圆片倒角的自动进料定位装置。

技术介绍

[0002]硅片倒角工艺是用具有特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等，对硅片倒角可使硅片边缘获得平滑的半径周线，在硅片边缘的裂痕和小裂缝会在硅片上产生机械应力并会产生位错，尤其是在硅片制备的高温过程中，小裂缝会在生产过程中成为有害沾污物的聚集地并产生颗粒脱落，平滑的边缘半径可以将这些影响降到最小，现有装置在对晶圆片倒角运输时，不便于对晶圆片固定位置进行限定，不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定，不便于多组晶圆片加工时进行往复运输堆叠。
[0003]基于上述，现需要一种基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，通过对晶圆片中心位置的固定，以此限定晶圆片放置位置。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，以解决现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。
[0005]本技术基于晶圆片倒角的自动进料定位装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，包括往复丝杠；所述往复丝杠丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A；所述电动推杆A伸缩部底端固定连接有连接台；所述连接台底部固定连接有真空发生器；所述真空发生器底部固定连接有连接管；所述连接台底部固定连接有电动推杆B，电动推杆B伸缩部底端固定连接有支撑管，连接管位于支撑管内侧，连接管底端固定连接有真空吸盘，真空吸盘顶部与支撑管底端固定连接。
[0007]进一步的，所述连接台底端固定连接有固定架，固定架底端固定连接有固定仓，固定仓数量设置为二组。
[0008]进一步的，所述固定仓底部垂直贯穿有底滑槽，底滑槽数量设置为四组。
[0009]进一步的，所述固定仓内部左右两侧通过转动连接设置有侧支撑轮，固定仓内侧通过转动连接设置有联动齿轮。
[0010]进一步的，所述联动齿轮顶部通过同轴连接设置有蜗轮，蜗轮位于固定仓顶部，固定仓顶部通过转动连接设置有蜗杆，蜗杆与蜗轮相啮合，两组固定仓顶部的两组蜗杆同轴连接，固定仓顶部固定连接有伺服电机，伺服电机转轴与蜗杆同轴连接。
[0011]进一步的，所述固定仓内侧通过滑动连接设置有联动齿条，联动齿条滑动连接于底滑槽内侧，联动齿条数量设置为四组，联动齿条内侧与联动齿轮相啮合。
[0012]进一步的，所述联动齿条底端固定连接有固定座，固定座底部固定连接有环架，环
架底部开设有凹槽，环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬。
[0013]本技术至少包括以下有益效果：
[0014]1、本技术通过设置环架，通过启动伺服电机，可以使伺服电机，可以使其转轴带动与其同轴的两组固定仓顶部的蜗杆进行转动，可以使蜗杆带动与其啮合的蜗轮进行转动，可以使蜗轮带动其底端同轴的联动齿轮进行转动，可以使联动齿轮带动固定仓内侧的两组联动齿条进行同步相反方向的平移，通过联动齿条侧端底部的固定座进行反方向平移，可以使固定座底部的两组环架进行反方向平移，可以使环架对吸附在真空吸盘底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过与真空吸盘配合，可以提高晶圆片运输时的稳定性。
[0015]2、本技术通过设置真空吸盘与环架配合，可以使环架对吸附在真空吸盘底部的晶圆片边缘进行夹持固定，通过控制真空发生器停止工作后，控制电动推杆B伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B伸缩部带动真空吸盘垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器，可以使真空吸盘对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机反向转动使两组环架左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置的位置进行限定控制。
[0016]3、本技术通过设置往复丝杠，通过控制往复丝杠，可以使往复丝杠带动滚珠螺母座进行平行滑动，通过控制电动推杆A运转，可以使电动推杆A水平滑动至晶圆片正上方，通过控制电动推杆A运转，可以使电动推杆A伸缩部带动其底端的连接台垂直向下平移，可以使连接台底部的电动推杆B向下平移，可以使电动推杆A伸缩部底端的支撑管底部的真空吸盘向下平移至晶圆片顶部，通过启动真空发生器，可以通过连接管对真空吸盘底部形成负压区域，可以使真空吸盘对晶圆片顶面进行负压吸附，通过往复丝杠与两组电动推杆配合，可以对多组晶圆片加工时进行往复运输堆叠。
附图说明
[0017]图1是本技术整体的仰视立体结构示意图。
[0018]图2是本技术图1中A的局部放大示意图。
[0019]图3是本技术环架的立体拆解结构示意图。
[0020]图4是本技术固定仓的剖面立体结构示意图。
[0021]图5是本技术整体的俯视的立体结构示意图。
[0022]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0023]1、往复丝杠；
[0024]2、电动推杆A；
[0025]3、连接台；
[0026]301、真空发生器；3011、连接管；3012、真空吸盘；302、固定架；
[0027]4、电动推杆B；
[0028]401、支撑管；
[0029]5、固定仓；
[0030]501、底滑槽；502、侧支撑轮；503、联动齿轮；5031、蜗轮；5032、蜗杆；504、联动
[0031]齿条；505、固定座；506、伺服电机；
[0032]6、环架；
[0033]601、橡胶内衬。
具体实施方式
[0034]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0035]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]实施例：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于：包括往复丝杠(1)；所述往复丝杠(1)丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A(2)；所述电动推杆A(2)伸缩部底端固定连接有连接台(3)；所述连接台(3)底部固定连接有真空发生器(301)；所述真空发生器(301)底部固定连接有连接管(3011)；所述连接台(3)底部固定连接有电动推杆B(4)，电动推杆B(4)伸缩部底端固定连接有支撑管(401)，连接管(3011)位于支撑管(401)内侧，连接管(3011)底端固定连接有真空吸盘(3012)，真空吸盘(3012)顶部与支撑管(401)底端固定连接。2.如权利要求1所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述连接台(3)底端固定连接有固定架(302)，固定架(302)底端固定连接有固定仓(5)，固定仓(5)数量设置为二组。3.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)底部垂直贯穿有底滑槽(501)，底滑槽(501)数量设置为四组。4.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)内部左右两...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：