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本实用新型公开了一种高精度高分辨率的倾角回转机构，涉及半导体加工技术领域，包括底板以及对称固定安装于底板上的轴承支架和支撑架，支撑架朝向轴承支架的一侧设置有侧立回转台，侧立回转台的旋转部件上固定安装有转接架，转接架上设置有水平回转台，转接架...
该专利属于丹东新东方晶体仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东新东方晶体仪器有限公司授权不得商用。

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