垫条清洁测量机构制造技术

本实用新型专利技术公开了垫条清洁测量机构，包括支架、主动机构、从动机构、传动带和清洁结构，主动机构和从动机构分别装配于支架上表面两端的轴承座上，清洁结构装配于支架的上表面中部，传动带套接于主动机构与从动机构上，且传动带穿过清洁结构，支架的上表面前后两侧均固定安装有侧支板，侧支板的上表面装配有清洁前传感器和清洁后传感器，且清洁前传感器与清洁后传感器分别位于清洁结构的右侧和左侧，传动带上固定安装有挡块，本实用新型专利技术采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，也取消了酒精的使用，提高了垫条表面清洁度的稳定性，提高了工作效率，降低了作业区的安全风险。了作业区的安全风险。了作业区的安全风险。

【技术实现步骤摘要】
垫条清洁测量机构


[0001]本技术属于晶圆定向切割中的垫条清洁
，特别提供了垫条清洁测量机构。

技术介绍

[0002]在晶圆定向切割过程中，以垫条为媒介通过粘接的方法固定连接晶棒与切割料座的方式是必不可少的工序，粘接工序要求垫条表面清洁无灰尘异物，所以垫条的清洁是每个晶圆加工厂都面临的问题。
[0003]垫条常规处理办法是在使用无尘布蘸酒精，操作人员手动反复擦拭垫条的上下表面，这种方法作业劳动强度大，受限于操作人员责任心和业务水平，稳定性差，且在作业过程中使用酒精也存在一定的安全隐患。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供了垫条清洁测量机构，采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，取消了酒精的使用，提高作业的效率和稳定性，且增加安全性。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：垫条清洁测量机构，包括支架、主动机构、从动机构、传动带和清洁结构，所述主动机构和从动机构分别装配于支架上表面两端的轴承座上，所述清洁结构装配于支架的上表面中部，所述传动带套接于主动机构与从动机构上，且传动带穿过清洁结构，所述支架的上表面前后两侧均固定安装有侧支板，所述侧支板的上表面装配有清洁前传感器和清洁后传感器，且清洁前传感器与清洁后传感器分别位于清洁结构的右侧和左侧，所述传动带上固定安装有挡块。
[0006]所述清洁结构包括支撑板，所述支撑板的前表面装配有支撑架，且支撑架上固定安装有清洁电机，所述支撑板的前表面转动装配有左下轴、右下轴、中转轴、左上轴和右上轴，且中转轴位于左下轴的左侧，所述左下轴通过联轴器与清洁电机的输出轴连接，所述左下轴、右下轴、左上轴和右上轴的后端均固定安装有毛刷辊，所述左下轴、右下轴、中转轴、左上轴和右上轴的外壁均固定安装有传动带轮，所述左下轴与右下轴的传动带轮之间、左上轴与右上轴的传动带轮之间、中转轴与左上轴的传动带轮之间均设置有同步带，所述左下轴与中转轴的外壁前端分别固定安装有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮。
[0007]进一步地，所述主动机构包括主动电机、主动轴、主动带轮和编码器，所述主动轴设置于轴承座内，所述主动电机和编码器分别固定安装于支架左端的前后两侧，且主动轴的两端分别通过联轴器与主动电机和编码器连接，所述主动带轮固定安装于主动轴的外壁中部。
[0008]进一步地，所述从动机构包括从动轴和从动带轮，所述从动轴设置于轴承座内，所述从动带轮固定安装于从动轴的外壁中部，且从动带轮与主动带轮对齐安装，所述传动带套接于主动带轮和从动带轮上。
[0009]进一步地，所述侧支板的内壁均固定安装有横支板。
[0010]进一步地，所述支撑板的后表面固定安装有风刀，所述风刀设置于上侧毛刷辊的左侧。
[0011]进一步地，所述支架的中部装配有防护罩，且清洁结构位于防护罩内，所述支架位于防护罩内的表面装配有接头。
[0012]进一步地，所述支架位于防护罩内的表面装配有空气放大器。
[0013]进一步地，所述支撑板的前表面装配有张紧轴，所述张紧轴的外壁套接装配有张紧轮，且张紧轮与中转轴、左上轴的传动带轮设置同一个同步带。
[0014]进一步地，所述支撑板的前表面开设有三个滑槽，且左上轴、右上轴和张紧轴分别装配于三个滑槽内。
[0015]使用本技术的有益效果是：
[0016]本技术采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，也取消了酒精的使用，提高了垫条表面清洁度的稳定性，提高了工作效率，降低了作业区的安全风险。
[0017]本技术还设计了主动机构从动机构、清洁前传感器和清洁后传感器等结构，通过传动带驱动垫条向前移动，传感器测量垫条通过的时间，编码器记录主动带轮的旋转角度，通过计算可以测得被清洁垫条的长度。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体图。
