基于晶圆片高温烘烤治具连接结构制造技术

本实用新型专利技术提供基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，属于高温治具技术领域，以解决现有的晶圆片插入高温治具时，可能会划伤晶圆片，在圆晶片进行高温烘烤时，可能会发生形变，缺少散热设备，晶圆片的筛选，一般由人工进行筛选，效率较低的问题，包括高温箱体；放置滑槽，所述放置滑槽开槽设置在高温箱体的前方；散热滑槽，所述散热滑槽开槽设置在高温箱体的上方；散热箱，所述散热箱滑动安装在散热滑槽的上方；放置机构，所述放置机构滑动连接在放置滑槽的前方；夹紧机构，所述夹紧机构设置在高温箱体的内部，通过夹紧机构和筛选槽的设置，避免了晶圆片划伤，增加了筛选功能，通过散热箱的设置，增加了功能，通过放置机构的设置，加快了效率。快了效率。快了效率。

【技术实现步骤摘要】
基于晶圆片高温烘烤治具连接结构


[0001]本技术属于高温治具
，更具体地说，特别涉及基于晶圆片高温烘烤治具连接结构。

技术介绍

[0002]晶圆片一般指硅晶片，元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素，在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素，在晶圆片的加工工程中，经常需要用到高温烘烤。
[0003]基于上述，现有的晶圆片在插入高温治具时，可能会由于工人操作不当，对晶圆片造成划伤，而且在圆晶片进行高温烘烤时，可能会在热胀冷缩的作用下，发生形变，导致晶圆片废弃，造成浪费，而且一般高温治具缺少散热设备，晶圆片的筛选，一般由人工进行筛选，效率较低。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，以解决现有的晶圆片在插入高温治具时，可能会由于工人操作不当，对晶圆片造成划伤，而且在圆晶片进行高温烘烤时，可能会在热胀冷缩的作用下，发生形变，导致晶圆片废弃，造成浪费，而且一般高温治具缺少散热设备，晶圆片的筛选，一般由人工进行筛选，效率较低的问题。
[0006]本技术基于晶圆片高温烘烤治具连接结构的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0007]基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，包括高温箱体，所述高温箱体为上下开口结构；
[0008]放置滑槽，所述放置滑槽开槽设置在高温箱体的前方；
[0009]散热滑槽，所述散热滑槽开槽设置在高温箱体的上方；
[0010]散热箱，所述散热箱滑动安装在散热滑槽的上方；
[0011]放置机构，所述放置机构滑动连接在放置滑槽的前方；
[0012]夹紧机构，所述夹紧机构设置有多组，夹紧机构分别设置在高温箱体的内部。
[0013]进一步的，所述高温箱体还包括有：
[0014]夹紧滑槽，夹紧滑槽共设置两组，夹紧滑槽分别开槽设置在高温箱体的前后方。
[0015]进一步的，其中，所述散热箱还包括有：
[0016]散热扇，散热扇固定连接在散热箱的上方。
[0017]进一步的，所述夹紧机构还包括有：
[0018]夹紧滑杆，夹紧滑杆共设置两组，夹紧滑杆分别与夹紧滑槽滑动连接，夹紧滑杆一端分别设置有两个平面结构；
[0019]限位块，限位块共设置两组，限位块分别与夹紧滑杆固定连接，其中一组限位块设置为杠铃状；
[0020]放置板，放置板共设置两组，放置板分别与夹紧滑杆固定连接，放置板分别设置有放置槽；
[0021]弹性块，弹性块共设置两组，弹性块分别固定连接在两组放置板的中间上下方。
[0022]进一步的，所述夹紧机构还包括有：
[0023]筛选槽，筛选槽共设置两组，筛选槽分别开槽设置在放置板的下方。
[0024]进一步的，所述放置机构还包括有：
[0025]放置卡箱，放置卡箱与放置滑槽滑动连接；
[0026]把手，把手固定连接在放置卡箱的前方；
[0027]放置卡槽，放置卡槽开槽设置在放置卡箱的前方。
[0028]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0029]本技术通过散热箱的设置，增加了高温治具的散热功能，加快了晶圆片的冷却，使晶圆片可以更快进入下一道工序，提高了加工效率。
[0030]本技术通过夹紧机构的设置，避免了在晶圆片插入高温治具时，晶圆片被划伤，减少了资源的浪费，降低了成本。
[0031]本技术通过弹性块的设置，避免了晶圆片在高温烘烤过程中可能会在热胀冷缩的作用下发生形变，导致晶圆片废弃造成浪费，降低了成本，提高了晶圆片的生产质量。
[0032]本技术通过筛选槽的设置，增加了晶圆片的筛选功能，对在高温烘烤完成后的晶圆片进行初步筛选，减少了人工筛选的负担，加快了工作效率。
[0033]本技术通过放置机构的设置，使晶圆片在高温治具取出放到常温花篮的操作更加简便，加快了速度，提高了效率。
附图说明
[0034]图1是本技术的整体结构示意图。
[0035]图2是本技术的筛选槽结构示意图。
[0036]图3是本技术的夹紧机构位置示意图。
[0037]图4是本技术的放置机构结构示意图。
[0038]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0039]1、高温箱体；101、夹紧滑槽；102、放置滑槽；103、散热滑槽；2、散热箱；201、散热扇；3、放置机构；301、把手；302、放置卡槽；303、放置卡箱；4、夹紧机构；401、限位块；402、夹紧滑杆；403、放置板；404、弹性块；405、筛选槽。
具体实施方式
[0040]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0041]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语
“
上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0042]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0043]实施例：
[0044]如附图1至附图4所示：
[0045]本技术提供基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，包括高温箱体1，高温箱体1为上下开口结构；
[0046]放置滑槽102，放置滑槽102开槽设置在高温箱体1的前方；
[0047]散热滑槽103，散热滑槽103开槽设置在高温箱体1的上方；
[0048]散热箱2，散热箱2滑动安装在散热滑槽103的上方；
[0049]放置机构3，放置机构3滑动连接在放置滑槽102的前方；
[0050]夹紧机构4，夹紧机构4设置有多组，夹紧机构4分别设置在高温箱体1的内部。
[0051]其中，高温箱体1还包括有：
[0052]夹紧滑槽101，夹紧滑槽101共设置两组，夹紧滑槽101分别开槽设置在高温箱体1的前后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，其特征在于：该基于晶圆片高温烘烤治具连接结构包括高温箱体(1)，所述高温箱体(1)为上下开口结构；放置滑槽(102)，所述放置滑槽(102)开槽设置在高温箱体(1)的前方；散热滑槽(103)，所述散热滑槽(103)开槽设置在高温箱体(1)的上方；散热箱(2)，所述散热箱(2)滑动安装在散热滑槽(103)的上方；放置机构(3)，所述放置机构(3)滑动连接在放置滑槽(102)的前方；夹紧机构(4)，所述夹紧机构(4)设置有多组，夹紧机构(4)分别设置在高温箱体(1)的内部。2.如权利要求1所述基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，其特征在于：所述高温箱体(1)还包括有：夹紧滑槽(101)，夹紧滑槽(101)共设置两组，夹紧滑槽(101)分别开槽设置在高温箱体(1)的前后方。3.如权利要求1所述基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，其特征在于：所述散热箱(2)还包括有：散热扇(201)，散热扇(201)固定连接在散热箱(2)的上方。4.如权利要求2所述基于晶圆片高温烘烤治具连接结构，其特征在于：所述夹紧机构(4)还包括有：夹紧滑杆(402)，夹紧滑杆(402...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：