用于晶圆片胶边去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供用于晶圆片胶边去除装置，涉及工件加工装置技术领域，以解决目前晶圆片的胶边去除多采用人工手动刮去的方式，人工手动刮去其效率较低，劳动强度较大的问题；包括承载支座；所述承载支座顶部一端一体式设置有承载框柱，同时承载框柱一侧设置有驱动收集结构，且承载框柱一侧贯穿开设有预设滑槽；承载轴座，所述承载轴座安装于承载框柱一端底部；升降压柱，所述升降压柱安装于承载轴座底部；安装框柱，所述安装框柱套设于升降压柱底端外侧；驱动电机带动驱动接轴转动，进而带动传动齿座与驱动齿座转动调节，从而带动安装支座与安装框柱持续转动，使贴合于晶圆片侧面的清理刀框进行刮动清理。刀框进行刮动清理。刀框进行刮动清理。

【技术实现步骤摘要】
用于晶圆片胶边去除装置


[0001]本技术属于工件加工装置
，更具体地说，特别涉及用于晶圆片胶边去除装置。

技术介绍

[0002]硅属于半导体材料，其自身的导电性并不是很好，然而，可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前，必须将硅转换为晶圆片。
[0003]基于上述，晶圆片在生产完成后会产生多余的胶边，目前晶圆片的胶边去除多采用人工手动刮去的方式，人工手动刮去其效率较低，劳动强度较大。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供用于晶圆片胶边去除装置，以解决目前晶圆片的胶边去除多采用人工手动刮去的方式，人工手动刮去其效率较低，劳动强度较大的问题。
[0005]本技术用于晶圆片胶边去除装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]用于晶圆片胶边去除装置，包括承载支座；
[0007]所述承载支座顶部一端一体式设置有承载框柱，承载框柱主体截面形状为倒置的“L”形结构，同时承载框柱一侧设置有驱动收集结构，且承载框柱一侧贯穿开设有预设滑槽；承载轴座，所述承载轴座安装于承载框柱一端底部；升降压柱，所述升降压柱安装于承载轴座底部；安装框柱，所述安装框柱套设于升降压柱底端外侧。
[0008]进一步的，所述承载支座还包括有：
[0009]安装卡槽，安装卡槽开设于承载支座一侧；承载支板，承载支板一体式设置于安装卡槽一侧立面；定位载座，定位载座安装于承载支座顶部；置物载座，置物载座安装于定位载座顶部。
[0010]进一步的，所述驱动收集结构包括有：
[0011]滑动支柱，滑动支柱安装于预设滑槽内侧；升降螺柱，升降螺柱转动安装于预设滑槽内侧；调节载块，调节载块套设于滑动支柱、升降螺柱外侧；遮挡支框，遮挡支框安装于调节载块一端；收集支框，收集支框设置于遮挡支框底部，同时收集支框安装于安装卡槽内侧；安装轴块，安装轴块安装于承载框柱一端顶部；传动支轴，传动支轴转动安装于安装轴块内侧，同时传动支轴与升降螺柱传动连接；升降电机，升降电机安装于承载框柱一侧，同时升降电机与传动支轴传动连接。
[0012]进一步的，所述承载轴座包括有：
[0013]驱动齿座，驱动齿座套设于承载轴座一端外侧；安装支座，安装支座套设于承载轴座另一端外侧；传动齿座，传动齿座转动安装于承载框柱底部一端，同时传动齿座与驱动齿座相啮合；驱动接轴，驱动接轴安装于传动齿座末端；驱动电机，驱动电机安装于承载框柱
顶部，同时驱动电机与驱动接轴传动连接。
[0014]进一步的，所述升降压柱包括有：
[0015]装配压柱，装配压柱安装于升降压柱升降柱末端；装配支凸，装配支凸安装于装配压柱两侧；承载滑柱，承载滑柱安装于装配支凸底部；定位螺块，定位螺块套设于承载滑柱一端外侧；缓冲弹簧，缓冲弹簧套设于承载滑柱外侧；承载滑框，承载滑框安装于装配压柱两侧；定位滑筒，定位滑筒安装于承载滑框内侧；安装滑槽，安装滑槽开设于装配压柱内侧；定位压座，定位压座安装于安装滑槽内侧。
[0016]进一步的，所述安装框柱包括有：
[0017]承载滑槽，承载滑槽开设于安装框柱一侧；调节载轴，调节载轴转动安装于承载滑槽内侧；传动接轴，传动接轴转动安装于承载滑槽内侧，同时传动接轴与调节载轴传动连接；驱动握轴，驱动握轴转动安装于承载滑槽内侧，同时驱动握轴与传动接轴传动连接；调节支块，调节支块套设于调节载轴外侧；调位支轴，调位支轴转动安装于调节支块内侧；导向滑柱，导向滑柱安装于调节支块内侧；清理刀框，清理刀框安装于调位支轴、导向滑柱末端；定位输框，定位输框安装于清理刀框一侧。
[0018]本技术至少包括以下有益效果：
[0019]1、本技术通过置物载座能够对晶圆片进行定位承载，收集支框安装于安装卡槽内侧，同时升降电机能够带动传动支轴、升降螺柱进行转动；从而能够对调节载块进行位置调节，进而对遮挡支框进行位置调节，使遮挡支框与收集支框进行对接，从而使遮挡支框对清理的胶边进行阻隔，同时收集支框对胶边进行收集承载。