[0019]图2为本技术的主视图。
[0020]图3为本技术的俯视图。
[0021]图4为本技术清洁结构的主视图。
[0022]图5为本技术清洁结构的左视图。
[0023]图6为本技术清洁结构的后视图。
[0024]图7为本技术清洁结构的俯视图。
[0025]附图标记包括：1、支架，2、主动机构，201、主动电机，202、主动轴，203、主动带轮，204、编码器，3、从动机构，301、从动轴，302、从动带轮，4、传动带，5、清洁结构，501、支撑板，502、清洁电机，503、左下轴，504、右下轴，505、中转轴，506、左上轴，507、右上轴，508、毛刷辊，509、传动带轮，510、从动齿轮，511、同步带，512、张紧轴，513、张紧轮，6、侧支板，7、横支板，8、清洁前传感器，9、清洁后传感器，10、风刀，11、空气放大器，12、接头，13、挡块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]参照图1至图3，垫条清洁测量机构，包括支架1、主动机构2、从动机构3、传动带4和清洁结构5，主动机构2和从动机构3分别装配于支架1上表面两端的轴承座上，清洁结构5装
配于支架1的上表面中部，传动带4套接于主动机构2与从动机构3上，且传动带4穿过清洁结构5，支架1的上表面前后两侧均固定安装有侧支板6，侧支板6的上表面装配有清洁前传感器8和清洁后传感器9，且清洁前传感器8与清洁后传感器9分别位于清洁结构5的右侧和左侧，传动带4上固定安装有挡块13。
[0028]支架1下表面安装有支撑腿。
[0029]轴承座用于支撑主动轴202和从动轴301，且保证主动轴202和从动轴301的顺利转动。
[0030]支架1的中部为正方形板结构，且清洁结构5装配在此正方形板结构上，防护罩、空气放大器11和接头12也设置在此正方形板结构上。
[0031]主动机构2运行会与从动机构3配合带动传动带4和挡块13移动，其中挡块13用于推动垫条移动。
[0032]垫条在经过清洁结构5时进行上下表面清洁工作。
[0033]如图4至图7所示，清洁结构5包括支撑板501，支撑板501的前表面装配有支撑架，且支撑架上固定安装有清洁电机502，支撑板501的前表面转动装配有左下轴503、右下轴504、中转轴505、左上轴506和右上轴507，且中转轴505位于左下轴503的左侧，左下轴503通过联轴器与清洁电机502的输出轴连接，左下轴503、右下轴504、左上轴506和右上轴507的后端均固定安装有毛刷辊508，左下轴503、右下轴504、中转轴505、左上轴506和右上轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.垫条清洁测量机构，其特征在于：包括支架(1)、主动机构(2)、从动机构(3)、传动带(4)和清洁结构(5)，所述主动机构(2)和从动机构(3)分别装配于支架(1)上表面两端的轴承座上，所述清洁结构(5)装配于支架(1)的上表面中部，所述传动带(4)套接于主动机构(2)与从动机构(3)上，且传动带(4)穿过清洁结构(5)，所述支架(1)的上表面前后两侧均固定安装有侧支板(6)，所述侧支板(6)的上表面装配有清洁前传感器(8)和清洁后传感器(9)，且清洁前传感器(8)与清洁后传感器(9)分别位于清洁结构(5)的右侧和左侧，所述传动带(4)上固定安装有挡块(13)；所述清洁结构(5)包括支撑板(501)，所述支撑板(501)的前表面装配有支撑架，且支撑架上固定安装有清洁电机(502)，所述支撑板(501)的前表面转动装配有左下轴(503)、右下轴(504)、中转轴(505)、左上轴(506)和右上轴(507)，且中转轴(505)位于左下轴(503)的左侧，所述左下轴(503)通过联轴器与清洁电机(502)的输出轴连接，所述左下轴(503)、右下轴(504)、左上轴(506)和右上轴(507)的后端均固定安装有毛刷辊(508)，所述左下轴(503)、右下轴(504)、中转轴(505)、左上轴(506)和右上轴(507)的外壁均固定安装有传动带轮(509)，所述左下轴(503)与右下轴(504)的传动带轮(509)之间、左上轴(506)与右上轴(507)的传动带轮(509)之间、中转轴(505)与左上轴(506)的传动带轮(509)之间均设置有同步带(511)，所述左下轴(503)与中转轴(505)的外壁前端分别固定安装有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮(510)。2.根据权利要求1中所述的垫条清洁测量机构，其特征在于：所述主动机构(2)包括主动电机(201)、主动轴(202)、主动带轮(203)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张诚，张锐，甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：