基于晶圆片倒角的自动进料定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，涉及半导体加工技术领域，包括联动齿条，联动齿条底端固定连接有固定座，固定座底部固定连接有环架，环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬，通过控制真空发生器停止工作后，控制电动推杆B伸缩部向上收缩后，再控制电动推杆B伸缩部带动真空吸盘垂直向下平移接触晶圆片顶面后，再次启动真空发生器，可以使真空吸盘对晶圆片顶面圆心处进行定位吸附，对晶圆片进行放置后依次控制伺服电机反向转动使两组环架左右两侧解除夹持后，解除真空吸盘对晶圆顶部圆心处的吸附，可以使晶圆片放置位置进行限定控制，解决了现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。圆片运输放置的位置进行限定的问题。圆片运输放置的位置进行限定的问题。

【技术实现步骤摘要】
基于晶圆片倒角的自动进料定位装置


[0001]本技术属于晶圆加工
，更具体地说，特别涉及基于晶圆片倒角的自动进料定位装置。

技术介绍

[0002]硅片倒角工艺是用具有特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等，对硅片倒角可使硅片边缘获得平滑的半径周线，在硅片边缘的裂痕和小裂缝会在硅片上产生机械应力并会产生位错，尤其是在硅片制备的高温过程中，小裂缝会在生产过程中成为有害沾污物的聚集地并产生颗粒脱落，平滑的边缘半径可以将这些影响降到最小，现有装置在对晶圆片倒角运输时，不便于对晶圆片固定位置进行限定，不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定，不便于多组晶圆片加工时进行往复运输堆叠。
[0003]基于上述，现需要一种基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，通过对晶圆片中心位置的固定，以此限定晶圆片放置位置。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，以解决现有装置不便于对多组晶圆片运输放置的位置进行限定的问题。
[0005]本技术基于晶圆片倒角的自动进料定位装置的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于：包括往复丝杠(1)；所述往复丝杠(1)丝杆内侧通过滑动连接设置有滚珠螺母座，滚珠螺母座底部固定连接有电动推杆A(2)；所述电动推杆A(2)伸缩部底端固定连接有连接台(3)；所述连接台(3)底部固定连接有真空发生器(301)；所述真空发生器(301)底部固定连接有连接管(3011)；所述连接台(3)底部固定连接有电动推杆B(4)，电动推杆B(4)伸缩部底端固定连接有支撑管(401)，连接管(3011)位于支撑管(401)内侧，连接管(3011)底端固定连接有真空吸盘(3012)，真空吸盘(3012)顶部与支撑管(401)底端固定连接。2.如权利要求1所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述连接台(3)底端固定连接有固定架(302)，固定架(302)底端固定连接有固定仓(5)，固定仓(5)数量设置为二组。3.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)底部垂直贯穿有底滑槽(501)，底滑槽(501)数量设置为四组。4.如权利要求2所述基于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于，所述固定仓(5)内部左右两...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：