垫条清洁测量机构制造技术

本实用新型专利技术公开了垫条清洁测量机构，包括支架、主动机构、从动机构、传动带和清洁结构，主动机构和从动机构分别装配于支架上表面两端的轴承座上，清洁结构装配于支架的上表面中部，传动带套接于主动机构与从动机构上，且传动带穿过清洁结构，支架的上表面前后两侧均固定安装有侧支板，侧支板的上表面装配有清洁前传感器和清洁后传感器，且清洁前传感器与清洁后传感器分别位于清洁结构的右侧和左侧，传动带上固定安装有挡块，本实用新型专利技术采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，也取消了酒精的使用，提高了垫条表面清洁度的稳定性，提高了工作效率，降低了作业区的安全风险。了作业区的安全风险。了作业区的安全风险。

【技术实现步骤摘要】
垫条清洁测量机构


[0001]本技术属于晶圆定向切割中的垫条清洁
，特别提供了垫条清洁测量机构。

技术介绍

[0002]在晶圆定向切割过程中，以垫条为媒介通过粘接的方法固定连接晶棒与切割料座的方式是必不可少的工序，粘接工序要求垫条表面清洁无灰尘异物，所以垫条的清洁是每个晶圆加工厂都面临的问题。
[0003]垫条常规处理办法是在使用无尘布蘸酒精，操作人员手动反复擦拭垫条的上下表面，这种方法作业劳动强度大，受限于操作人员责任心和业务水平，稳定性差，且在作业过程中使用酒精也存在一定的安全隐患。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供了垫条清洁测量机构，采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，取消了酒精的使用，提高作业的效率和稳定性，且增加安全性。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：垫条清洁测量机构，包括支架、主动机构、从动机构、传动带和清洁结构，所述主动机构和从动机构分别装配于支架上表面两端的轴承座上，所述清洁结构装配于支架的上表面中部，所述传动带套接于主动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.垫条清洁测量机构，其特征在于：包括支架(1)、主动机构(2)、从动机构(3)、传动带(4)和清洁结构(5)，所述主动机构(2)和从动机构(3)分别装配于支架(1)上表面两端的轴承座上，所述清洁结构(5)装配于支架(1)的上表面中部，所述传动带(4)套接于主动机构(2)与从动机构(3)上，且传动带(4)穿过清洁结构(5)，所述支架(1)的上表面前后两侧均固定安装有侧支板(6)，所述侧支板(6)的上表面装配有清洁前传感器(8)和清洁后传感器(9)，且清洁前传感器(8)与清洁后传感器(9)分别位于清洁结构(5)的右侧和左侧，所述传动带(4)上固定安装有挡块(13)；所述清洁结构(5)包括支撑板(501)，所述支撑板(501)的前表面装配有支撑架，且支撑架上固定安装有清洁电机(502)，所述支撑板(501)的前表面转动装配有左下轴(503)、右下轴(504)、中转轴(505)、左上轴(506)和右上轴(507)，且中转轴(505)位于左下轴(503)的左侧，所述左下轴(503)通过联轴器与清洁电机(502)的输出轴连接，所述左下轴(503)、右下轴(504)、左上轴(506)和右上轴(507)的后端均固定安装有毛刷辊(508)，所述左下轴(503)、右下轴(504)、中转轴(505)、左上轴(506)和右上轴(507)的外壁均固定安装有传动带轮(509)，所述左下轴(503)与右下轴(504)的传动带轮(509)之间、左上轴(506)与右上轴(507)的传动带轮(509)之间、中转轴(505)与左上轴(506)的传动带轮(509)之间均设置有同步带(511)，所述左下轴(503)与中转轴(505)的外壁前端分别固定安装有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮(510)。2.根据权利要求1中所述的垫条清洁测量机构，其特征在于：所述主动机构(2)包括主动电机(201)、主动轴(202)、主动带轮(203)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张诚，张锐，甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：