一种高精度高分辨率的倾角回转机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度高分辨率的倾角回转机构，涉及半导体加工技术领域，包括底板以及对称固定安装于底板上的轴承支架和支撑架，支撑架朝向轴承支架的一侧设置有侧立回转台，侧立回转台的旋转部件上固定安装有转接架，转接架上设置有水平回转台，转接架朝向支撑架的一侧设置有编码器转接轴，编码器转接轴的另一端设置有联轴器，联轴器的另一侧设置有编码器本体。本实用新型专利技术提供的双向倾角及回转机构，倾角正反运动时无行程间隙，倾角后有自保持功能，通过采用中空回转台侧向安装的方式实现倾角运动，电机与高精度编码器本体配合实现高精度高分辨率控制，转接架上方水平布置回转工作台，实现载物台的回转功能。实现载物台的回转功能。实现载物台的回转功能。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度高分辨率的倾角回转机构


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种高精度高分辨率的倾角回转机构。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003]随着科技的日益进步，半导体行业得到了很大的发展机遇。以碳化硅，氮化镓为代表的第三代宽禁带半导体作为新兴的行业，也迎来了极大的发展契机。
[0004]但是第三代半导体的生长和加工依然面临：生长加工周期长，成品质量差，成品率低等困难，而且现有的半导体生长加工技术不能很好地实现晶片端面多点多方向测量。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于:提供一种高精度高分辨率的倾角回转机构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有半导体生长加工技术不能很好地实现晶片端面多点多方向测量的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]本技术提供一种高精度高分辨率的倾角回转机构，包括底板以及对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度高分辨率的倾角回转机构，其特征在于：包括底板(11)以及对称固定安装于底板(11)上的轴承支架(1)和支撑架(7)，所述支撑架(7)朝向轴承支架(1)的一侧设置有侧立回转台(6)，所述侧立回转台(6)的旋转部件上固定安装有转接架(3)，所述转接架(3)上设置有水平回转台(4)，所述转接架(3)朝向支撑架(7)的一侧设置有编码器转接轴(16)，所述编码器转接轴(16)的另一端设置有联轴器(17)，所述联轴器(17)的另一侧设置有编码器本体(9)。2.根据权利要求1所述的一种高精度高分辨率的倾角回转机构，其特征在于：所述轴承支架(1)上设置有轴承本体(15)，所述转接架(3)朝向轴承支架(1)的一侧固定安装有连接轴(2)，所述连接轴(2)与轴承支架(1)通过轴承本体(15)连接，所述连接轴(2)与所述侧立回转台(6)的旋转部件同轴设置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：