[0020]2、本技术通过升降压柱能够带动装配压柱进行下压，进而带动定位压座进行下压，同时缓冲弹簧能够对定位滑筒进行缓冲支撑，从而对定位压座进行缓冲承载，从而使定位滑筒对需要清理的晶圆片进行下压定位，且转动定位螺块能够对缓冲弹簧推动调节，从而根据需要对定位滑筒的缓冲支撑力进行调节，从而防止定位滑筒对需要清理的晶圆片过度下压，导致晶圆片损坏，转动驱动握轴能够带动传动接轴、调节载轴转动，从而对调节支块进行高度调节，同时转动调位支轴能够带动导向滑柱对清理刀框进行位置调节，从而使清理刀框贴合于晶圆片侧面，同时驱动电机能够带动驱动接轴转动，进而带动传动齿座与驱动齿座转动调节，从而带动安装支座与安装框柱持续转动，使贴合于晶圆片侧面的清理刀框进行刮动清理，定位输框对胶边进行导向输送，从而快速稳定对不同尺寸的晶圆片进行胶边清理。
附图说明
[0021]图1是本技术的装置装配主视结构示意图；
[0022]图2是本技术的装置装配仰视结构示意图；
[0023]图3是本技术的装置展开主视结构示意图；
[0024]图4是本技术的装置剖面主视结构示意图；
[0025]图5是本技术的装置剖面仰视结构示意图；
[0026]图6是本技术的升降压柱装配结构示意图。
[0027]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0028]1、承载支座；
[0029]101、安装卡槽；102、承载支板；103、定位载座；104、置物载座；105、承载框柱；106、滑动支柱；1061、升降螺柱；1062、调节载块；1063、遮挡支框；1064、收集支框；1065、安装轴块；1066、传动支轴；1067、升降电机；107、预设滑槽；
[0030]2、承载轴座；
[0031]201、驱动齿座；202、安装支座；203、传动齿座；204、驱动接轴；205、驱动电机；
[0032]3、升降压柱；
[0033]301、装配压柱；302、装配支凸；303、承载滑柱；304、定位螺块；305、缓冲弹簧；306、承载滑框；307、定位滑筒；308、安装滑槽；309、定位压座；
[0034]4、安装框柱；
[0035]401、承载滑槽；402、调节载轴；403、传动接轴；404、驱动握轴；405、调节支块；406、调位支轴；407、导向滑柱；408、清理刀框；409、定位输框。
具体实施方式
[0036]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0037]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于晶圆片胶边去除装置，其特征在于：包括承载支座(1)；所述承载支座(1)顶部一端一体式设置有承载框柱(105)，承载框柱(105)主体截面形状为倒置的“L”形结构，同时承载框柱(105)一侧设置有驱动收集结构，且承载框柱(105)一侧贯穿开设有预设滑槽(107)；承载轴座(2)，所述承载轴座(2)安装于承载框柱(105)一端底部；升降压柱(3)，所述升降压柱(3)安装于承载轴座(2)底部；安装框柱(4)，所述安装框柱(4)套设于升降压柱(3)底端外侧。2.如权利要求1所述用于晶圆片胶边去除装置，其特征在于，所述承载支座(1)还包括有：安装卡槽(101)，安装卡槽(101)开设于承载支座(1)一侧；承载支板(102)，承载支板(102)一体式设置于安装卡槽(101)一侧立面；定位载座(103)，定位载座(103)安装于承载支座(1)顶部；置物载座(104)，置物载座(104)安装于定位载座(103)顶部。3.如权利要求1所述用于晶圆片胶边去除装置，其特征在于，所述驱动收集结构包括有：滑动支柱(106)，滑动支柱(106)安装于预设滑槽(107)内侧；升降螺柱(1061)，升降螺柱(1061)转动安装于预设滑槽(107)内侧；调节载块(1062)，调节载块(1062)套设于滑动支柱(106)、升降螺柱(1061)外侧；遮挡支框(1063)，遮挡支框(1063)安装于调节载块(1062)一端；收集支框(1064)，收集支框(1064)设置于遮挡支框(1063)底部，同时收集支框(1064)安装于安装卡槽(101)内侧；安装轴块(1065)，安装轴块(1065)安装于承载框柱(105)一端顶部；传动支轴(1066)，传动支轴(1066)转动安装于安装轴块(1065)内侧，同时传动支轴(1066)与升降螺柱(1061)传动连接；升降电机(1067)，升降电机(1067)安装于承载框柱(105)一侧，同时升降电机(1067)与传动支轴(1066)传动连接。4.如权利要求1所述用于晶圆片胶边去除装置，其特征在于，所述承载轴座(2)包括有：驱动齿座(201)，驱动齿座(201)套设于承载轴座(2)一端外侧；安装支座(202)，安装支座(202)套设于承载轴座(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：